Optiki inçe filmiň häsiýetnamasy optiki häsiýetleri, optiki parametrleri we optiki däl häsiýetleri öz içine alýar, optiki häsiýetler esasan optiki inçe filmiň spektral şöhlelenmesini, geçirişini we optiki ýitgisini (siňdiriş ýitgisi we şöhlelenme ýitgisi) häsiýetlerine degişlidir. Geçiriş we şöhlelendirme optiki inçe filmleriň iň esasy optiki häsiýetleridir, şonuň üçin inçe filmiň geçişini we şöhlelenmesini barlamak optiki inçe filmler üçin esasy synag usulydyr. Optiki inçe filmiň optiki parametrlerine refraktiw görkeziji, siňdiriş koeffisiýenti we optiki inçe filmiň film galyňlygy degişlidir. Hakyky proses tarapyndan taýýarlanan optiki inçe filmiň material böleklerinde stoiometrik gyşarma sebäpli gurluş indi birmeňzeş we dykyz däl, ýöne mikrostruktura we dürli kemçilikler bar, dielektrik film gatlagy indi düýbünden aç-açan däl we gowşak siňdiriş bar, şol bir wagtyň özünde giňişlik birmeňzeş däl we fazanyň anizotropiýasy filmiň refraktiw filminde däl. Has möhümi, hakyky taýýarlyk işinde filmi taýýarlamak prosesiniň parametrleri filmiň optiki parametrlerine gaty uly täsir edýär, şonuň üçin filmiň optiki parametrleriniň hakyky wagtda tassyklanmagy gaty möhümdir. Mundan başga-da, enjamyň optiki aýratynlyklaryndan başga-da, hakyky gurşawda ulanylýan enjam hökmünde optiki inçe film, filmiň ýelmeşmegi, filmiň stresleri, filmiň berkligi we ýeriň gödekligi we filmiň daşky gurşawa garşy durmak ukyby we ş.m. ýaly optiki däl aýratynlyklar bar. Şonuň üçin inçe film enjamlarynyň ulanylmagyna täsir edýän dürli parametrleri ýa-da häsiýetnamalary takyk ölçemek möhümdir.
Inçe filmleriň geçirilmegi we şöhlelenmesi esasan spektral synag analizatorlary arkaly synag edilýär. Optiki film synagy üçin spektral analizatorlary dürli synag zolaklaryna görä UV-Vis spektrofotometrlere, infragyzyl spektrofotometrlere we infragyzyl Furyer spektrometrlerine bölmek bolar. Ilkinji ikisi derňew we synag ulgamynyň spektral spektroskopiýa ýörelgesini ulanýar, ikinjisi päsgelçilik spektral derňew ulgamynyň ýörelgesine esaslanýar. Dürli geometrik gurluşlar we inçe filmli enjamlaryň şekilleri sebäpli, ähli geçiriş we şöhlelendiriş ölçegleri bolsa-da, dürli şekiller üçin dürli takyklyk ýa-da dürli polýarizasiýa talaplary dürli synag usullaryny we usullaryny talap edip biler.
IsBu makala çap edildivakuum örtük maşyn öndürijisiGuangdong Zhenhua
Iş wagty: Noýabr-03-2023