Çap Dövrə Lövhələri (PCB-lər) elektronika sənayesinin onurğa sütununu təşkil edir və elektrik bağlantısı və siqnal ötürülməsi üçün vacib platforma rolunu oynayır. Çoxqatlı lövhələrdə təbəqələrarası əlaqəni və komponentlərin quraşdırılmasını təmin etmək üçün hər bir PCB-də on minlərlə mikrovia dəqiq şəkildə qazılmalıdır.
Hazırda mexaniki qazma mikrovia istehsalında dominant üsul olaraq qalır. Bununla belə, qazma ucluqları yüksək sürətli kəsmə zamanı həddindən artıq mexaniki və istilik yüklərinə məruz qalır. Xüsusilə keramika ilə doldurulmuş substratları emal edərkən həddindən artıq sürtünmə istiliyi, örtük qatının delaminasiyası və gərginlik konsentrasiyası tez-tez alətin vaxtından əvvəl qırılmasına səbəb olur.
5G və süni intellekt texnologiyalarının sürətli inkişafı ilə PCB dizaynları daha yüksək sıxlığa və daha incə həndəsələrə doğru inkişaf edir. Qazma diametrinin davamlı azalması qırılma risklərini daha da artırır və alətin sıradan çıxmasını məhsuldarlığa təsir edən kritik bir maneəyə çevirir. Getdikcə daha sərt proses tələbləri altında alət istehsalçıları alətin ömrünü uzatmaq və emal etibarlılığını artırmaq üçün qabaqcıl sərt örtük texnologiyalarına və proses innovasiyalarına etibar etməlidirlər.
Bu fonda, Zhenhua Vacuum, əyri kanal dizaynına malik, süzülmüş katod qövs (FCA) texnologiyasına əsaslanan MFA0605 sərt örtük sistemini təqdim edir. Örtük sıxlığına, film sərtliyinə və proses uyğunlaşmasına diqqət yetirən sistem, PCB mikroqazma performansını artırmaq üçün hərtərəfli bir həll təqdim edir. Bu günə qədər aparıcı yerli PCB alət istehsalçısında 20-dən çox cihaz uğurla yerləşdirilib və istehsal xəttinin təsdiqlənməsi sənayedə aparıcı örtük vahidliyini və proses sabitliyini təsdiqləyir.
1. Əyri Kanal Maqnit Filtrlənməsi: Mənbədəki Makro-Hissəciklərin Aradan Qaldırılması
Ənənəvi katodik qövs buxarlanması zamanı mikron miqyaslı damcılar (makro hissəciklər) qaçılmaz olaraq hədəfdən atılır və nəticədə məsaməli örtüklər və lokal gərginlik konsentrasiyası yaranır - bu da yüksək sürətli emal şəraitində alətin vaxtından əvvəl sıradan çıxmasına səbəb olan əsas amillərdir.
Zhenhua Vacuum şirkətinin xüsusi əyri kanal maqnit filtrasiya texnologiyası bu problemi ilkin mərhələsində həll edir. Sistem, ionlaşmış plazmanın maqnit sahəsi tərəfindən idarə olunan trayektoriya boyunca istiqamətləndirildiyi unikal 90 dərəcəlik əyri maqnit kanalına malikdir. Yüklü ionlar maqnit sahəsi xətlərini izləyir, neytral makro hissəciklər isə kinetik istiqamətləndirməni itirir və kanal divarları tərəfindən tutulur.
Bu filtrasiya mexanizmi, çatların yaranma nöqtələrini effektiv şəkildə aradan qaldıran və örtük bütövlüyünü artıran, səth keyfiyyətini əhəmiyyətli dərəcədə yaxşılaşdıran ultra sıx, qüsursuz örtüklər istehsal edir.
2. 63 GPa Super Sərt Örtük: Sənayedə Aparıcı Sərtlik Performansına Nail Olmaq
MFA0605 sistemi, 63 GPa-ya qədər sərtliyə malik ta-C (tetraedrik amorf karbon) örtüklərini yerləşdirmək üçün yüksək ionlaşdırıcı karbon plazmasından istifadə edir və bununla da super sərt örtüklərin əsas səviyyəsinə çatır.
Ta-C örtükləri ultra aşağı sürtünmə əmsalını əla korroziyaya davamlılıqla birləşdirir. Yüksək silisiumlu alüminium ərintiləri və keramika ilə doldurulmuş PCB substratları kimi kəsilməsi çətin olan materialları emal edərkən, alətin ömrü yüzlərlə qazılmış dəlikdən minlərlə dəliyə qədər arta bilər. Eyni zamanda, alətin qırılma nisbəti əhəmiyyətli dərəcədə azalır və dəlik divarının kobudluğu nəzərəçarpacaq dərəcədə yaxşılaşır.
3. Tam Spektrli Proses Matrisi: Birdən Çox Tətbiq Üçün Bir Sistem
Müxtəlif tətbiq tələblərinə cavab vermək üçün MFA0605, əyri kanal filtrasiyasını, çoxhədəfli kommutasiyanı və inkişaf etmiş proses parametrləri verilənlər bazasını birləşdirən hərtərəfli örtük prosesi matrisini birləşdirir.
İon trayektoriyalarının optimallaşdırılmış maqnit sahəsi nəzarəti, qapalı dövrəli kalibrləmə üçün yüksək sürətli rabitə və yüksək cavablı enerji təchizatı tənzimlənməsi vasitəsilə sistem, AlTiN, AlCrN, TiCrAlN, TiAlSiN,CrN daxil olmaqla, yüksək temperatura davamlı super sərt örtüklərin tam çeşidinin dəqiq şəkildə çökdürülməsinə imkan verir.
Bu çox yönlülük, tək bir sistemin PCB mikroqazmalarından tutmuş dəqiq qəliblərə, avtomobil komponentlərinə və piston halqalarına qədər birdən çox tətbiqi dəstəkləməsinə imkan verir və avadanlıq istifadəsini və investisiya gəlirini maksimum dərəcədə artırır.
Nəticə
Yüksək təbəqəli və yüksək sıxlıqlı PCB istehsalına keçidlə uyğun olaraq, Zhenhua Vacuum, sərt örtük avadanlığı və proses innovasiyası sahəsindəki təcrübəsini gücləndirməyə davam edir. Örtük texnologiyası marşrutlarını yenidən müəyyənləşdirməklə, miqyaslı istehsal vasitəsilə xərc üstünlüklərini açmaqla və ardıcıl keyfiyyətlə yüksək səmərəlilikli çatdırılmanı təmin etməklə, Zhenhua, PCB dəqiq istehsalında "sərt örtük dövrünə" keçidi fəal şəkildə həyata keçirir - qabaqcıl mikroqazma örtük texnologiyasının lokallaşdırılmasını və geniş miqyaslı tətbiqini sürətləndirir.
-Bu məqalə dərc olunubvakuum örtük avadanlığı istehsalçısı Zhenhua Tozsoran
Yazı vaxtı: 17 aprel 2026