Хэвлэмэл хэлхээний самбар (PCB) нь электроникийн салбарын гол тулгуур бөгөөд цахилгаан холболт болон дохио дамжуулах чухал платформ болж үйлчилдэг. Олон давхаргат самбарт давхаргын хоорондын холболт болон эд ангиудыг суурилуулах боломжийг олгохын тулд хэдэн арван мянган микровиаг PCB бүр дээр нарийн өрөмдөх шаардлагатай.
Одоогийн байдлаар механик өрөмдлөг нь микровиа үйлдвэрлэхэд давамгайлсан арга хэвээр байна. Гэсэн хэдий ч өрмийн хошуу нь өндөр хурдтай зүсэх үед маш их механик болон дулааны ачаалалд өртдөг. Ялангуяа керамикаар дүүргэсэн суурь материалыг боловсруулах үед хэт их үрэлтийн дулаан, бүрхүүлийн хальслалт, стрессийн концентраци нь багаж хэрэгслийг эрт эвдрэхэд хүргэдэг.
5G болон хиймэл оюун ухааны технологийн хурдацтай хөгжил дэвшлийн ачаар хэлхээний самбарын загварууд илүү нягтралтай, илүү нарийн геометр рүү чиглэн хөгжиж байна. Өрөмдлөгийн диаметрийг тасралтгүй багасгах нь эвдрэлийн эрсдлийг улам бүр нэмэгдүүлж, багажны эвдрэлийг ургацад нөлөөлдөг чухал саад тотгор болгож байна. Үйл явцын шаардлага улам бүр чангарч байгаа тул багаж үйлдвэрлэгчид багажны ашиглалтын хугацааг уртасгаж, машин механизмын найдвартай байдлыг сайжруулахын тулд дэвшилтэт хатуу бүрэх технологи, үйл явцын инновацид найдах ёстой.
Энэхүү нөхцөл байдлын үүднээс Zhenhua Vacuum компани нь муруй сувгийн загвартай, шүүгдсэн катодын нуман (FCA) технологид суурилсан MFA0605 хатуу бүрхүүлийн системийг танилцуулж байна. Бүрхүүлийн нягтрал, хальсны хатуулаг, процессын дасан зохицох чадварт анхаарлаа хандуулсан энэхүү систем нь PCB бичил өрмийн гүйцэтгэлийг сайжруулах цогц шийдлийг санал болгож байна. Өнөөдрийг хүртэл дотоодын тэргүүлэгч PCB багаж үйлдвэрлэгч компанид 20 гаруй төхөөрөмжийг амжилттай байрлуулсан бөгөөд үйлдвэрлэлийн шугамын баталгаажуулалт нь салбартаа тэргүүлэгч бүрхүүлийн жигд байдал, процессын тогтвортой байдлыг баталгаажуулсан.
1. Муруй сувгийн соронзон шүүлтүүр: Макро хэсгүүдийг эх үүсвэрээс нь устгах
Уламжлалт катодын нуман ууршилтын үед микрон хэмжээний дуслууд (макро хэсгүүд) нь байнаас зайлшгүй гадагшилж, сүвэрхэг бүрхүүл болон орон нутгийн стрессийн концентрацийг үүсгэдэг бөгөөд энэ нь өндөр хурдтай боловсруулалтын нөхцөлд багажны дутуу эвдрэлд нөлөөлдөг гол хүчин зүйлүүд юм.
Zhenhua Vacuum-ийн өмчийн муруй сувгийн соронзон шүүлтүүрийн технологи нь энэ асуудлыг анх үүссэн үеэс нь шийдвэрлэдэг. Систем нь ионжуулсан плазмыг соронзон орны хяналттай траекторын дагуу чиглүүлдэг өвөрмөц 90 градусын муруй соронзон сувгаар тоноглогдсон. Цэнэглэгдсэн ионууд нь соронзон орны шугамыг дагадаг бол төвийг сахисан макро хэсгүүд кинетик удирдамжаа алдаж, сувгийн хананд баригддаг.
