CVD filament gbona jẹ ọna akọkọ ati olokiki julọ ti dagba diamond ni titẹ kekere. 1982 Matsumoto et al. kikan filamenti irin refractory si ju 2000°C, ni iwọn otutu ti gaasi H2 ti nkọja nipasẹ filamenti ni imurasilẹ ṣe agbejade awọn ọta hydrogen. Isejade ti hydrogen atomiki lakoko hydrocarbon pyrolysis pọ si oṣuwọn ifisilẹ ti awọn fiimu diamond. Diamond ti wa ni yiyan idogo ati ki o graphite Ibiyi ti wa ni idinamọ, Abajade ni Diamond iwadi awọn oṣuwọn lori awọn ibere ti mm/h, eyi ti o jẹ gidigidi ga iwadi oro oṣuwọn fun awọn ọna commonly lo ninu ile ise. HFCVD le ṣee ṣe ni lilo ọpọlọpọ awọn orisun erogba, gẹgẹbi methane, propane, acetylene, ati awọn hydrocarbons miiran, ati paapaa diẹ ninu awọn hydrocarbons ti o ni atẹgun, gẹgẹbi acetone, ethanol, ati methanol. Àfikún àwọn ẹgbẹ́ tí ó ní afẹ́fẹ́ oxygen gbòòrò síi ìwọ̀n ìgbóná-òun-ọ̀rọ̀ fún ìfilọ̀ dáyámọ́ńdì.
Ni afikun si eto HFCVD aṣoju, nọmba awọn iyipada wa si eto HFCVD. Ohun ti o wọpọ julọ jẹ pilasima DC apapọ ati eto HFCVD. Ninu eto yii, foliteji abosi le ṣee lo si sobusitireti ati filamenti. Irẹjẹ rere igbagbogbo lori sobusitireti ati ojuṣaaju odi kan lori filament fa awọn elekitironi lati bombard sobusitireti naa, gbigba hydrogen dada lati desorb. Abajade idinku jẹ ilosoke ninu oṣuwọn ifisilẹ ti fiimu diamond (nipa 10 mm/h), ilana ti a mọ si HFCVD iranlọwọ elekitironi. nigbati foliteji aiṣedeede ti ga to lati ṣẹda idasilẹ pilasima iduroṣinṣin, jijẹ ti H2 ati awọn hydrocarbons pọsi pupọ, eyiti o yori si ilosoke ninu oṣuwọn idagbasoke. Nigbati awọn polarity ti ojuṣaaju ti yi pada (sobusitireti jẹ abosi odi), bombardment ion waye lori sobusitireti, ti o yori si ilosoke ninu iparun diamond lori awọn sobusitireti ti kii ṣe diamond. Iyipada miiran jẹ iyipada ti filamenti gbigbona kan pẹlu ọpọlọpọ awọn filaments oriṣiriṣi lati le ṣe aṣeyọri idasile aṣọ ati nikẹhin agbegbe nla ti fiimu diamond.Ailanfani ti HFCVD ni pe evaporation gbona ti filament le dagba awọn contaminants ni fiimu diamond.
(2) Makirowefu Plasma CVD (MWCVD)
Ni awọn ọdun 1970, awọn onimo ijinlẹ sayensi ṣe awari pe ifọkansi ti hydrogen atomiki le pọ si ni lilo pilasima DC. Bi abajade, pilasima di ọna miiran lati ṣe igbega dida awọn fiimu diamond nipa jijẹ H2 sinu hydrogen atomiki ati ṣiṣiṣẹ awọn ẹgbẹ atomiki ti o da lori erogba. Ni afikun si pilasima DC, awọn iru pilasima meji miiran ti tun gba akiyesi. CVD pilasima makirowefu ni igbohunsafẹfẹ itara ti 2.45 GHZ, ati pilasima RF CVD ni igbohunsafẹfẹ igbafẹfẹ ti 13.56 MHz. Awọn pilasima makirowefu jẹ alailẹgbẹ ni pe igbohunsafẹfẹ makirowefu fa awọn gbigbọn elekitironi. Nigbati awọn elekitironi ba kọlu pẹlu awọn ọta gaasi tabi awọn moleku, oṣuwọn ipinya giga kan ni iṣelọpọ. Pilasima Makirowefu nigbagbogbo tọka si ọrọ pẹlu awọn elekitironi “gbona”, awọn ions “tutu” ati awọn patikulu didoju. Lakoko ifisilẹ fiimu tinrin, awọn microwaves wọ inu iyẹwu iṣelọpọ CVD ti o ni ilọsiwaju pilasima nipasẹ ferese kan. Pilasima luminescent jẹ iyipo gbogbogbo ni apẹrẹ, ati iwọn ti aaye naa pọ si pẹlu agbara makirowefu. Awọn fiimu tinrin Diamond ti dagba lori sobusitireti kan ni igun kan ti agbegbe luminescent, ati pe sobusitireti ko ni lati ni ibatan taara pẹlu agbegbe luminescent.
-Nkan yii ti tu silẹ nipasẹigbale ti a bo ẹrọ olupeseGuangdong Zhenhua
Akoko ifiweranṣẹ: Oṣu Kẹta-19-2024