Trükkplaadid Trükkplaadid (PCB) on elektroonikatööstuse selgroog, olles kriitilise tähtsusega platvorm elektriühenduste ja signaaliülekande jaoks. Mitmekihiliste plaatide vahekihi ühenduvuse ja komponentide paigaldamise võimaldamiseks tuleb igale trükkplaadile täpselt puurida kümneid tuhandeid mikroavasid.
Praegu on mehaaniline puurimine mikroavade valmistamise domineeriv meetod. Kuid puuriterad puutuvad kiirel lõikamisel kokku äärmuslike mehaaniliste ja termiliste koormustega. Eriti keraamilise täidisega aluspindade töötlemisel põhjustavad liigne hõõrdekuumus, katte delaminatsioon ja pingekontsentratsioon sageli tööriista enneaegset purunemist.
5G ja tehisintellekti tehnoloogiate kiire arenguga arenevad trükkplaatide disainid suurema tiheduse ja peenema geomeetria suunas. Puuri läbimõõdu pidev vähenemine suurendab veelgi purunemisohtu, muutes tööriista rikke saagikust mõjutavaks kriitiliseks kitsaskohaks. Üha rangemate protsessinõuete kohaselt peavad tööriistade tootjad tööriistade eluea pikendamiseks ja töötlemise töökindluse parandamiseks toetuma täiustatud kõvakatte tehnoloogiatele ja protsessiinnovatsioonidele.
Selle taustal tutvustab Zhenhua Vacuum MFA0605 kõvakatte süsteemi, mis põhineb filtreeritud katoodkaare (FCA) tehnoloogial ja millel on kumera kanali disain. Keskendudes katte tihedusele, kile kõvadusele ja protsessi kohandatavusele, pakub süsteem terviklikku lahendust trükkplaatide mikropuuride jõudluse parandamiseks. Praeguseks on juhtiva kodumaise trükkplaatide tööriistade tootja juures edukalt kasutusele võetud üle 20 seadme, kusjuures tootmisliini valideerimine kinnitab tööstusharu juhtivat katte ühtlust ja protsessi stabiilsust.
1. Kumerate kanalite magnetiline filtreerimine: makroosakeste eemaldamine allikal
Tavapärase katoodse kaare aurustamise ajal eralduvad sihtmärgist paratamatult mikronisuurused tilgad (makroosakesed), mille tulemuseks on poorsed katted ja lokaalne pingekontsentratsioon – peamised tegurid, mis aitavad kaasa tööriista enneaegsele rikkele kiire töötlemise tingimustes.
Zhenhua Vacuumi patenteeritud kõvera kanali magnetilise filtreerimise tehnoloogia lahendab selle probleemi algpõhjuse. Süsteemil on ainulaadne 90-kraadise kõvera magnetkanaliga ioniseeritud plasma, kus magnetväli juhib mööda kontrollitud trajektoori. Laetud ioonid järgivad magnetvälja jooni, samas kui neutraalsed makroosakesed kaotavad kineetilise juhise ja kanali seinad püüavad need kinni.
See filtreerimismehhanism toodab ülitihedaid ja defektivabasid katteid, millel on oluliselt parem pinnakvaliteet, kõrvaldades tõhusalt pragude tekkimise punktid ja parandades katte terviklikkust.
2. 63 GPa ülikõva kate: tööstusharu juhtiva kõvadusnäitaja saavutamine
MFA0605 süsteem kasutab kuni 63 GPa kõvadusega ta-C (tetraeedrilise amorfse süsiniku) kattekihtide sadestamiseks kõrgionisatsioonilist süsinikplasmat, mis saavutab ülikõvade katete tavapärase taseme.
Ta-C-katted ühendavad ülimadala hõõrdeteguri suurepärase korrosioonikindlusega. Raskesti lõigatavate materjalide, näiteks kõrge ränisisaldusega alumiiniumisulamite ja keraamilise täidisega trükkplaatide aluspindade töötlemisel võib tööriista eluiga pikeneda sadadest puuritud aukudest tuhandete aukudeni. Samal ajal väheneb tööriista purunemismäär märkimisväärselt ja augu seina karedus paraneb märkimisväärselt.
3. Täisspektriline protsessimaatriks: üks süsteem mitme rakenduse jaoks
Erinevate rakenduste nõuete täitmiseks integreerib MFA0605 tervikliku katmisprotsessi maatriksi, mis ühendab kõverate kanalite filtreerimise, mitme sihtmärgi lülitamise ja täiustatud protsessiparameetrite andmebaasi.
Tänu ioontrajektooride optimeeritud magnetvälja juhtimisele, suletud ahela kalibreerimiseks vajaliku kiire side ja kiire toiteallika reguleerimisele võimaldab süsteem täpselt sadestada laia valikut kõrge temperatuurikindlaid ülikõvasid katteid, sealhulgas: AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN.
See mitmekülgsus võimaldab ühel süsteemil toetada mitut rakendust – alates trükkplaatide mikropuuridest kuni täppisvormide, autokomponentide ja kolvirõngasteni – maksimeerides seadmete kasutamist ja investeeringutasuvust.
Kokkuvõte
Kooskõlas üleminekuga suure kihtide arvu ja tihedusega trükkplaatide tootmisele jätkab Zhenhua Vacuum oma asjatundlikkuse tugevdamist kõvakattega seadmete ja protsesside innovatsiooni valdkonnas. Kattetehnoloogia umbermõtestamise, skaleeritava tootmise abil kulueeliste avamise ja ühtlase kvaliteediga suure tõhususega tarnimise tagamise kaudu edendab Zhenhua aktiivselt üleminekut trükkplaatide täppistootmises „kõvakatte ajastule“ – kiirendades täiustatud mikropuurimistehnoloogia lokaliseerimist ja laialdast kasutuselevõttu.
-See artikkel avaldativaakumkatmisseadmete tootja Zhenhua vaakum
Postituse aeg: 17. aprill 2026