Hệ thống phủ chân không quang học trực tuyến bằng phương pháp phún xạ magnetron là công nghệ tiên tiến được sử dụng để phủ lớp màng mỏng lên nhiều loại chất nền, thường được sử dụng trong các ngành công nghiệp như quang học, điện tử và khoa học vật liệu. Sau đây là tổng quan chi tiết:
Thành phần và tính năng:
1. Nguồn phun magnetron:
Người ta sử dụng magnetron để tạo ra plasma có mật độ cao.
Vật liệu mục tiêu (nguồn) bị bắn phá bằng các ion, khiến các nguyên tử bị đẩy ra (phun) và lắng đọng trên chất nền.
Magnetron có thể được thiết kế để hoạt động bằng DC, DC xung hoặc RF (tần số vô tuyến), tùy thuộc vào vật liệu được phun.
2. Hệ thống trực tuyến:
Chất nền được di chuyển liên tục hoặc dần dần qua buồng phủ.
Cho phép sản xuất với năng suất cao và phủ đều trên diện tích lớn.
Thường được sử dụng để phủ tấm kính, nhựa hoặc kim loại trong quy trình cán cuộn hoặc cán phẳng.
3. buồng chân không:
Duy trì môi trường áp suất thấp được kiểm soát để tạo điều kiện cho quá trình phun.
- Ngăn ngừa ô nhiễm và đảm bảo độ tinh khiết cao của màng phủ.
- Thường được trang bị khóa tải để giảm thiểu tiếp xúc với điều kiện khí quyển trong quá trình tải và dỡ chất nền.
4. Khả năng phủ quang học:
- Được thiết kế chuyên biệt để sản xuất lớp phủ quang học như lớp phủ chống phản xạ, gương, bộ lọc và bộ chia chùm tia.
- Cho phép kiểm soát chính xác độ dày và tính đồng nhất của màng phim, điều này rất quan trọng đối với các ứng dụng quang học.
5. Hệ thống kiểm soát quy trình:
- Hệ thống giám sát và phản hồi tiên tiến để kiểm soát các thông số như công suất, áp suất và tốc độ nền.
- Chẩn đoán tại chỗ để đo các đặc tính của màng trong quá trình lắng đọng nhằm đảm bảo chất lượng và tính đồng nhất.
Ứng dụng:
1. Quang học:
- Phủ lớp thấu kính, gương và các thành phần quang học khác để cải thiện hiệu suất.
- Sản xuất lớp phủ nhiều lớp cho bộ lọc giao thoa và các thiết bị quang học phức tạp khác.
2. Điện tử:
- Transistor màng mỏng, cảm biến và các thiết bị điện tử khác.
- Lớp phủ dẫn điện trong suốt cho màn hình hiển thị và màn hình cảm ứng. 3.
3. Tấm pin mặt trời:
- Lớp phủ chống phản xạ và dẫn điện giúp nâng cao hiệu quả.
- Lớp bao bọc tạo độ bền.
4. Lớp phủ trang trí:
- Phủ trang sức, đồng hồ và các vật dụng khác vì mục đích thẩm mỹ.
Thuận lợi:
1. Độ chính xác cao:
- Cung cấp lớp phủ đồng nhất và có thể lặp lại với khả năng kiểm soát chính xác độ dày và thành phần. 2.
2. Khả năng mở rộng:
- Thích hợp cho nghiên cứu quy mô nhỏ và sản xuất công nghiệp quy mô lớn. 3.
3. Tính linh hoạt:
- Lắng đọng nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm kim loại, oxit, nitrua và hợp chất tổng hợp.
4. Hiệu quả:
- Hệ thống trực tuyến cho phép xử lý liên tục, giảm thời gian chết và tăng năng suất.
Thời gian đăng: 29-06-2024