Друковані плати (Друковані плати) є основою електронної промисловості, слугуючи критично важливою платформою для електричних з'єднань та передачі сигналів. Щоб забезпечити міжшарове з'єднання та монтаж компонентів у багатошарових платах, на кожній друкованій платі необхідно точно просвердлити десятки тисяч мікровідверстий.
Наразі механічне свердління залишається домінуючим методом виготовлення мікровідверстий. Однак свердла піддаються екстремальним механічним та термічним навантаженням під час високошвидкісного різання. Особливо під час обробки керамічно наповнених підкладок надмірне тертя, розшарування покриття та концентрація напружень часто призводять до передчасної поломки інструменту.
Зі швидким розвитком технологій 5G та штучного інтелекту, конструкції друкованих плат розвиваються в бік вищої щільності та тоншої геометрії. Постійне зменшення діаметра свердла ще більше збільшує ризики поломки, що робить відмову інструменту критичним вузьким місцем, що впливає на вихід продукції. За умови дедалі суворіших вимог до процесу, виробники інструментів повинні покладатися на передові технології твердих покриттів та інновації в процесі обробки, щоб подовжити термін служби інструменту та підвищити надійність обробки.
На цьому тлі компанія Zhenhua Vacuum представляє систему твердого покриття MFA0605, засновану на технології фільтрованої катодної дуги (FCA) з вигнутою конструкцією каналів. Зосереджуючись на щільності покриття, твердості плівки та адаптивності до процесу, система пропонує комплексне рішення для підвищення продуктивності мікросвердління друкованих плат. На сьогоднішній день понад 20 установок успішно впроваджено провідним вітчизняним виробником інструментів для друкованих плат, а валідація на виробничій лінії підтверджує провідну в галузі однорідність покриття та стабільність процесу.
1. Магнітна фільтрація вигнутих повітроводів: видалення макрочастинок у джерелі
Під час звичайного катодно-дугового випаровування краплі мікронного масштабу (макрочастинки) неминуче викидаються з мішені, що призводить до утворення пористих покриттів та локалізованої концентрації напружень — ключових факторів, що сприяють передчасному виходу з ладу інструменту в умовах високошвидкісної обробки.
Запатентована технологія магнітної фільтрації вигнутих каналів від Zhenhua Vacuum вирішує цю проблему в її витоках. Система має унікальний вигнутий під кутом 90 градусів магнітний канал, де іонізована плазма направляється вздовж контрольованої траєкторії магнітним полем. Заряджені іони слідують лініям магнітного поля, тоді як нейтральні макрочастинки втрачають кінетичне керівництво та перехоплюються стінками каналу.
Цей механізм фільтрації створює надщільні покриття без дефектів зі значно покращеною якістю поверхні, ефективно усуваючи точки початку розтріскування та підвищуючи цілісність покриття.
2. Надтверде покриття 63 ГПа: досягнення провідних у галузі показників твердості
Система MFA0605 використовує високоіонізовану вуглецеву плазму для нанесення покриттів ta-C (тетраедричний аморфний вуглець) з твердістю до 63 ГПа, що досягає основного рівня надтвердих покриттів.
Покриття Ta-C поєднують наднизький коефіцієнт тертя з чудовою корозійною стійкістю. Під час обробки важкооброблюваних матеріалів, таких як алюмінієві сплави з високим вмістом кремнію та керамічно наповнені підкладки друкованих плат, термін служби інструменту може збільшитися від сотень до тисяч просвердлених отворів. Водночас значно знижується рівень поломки інструменту, а шорсткість стінок отвору помітно покращується.
3. Повноспектрова матриця процесів: одна система для кількох застосувань
Щоб задовольнити різноманітні вимоги застосування, MFA0605 інтегрує комплексну матрицю процесу нанесення покриттів, що поєднує фільтрацію вигнутих каналів, багатоцільову комутацію та розширену базу даних параметрів процесу.
Завдяки оптимізованому керуванню іонними траєкторіями магнітним полем, високошвидкісному зв'язку для калібрування в замкнутому циклі та високочастотному регулюванню джерела живлення, система дозволяє точно наносити повний спектр високотемпературних надтвердих покриттів, включаючи: AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN.
Така універсальність дозволяє одній системі підтримувати різні застосування — від мікросвердла для друкованих плат до прецизійних форм, автомобільних компонентів та поршневих кілець — максимізуючи використання обладнання та повернення інвестицій.
Висновок
Відповідно до переходу до виробництва друкованих плат з великою кількістю шарів та високою щільністю, Zhenhua Vacuum продовжує зміцнювати свій досвід в обладнанні для твердих покриттів та технологічних інноваціях. Переосмислюючи технологічні маршрути нанесення покриттів, отримуючи переваги у вартості завдяки масштабованому виробництву та забезпечуючи високоефективне постачання зі стабільною якістю, Zhenhua активно просуває перехід до «ери твердих покриттів» у прецизійному виробництві друкованих плат, прискорюючи локалізацію та широкомасштабне впровадження передової технології мікросвердління.test
-Цю статтю опублікуваввиробник обладнання для вакуумного покриття Вакуум Чженьхуа
Час публікації: 17 квітня 2026 р.