Magnetron purkagichli optik vakuumli qoplama tizimlari turli xil substratlarga yupqa plyonkalarni joylashtirish uchun ishlatiladigan ilg'or texnologiya bo'lib, ular optika, elektronika va materialshunoslik kabi sohalarda keng qo'llaniladi. Quyida batafsil tavsif berilgan:
Komponentlar va xususiyatlar:
1. magnetron purkash manbai:
Magnitron yuqori zichlikdagi plazma hosil qilish uchun ishlatiladi.
Maqsadli material (manba) ionlar bilan bombardimon qilinadi, natijada atomlar tashqariga chiqariladi (chaqalanadi) va substratga yotqiziladi.
Magnitron purkalayotgan materialga qarab DC, impulsli shahar yoki RF (radio chastota) ishlashi uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin.
2. In-line tizimi:
Substrat qoplama kamerasi orqali doimiy yoki bosqichma-bosqich harakatlanadi.
Yuqori o'tkazuvchanlik ishlab chiqarish va katta maydonlarni bir xilda qoplash imkonini beradi.
Odatda shisha, plastmassa yoki metall plitalarni rulonli yoki tekis qatlamli jarayonlarda qoplash uchun ishlatiladi.
3. vakuum kamerasi:
Cho'kishni osonlashtirish uchun boshqariladigan past bosimli muhitni saqlaydi.
- Kontaminatsiyani oldini oladi va yotqizilgan plyonkalarning yuqori tozaligini ta'minlaydi.
- Odatda substratni yuklash va tushirish vaqtida atmosfera sharoitlariga ta'sir qilishni kamaytirish uchun yuk qulflari bilan jihozlangan.
4. optik qoplama imkoniyatlari:
- Antireflektsiyali qoplamalar, nometall, filtrlar va nur ajratgichlar kabi optik qoplamalarni ishlab chiqarish uchun maxsus mo'ljallangan.
- Optik ilovalar uchun juda muhim bo'lgan plyonka qalinligi va bir xilligini aniq nazorat qilish imkonini beradi.
5. jarayonni boshqarish tizimlari:
- Quvvat, bosim va substrat tezligi kabi parametrlarni boshqarish uchun ilg'or monitoring va qayta aloqa tizimlari.
- Sifat va mustahkamlikni ta'minlash uchun cho'kma paytida plyonka xususiyatlarini o'lchash uchun joyida diagnostika.
Ilovalar:
1. Optika:
- Ishlashni yaxshilash uchun linzalar, nometall va boshqa optik qismlarni qoplash.
- Interferentsiya filtrlari va boshqa murakkab optik qurilmalar uchun ko'p qatlamli qoplamalar ishlab chiqaradi.
2. Elektronika:
- yupqa plyonkali tranzistorlar, sensorlar va boshqa elektron qurilmalar.
- Displeylar va sensorli ekranlar uchun shaffof o'tkazuvchan qoplamalar. 3.
3. quyosh panellari:
- Samaradorlikni oshirish uchun aks ettiruvchi va o'tkazuvchan qoplamalar.
- Chidamlilik uchun inkapsullangan qatlamlar.
4. dekorativ qoplamalar:
- zargarlik buyumlari, soatlar va boshqa narsalarni estetik maqsadlarda qoplash.
Afzalliklari:
1. Yuqori aniqlik:
- Qalinligi va tarkibini aniq nazorat qilish bilan bir xil va takrorlanadigan qoplamani ta'minlaydi. 2.
2. Masshtablilik:
- Kichik tadqiqot va yirik sanoat ishlab chiqarishi uchun javob beradi. 3.
3. Ko'p qirralilik:
- Metallar, oksidlar, nitridlar va kompozit birikmalarni o'z ichiga olgan turli xil materiallarni yotqizadi.
4. Samaradorlik:
- In-line tizimlar uzluksiz ishlov berish, ishlamay qolish vaqtini qisqartirish va o'tkazish qobiliyatini oshirish imkonini beradi.
Xabar vaqti: 29-iyun-2024