Энэхүү шүүх механизм нь гадаргуугийн чанарыг мэдэгдэхүйц сайжруулсан хэт нягт, согоггүй бүрхүүлийг бий болгож, хагарал үүсэх цэгүүдийг үр дүнтэй арилгаж, бүрхүүлийн бүрэн бүтэн байдлыг сайжруулдаг.
2. 63 GPa хэт хатуу бүрхүүл: Салбарын тэргүүлэх хатуулгийн гүйцэтгэлд хүрэх
MFA0605 систем нь өндөр ионжуулалттай нүүрстөрөгчийн плазмыг ашиглан 63 ГПа хүртэл хатуулагтай ta-C (тетраэдр аморф нүүрстөрөгч) бүрхүүлийг хуримтлуулж, супер хатуу бүрхүүлийн гол түвшинд хүрдэг.
Ta-C бүрхүүл нь хэт бага үрэлтийн коэффициентийг зэврэлтээс хамгаалах маш сайн чадвартай хослуулсан. Өндөр цахиурын хөнгөн цагааны хайлш, керамикаар дүүргэсэн PCB суурь зэрэг зүсэхэд хэцүү материалыг боловсруулах үед багажны ашиглалтын хугацаа хэдэн зуун өрөмдсөн нүхнээс хэдэн мянган хүртэл нэмэгдэж болно. Үүний зэрэгцээ багажны эвдрэлийн түвшин мэдэгдэхүйц буурч, нүхний ханын барзгар байдал мэдэгдэхүйц сайжирсан.
3. Бүрэн спектрийн процессын матриц: Олон хэрэглээнд зориулсан нэг систем
Олон төрлийн хэрэглээний шаардлагыг хангахын тулд MFA0605 нь муруй сувгийн шүүлтүүр, олон зорилтот шилжүүлэлт болон дэвшилтэт процессын параметрийн мэдээллийн санг хослуулсан цогц бүрэх процессын матрицыг нэгтгэсэн.
Ионы траекторын соронзон орны оновчтой хяналт, хаалттай гогцооны тохируулгын өндөр хурдны холбоо, өндөр хариу үйлдэлтэй цахилгаан хангамжийн зохицуулалтын тусламжтайгаар систем нь AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN,CrN зэрэг өндөр температурт тэсвэртэй супер хатуу бүрхүүлийн бүрэн хүрээг нарийн тогтоох боломжийг олгодог.
Энэхүү олон талт байдал нь нэг системд PCB микро өрөмнөөс эхлээд нарийн хэв, автомашины эд анги, поршений цагираг хүртэл олон төрлийн хэрэглээг дэмжих боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь тоног төхөөрөмжийн ашиглалт болон хөрөнгө оруулалтын өгөөжийг хамгийн их байлгахад тусалдаг.
Дүгнэлт
Өндөр давхаргын тоо болон өндөр нягтралтай ХБХ үйлдвэрлэл рүү шилжих шилжилттэй уялдуулан Zhenhua Vacuum нь хатуу бүрхүүлийн тоног төхөөрөмж болон процессын инновацийн чиглэлээрх туршлагаа бэхжүүлсээр байна. Бүрэх технологийн чиглэлийг дахин тодорхойлж, өргөтгөх боломжтой үйлдвэрлэлээр дамжуулан өртгийн давуу талыг нээж, тогтвортой чанартай өндөр үр ашигтай хүргэлтийг баталгаажуулснаар Zhenhua нь ХБХ-ийн нарийвчлалтай үйлдвэрлэлийн "хатуу бүрхүүлийн эрин үе" рүү шилжих шилжилтийг идэвхтэйгээр удирдаж, дэвшилтэт бичил өрмийн бүрхүүлийн технологийг нутагшуулах, өргөн хүрээнд нэвтрүүлэхийг хурдасгаж байна.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх тоног төхөөрөмж үйлдвэрлэгч Жэнхуа тоос сорогч
Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 4-р сарын 17