הייסע פילאַמענט CVD איז די ערשטע און מערסט פּאָפּולערע מעטאָדע פון וואַקסן דימענט ביי נידעריקן דרוק. 1982 מאַצומאָטאָ און אַנדערע האָבן געהייצט אַ רעפראַקטאָרי מעטאַל פילאַמענט צו איבער 2000°C, ביי וועלכער טעמפּעראַטור דער H2 גאַז וואָס גייט דורך דעם פילאַמענט פּראָדוצירט גרינג וואַסערשטאָף אַטאָמען. די פּראָדוקציע פון אַטאָמישן וואַסערשטאָף בעת כיידראָקאַרבאָן פּיראָליזיס האָט פאַרגרעסערט די דעפּאָזיציע קורס פון דימענט פילמען. דימענט ווערט סעלעקטיוו דעפּאָנירט און גראַפיט פאָרמאַציע ווערט אינהיביטירט, וואָס רעזולטירט אין דימענט פילם דעפּאָזיציע ראַטעס אין דער סדר פון מם/שעה, וואָס איז אַ זייער הויך דעפּאָזיציע קורס פֿאַר די מעטאָדן וואָס ווערן געוויינטלעך געניצט אין אינדוסטריע. HFCVD קען ווערן דורכגעפירט מיט אַ פאַרשיידנקייט פון טשאַד קוואלן, אַזאַ ווי מעטאַן, פּראָפּאַן, אַסעטילען און אַנדערע כיידראָקאַרבאָנס, און אפילו עטלעכע זויערשטאָף-האַלטיקע כיידראָקאַרבאָנס, אַזאַ ווי אַצעטאָן, עטאַנאָל און מעטאַנאָל. די צוגאב פון זויערשטאָף-האַלטיקע גרופּעס פאַרברייטערט דעם טעמפּעראַטור קייט פֿאַר דימענט דעפּאָזיציע.
אין צוגאב צו דער טיפישער HFCVD סיסטעם, זענען דא א צאל מאדיפיקאציעס צום HFCVD סיסטעם. די מערסטע פארשפרייטע איז א קאמבינירטע DC פלאזמע און HFCVD סיסטעם. אין דעם סיסטעם קען מען צולייגן א בייאס וואלטאזש צום סובסטראט און פילאמענט. א קאנסטאנטע פאזיטיווע בייאס אויפן סובסטראט און א געוויסע נעגאטיווע בייאס אויפן פילאמענט פאראורזאכט אז עלעקטראנען זאלן באמבארדירן דעם סובסטראט, און דערמעגלעכן אויבערפלאך וואסערשטאף צו דעזארבירן. דער רעזולטאט פון דער דעזארפציע איז א פארגרעסערונג אין דער דעפאזיציע ראטע פון דעם דיאמאנט פילם (ארום 10 מ"מ/שעה), א טעכניק באקאנט אלס עלעקטראן-געשטיצטע HFCVD. ווען דער בייאס וואלטאזש איז הויך גענוג צו שאפן א סטאבילן פלאזמע אויסלאדונג, פארגרעסערט זיך די דעקאמפאזיציע פון H2 און כיידראקארבאן דראמאטיש, וואס פירט עווענטועל צו א פארגרעסערונג אין וואוקס ראטע. ווען די פאלאריטעט פון דעם בייאס ווערט אויסגעדרייט (סובסטראט איז נעגאטיוו בייאסד), פאסירט יאן באמבארדירונג אויפן סובסטראט, וואס פירט צו א פארגרעסערונג אין דיאמאנט נוקלעאציע אויף נישט-דיאמאנט סובסטראטן. נאך א מאדיפיקאציע איז די פארטרעטונג פון איין הייסן פילאמענט מיט עטליכע פארשידענע פילאמענטן כדי צו דערגרייכן א גלייכפארמיגע אפזעצונג און עווענטועל א גרויסע שטח פון דיאמאנט פילם. דער חסרון פון HFCVD איז אז די טערמישע פארדאמפונג פון די פילאמענט קען שאפן קאנטאמינאנטן אין די דיאמאנט פילם.
(2) מייקראַווייוו פּלאַזמע CVD (MWCVD)
אין די 1970ער יארן האבן וויסנשאפטלער אנטדעקט אז די קאנצענטראציע פון אטאמישן וואסערשטאף קען ווערן פארגרעסערט מיט גלייכשטראם פלאזמע. אלס רעזולטאט איז פלאזמע געווארן נאך א מעטאד צו פארבעסערן די פארמאציע פון דיאמאנט פילמען דורך צעפאלן H2 אין אטאמישן וואסערשטאף און אקטיוויזירן קוילן-באזירטע אטאמישע גרופעס. אין צוגאב צו גלייכשטראם פלאזמע, האבן צוויי אנדערע טיפן פלאזמע אויך באקומען אויפמערקזאמקייט. די מייקראוועוו פלאזמע CVD האט אן אויפרעגונג פרעקווענץ פון 2.45 GHZ, און די RF פלאזמע CVD האט אן אויפרעגונג פרעקווענץ פון 13.56 MHz. מייקראוועוו פלאזמעס זענען אייגנארטיג אין דעם אז די מייקראוועוו פרעקווענץ אינדוצירט עלעקטראן וויבראציעס. ווען עלעקטראנען קאלידירן מיט גאז אטאמען אדער מאלעקולן, ווערט פראדוצירט א הויכע דיסאסאציאציע ראטע. מייקראוועוו פלאזמע ווערט אפט באצייכנט אלס מאטעריע מיט "הייסע" עלעקטראנען, "קאלטענע" יאנען און נייטראלע פארטיקלען. בעת דין פילם דעפאזיציע, גייען מייקראוועוועס אריין אין די פלאזמע-פארשטארקטע CVD סינטעז קאמער דורך א פענצטער. די ליכטיקע פלאזמע איז בכלל ספעריש אין פארעם, און די גרייס פון דער ספער פארגרעסערט זיך מיט מייקראוועוו מאכט. די דימענט דין פילמען ווערן געוואקסן אויף א סאַבסטראַט אין א ווינקל פון דער ליכטיק געגנט, און דער סאַבסטראַט דאַרף נישט זיין אין דירעקטן קאָנטאַקט מיט דער ליכטיק געגנט.
–דער אַרטיקל איז ארויסגעגעבן דורךוואַקוום קאָוטינג מאַשין פאַבריקאַנטגואַנגדאָנג זשענהואַ
פּאָסט צייט: 19טן יוני 2024