Plasma năng lượng cao có thể bắn phá và chiếu xạ vật liệu polyme, phá vỡ chuỗi phân tử của chúng, hình thành các nhóm hoạt động, tăng năng lượng bề mặt và tạo ra quá trình khắc. Xử lý bề mặt plasma không ảnh hưởng đến cấu trúc bên trong và hiệu suất của vật liệu khối, nhưng chỉ thay đổi đáng kể các đặc tính bề mặt.
Để không làm hỏng đặc tính của bản thân vật liệu, xử lý biến đổi bề mặt plasma thường không sử dụng plasma có mật độ công suất cao hơn. Sự khác biệt giữa xử lý này và các xử lý plasma khác là:
1) Không tiêm ion hoặc nguyên tử vào bề mặt được xử lý (chẳng hạn như cấy ion).
2) Không loại bỏ các vật liệu lớn hơn (như phun hoặc khắc).
3) Không thêm nhiều hơn một vài lớp vật liệu đơn lẻ (nguyên tử) lên bề mặt (chẳng hạn như lắng đọng).
Nói tóm lại, xử lý bề mặt bằng plasma chỉ liên quan đến một vài lớp nguyên tử ngoài cùng.
Các thông số quy trình để biến đổi bề mặt plasma chủ yếu bao gồm áp suất khí, tần số trường điện, công suất phóng điện, thời gian tác động, v.v. Các thông số quy trình dễ điều chỉnh. Trong quá trình biến đổi plasma, nhiều hạt hoạt động có xu hướng phản ứng với bề mặt được xử lý mà chúng tiếp xúc và có thể được sử dụng để xử lý bề mặt vật liệu. So với các phương pháp truyền thống, biến đổi bề mặt plasma có ưu điểm là quy trình đơn giản, vận hành đơn giản, chi phí thấp, không ô nhiễm, không chất thải, sản xuất an toàn và hiệu quả cao.
Thời gian đăng: 07-06-2023

