ข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศ

เนื่องจากอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศการทำงานภายใต้สภาวะสุญญากาศ อุปกรณ์จะต้องเป็นไปตามข้อกำหนดของสภาวะสุญญากาศสำหรับสิ่งแวดล้อม มาตรฐานอุตสาหกรรมสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศประเภทต่างๆ ที่ผลิตในประเทศของฉัน (รวมถึงเงื่อนไขทางเทคนิคทั่วไปสำหรับอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบไอออนสุญญากาศ อุปกรณ์เคลือบสปัตเตอร์สุญญากาศ และอุปกรณ์เคลือบระเหยสุญญากาศ) ได้กำหนดข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมไว้อย่างชัดเจน อุปกรณ์จึงจะทำงานได้ตามปกติก็ต่อเมื่อปฏิบัติตามข้อกำหนดด้านสิ่งแวดล้อมของอุปกรณ์เคลือบสุญญากาศเท่านั้น และด้วยกระบวนการเคลือบที่ถูกต้อง จึงจะสามารถผลิตผลิตภัณฑ์เคลือบที่มีคุณสมบัติเหมาะสมได้

ข้อกำหนดของสภาพแวดล้อมสูญญากาศโดยทั่วไปรวมถึงข้อกำหนดของอุปกรณ์สูญญากาศสำหรับสภาพแวดล้อมโดยรอบ เช่น อุณหภูมิของห้องปฏิบัติการ (หรือเวิร์กช็อป) กำไรเล็กน้อยในอากาศ และข้อกำหนดสำหรับชิ้นส่วนหรือพื้นผิวในสถานะสูญญากาศหรือในสูญญากาศ ทั้งสองประเด็นนี้มีความเกี่ยวข้องกันอย่างใกล้ชิด คุณภาพของสภาพแวดล้อมโดยรอบส่งผลโดยตรงต่อการใช้งานอุปกรณ์สูญญากาศตามปกติ และไม่ว่าห้องสูญญากาศของอุปกรณ์สูญญากาศหรือชิ้นส่วนที่บรรจุอยู่ภายในจะได้รับการทำความสะอาดหรือไม่ ก็ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของอุปกรณ์ หากอากาศมีไอน้ำและฝุ่นจำนวนมาก และห้องสูญญากาศไม่ได้รับการทำความสะอาด การบรรลุระดับสูญญากาศที่ต้องการโดยใช้ปั๊มเชิงกลปิดผนึกน้ำมันเพื่อสูบอากาศก็เป็นเรื่องยาก อย่างที่เราทราบกันดี ปั๊มเชิงกลปิดผนึกน้ำมันไม่เหมาะสำหรับการสูบก๊าซที่กัดกร่อนโลหะ ทำปฏิกิริยาทางเคมีกับน้ำมันสูญญากาศ และมีฝุ่นอนุภาค ไอน้ำเป็นก๊าซที่ควบแน่นได้ เมื่อปั๊มสูบก๊าซที่ควบแน่นได้ในปริมาณมาก มลพิษของน้ำมันปั๊มจะร้ายแรงยิ่งขึ้น ส่งผลให้สูญญากาศสูงสุดของปั๊มจะลดลง และประสิทธิภาพการสูบน้ำของปั๊มจะลดลง

เงื่อนไขการทำงานปกติของอุปกรณ์เคลือบสูญญากาศมีดังนี้:

① อุณหภูมิแวดล้อม 10~30℃;

② ความชื้นสัมพัทธ์ไม่เกิน 70%

③ อุณหภูมิน้ำเข้าหล่อเย็นไม่สูงกว่า 25°C;

④ คุณภาพน้ำหล่อเย็น น้ำประปาในเมือง หรือน้ำที่มีคุณภาพเทียบเท่า

⑤แรงดันไฟฟ้า: 380V, สามเฟส 50Hz หรือ 220V, เฟสเดียว 50Hz (ขึ้นอยู่กับความต้องการของเครื่องใช้ไฟฟ้าที่ใช้), ช่วงความผันผวนของแรงดันไฟฟ้า 342~399V หรือ 198~231V, ช่วงความผันผวนของความถี่ 49~51Hz;

⑥ ควรระบุไว้ในคู่มือการใช้งานผลิตภัณฑ์ ความดัน อุณหภูมิ และการบริโภค

⑦ สภาพแวดล้อมรอบ ๆ อุปกรณ์สะอาด และอากาศก็สะอาด และไม่มีฝุ่นละอองหรือก๊าซที่อาจทำให้เกิดการกัดกร่อนพื้นผิวของเครื่องใช้ไฟฟ้าและชิ้นส่วนโลหะอื่น ๆ หรือทำให้เกิดการนำไฟฟ้าระหว่างโลหะ

นอกจากนี้ ห้องปฏิบัติการหรือห้องปฏิบัติงานที่อุปกรณ์เคลือบสูญญากาศตั้งอยู่ควรได้รับการทำความสะอาดและถูกสุขอนามัย พื้นเป็นหินขัดหรือพื้นไม้ทาสี ปราศจากฝุ่น เพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซที่ปล่อยออกมาจากปั๊มเชิงกลก่อมลพิษต่อสภาพแวดล้อมของห้องปฏิบัติการ สามารถใช้ที่พอร์ตไอเสียของปั๊มได้ ติดตั้งท่อไอเสีย (ท่อโลหะ ท่อยาง) บนพื้นผิวเพื่อระบายก๊าซออกด้านนอก