Kretskort (PCB) är ryggraden i elektronikindustrin och fungerar som den kritiska plattformen för elektrisk sammankoppling och signalöverföring. För att möjliggöra mellanlageranslutning och komponentmontering i flerlagerskort måste tiotusentals mikrovias borras exakt på varje kretskort.
För närvarande är mekanisk borrning fortfarande den dominerande metoden för tillverkning av mikrovia. Borrkronor utsätts dock för extrema mekaniska och termiska belastningar under höghastighetsskärning. Särskilt vid bearbetning av keramikfyllda substrat leder överdriven friktionsvärme, beläggningsdelaminering och spänningskoncentration ofta till för tidigt verktygsbrott.
Med den snabba utvecklingen av 5G- och AI-teknik utvecklas kretskortsdesigner mot högre densitet och finare geometrier. Den kontinuerliga minskningen av borrdiametern förstärker ytterligare risken för brott, vilket gör verktygsfel till en kritisk flaskhals som påverkar utbytet. Med allt strängare processkrav måste verktygstillverkare förlita sig på avancerad hårdbeläggningsteknik och processinnovationer för att förlänga verktygens livslängd och förbättra bearbetningens tillförlitlighet.
Mot denna bakgrund introducerar Zhenhua Vacuum det hårda beläggningssystemet MFA0605, baserat på filtrerad katodisk bågteknik (FCA) med en böjd kanaldesign. Med fokus på beläggningstäthet, filmhårdhet och processanpassningsförmåga levererar systemet en heltäckande lösning för att förbättra prestandan hos kretskortsmikroborrningar. Hittills har mer än 20 enheter framgångsrikt driftsatts hos en ledande inhemsk tillverkare av kretskortsverktyg, med validering i produktionslinjen som bekräftar branschledande beläggningsuniformitet och processstabilitet.
1. Magnetisk filtrering med böjd kanal: Eliminering av makropartiklar vid källan
Under konventionell katodisk bågindunstning stöts oundvikligen mikronstora droppar (makropartiklar) ut från målet, vilket resulterar i porösa beläggningar och lokal spänningskoncentration – viktiga faktorer som bidrar till förtida verktygshaveri under höghastighetsbearbetningsförhållanden.
Zhenhua Vacuums egenutvecklade magnetiska filtreringsteknik för böjda kanaler åtgärdar detta problem från början. Systemet har en unik 90-graders böjd magnetkanal, där joniserad plasma styrs längs en kontrollerad bana av ett magnetfält. Laddade joner följer magnetfältlinjerna, medan neutrala makropartiklar förlorar kinetisk styrning och fångas upp av kanalens väggar.
Denna filtreringsmekanism producerar ultratäta, defektfria beläggningar med avsevärt förbättrad ytkvalitet, vilket effektivt eliminerar sprickbildningspunkter och förbättrar beläggningens integritet.
2. 63 GPa superhård beläggning: Uppnå branschledande hårdhetsprestanda
MFA0605-systemet använder högjoniserande kolplasma för att avsätta ta-C (tetraedrisk amorf kol) beläggningar med hårdhet upp till 63 GPa, vilket når den vanliga nivån av superhårda beläggningar.
Ta-C-beläggningar kombinerar ultralåg friktionskoefficient med utmärkt korrosionsbeständighet. Vid bearbetning av svårbearbetade material, såsom aluminiumlegeringar med hög kiselhalt och keramikfyllda kretskortssubstrat, kan verktygslivslängden öka från hundratals till tusentals borrade hål. Samtidigt minskas verktygsbrottsfrekvensen avsevärt och hålväggens ojämnhet förbättras markant.
3. Fullspektrumprocessmatris: Ett system för flera tillämpningar
För att möta olika applikationskrav integrerar MFA0605 en omfattande beläggningsprocessmatris, som kombinerar filtrering av böjda kanaler, omkoppling av flera mål och en avancerad processparameterdatabas.
Genom optimerad magnetfältskontroll av jonkanläggningen, höghastighetskommunikation för sluten slingkalibrering och högresponsiv strömförsörjningsreglering möjliggör systemet exakt deponering av ett komplett utbud av högtemperaturbeständiga superhårda beläggningar, inklusive: AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN, CrN
Denna mångsidighet gör att ett enda system kan stödja flera applikationer – från mikroborrar för kretskort till precisionsformar, bilkomponenter och kolvringar – vilket maximerar utrustningsutnyttjandet och avkastningen på investeringen.
Slutsats
I linje med omvandlingen mot tillverkning av kretskort med hög lagerkapacitet och hög densitet fortsätter Zhenhua Vacuum att stärka sin expertis inom hårdbeläggningsutrustning och processinnovation. Genom att omdefiniera beläggningsteknikens vägar, frigöra kostnadsfördelar genom skalbar tillverkning och säkerställa högeffektiv leverans med jämn kvalitet, driver Zhenhua aktivt övergången mot "hårdbeläggningseran" inom precisionstillverkning av kretskort – och accelererar lokaliseringen och storskalig användning av avancerad mikroborrbeläggningsteknik.
-Denna artikel publicerades avtillverkare av vakuumbeläggningsutrustning Zhenhua Vacuum
Publiceringstid: 17 april 2026