ลักษณะของฟิล์มบางออปติคอล

การกำหนดลักษณะของฟิล์มบางออปติกประกอบด้วยการกำหนดลักษณะของคุณสมบัติทางแสง พารามิเตอร์ทางแสง และคุณสมบัติที่ไม่ใช่ออปติก คุณสมบัติทางแสงส่วนใหญ่หมายถึงการสะท้อนแสงแบบสเปกตรัม การส่งผ่าน และการสูญเสียแสง (การสูญเสียการดูดกลืนและการสูญเสียการสะท้อน) ของฟิล์มบางออปติก การส่งผ่านและการสะท้อนแสงเป็นคุณสมบัติทางแสงพื้นฐานที่สุดของฟิล์มบางออปติก ดังนั้นการทดสอบการส่งผ่านและการสะท้อนแสงของฟิล์มบางจึงเป็นเทคนิคการทดสอบพื้นฐานสำหรับฟิล์มบางออปติก พารามิเตอร์ทางแสงของฟิล์มบางออปติก ได้แก่ ดัชนีหักเหแสง ค่าสัมประสิทธิ์การดูดกลืนแสง และความหนาของฟิล์มของฟิล์มบางออปติก เนื่องจากความเบี่ยงเบนตามสัดส่วนในส่วนประกอบวัสดุของฟิล์มบางออปติกที่เตรียมโดยกระบวนการจริง โครงสร้างจึงไม่เป็นเนื้อเดียวกันและหนาแน่นอีกต่อไป แต่มีโครงสร้างจุลภาคและข้อบกพร่องต่างๆ ชั้นฟิล์มไดอิเล็กตริกไม่โปร่งใสอย่างสมบูรณ์อีกต่อไป และมีการดูดซับที่อ่อนแอ ในขณะที่มีความไม่สม่ำเสมอในเชิงพื้นที่และเฟสแอนไอโซทรอปิกในดัชนีการหักเหแสงของฟิล์ม และฟิล์มไม่ใช่อินเทอร์เฟซที่ไม่มีที่สิ้นสุดและราบรื่นอีกต่อไป ที่สำคัญกว่านั้น ในกระบวนการเตรียมการจริง พารามิเตอร์กระบวนการเตรียมฟิล์มมีผลกระทบอย่างมากต่อพารามิเตอร์ออปติกของฟิล์ม ดังนั้นการยืนยันพารามิเตอร์ออปติกของฟิล์มแบบเรียลไทม์จึงมีความสำคัญอย่างยิ่ง นอกจากนี้ ฟิล์มบางออปติกเป็นอุปกรณ์ที่ใช้ในสภาพแวดล้อมจริง นอกเหนือจากลักษณะออปติกของอุปกรณ์ที่ต้องตอบสนองความต้องการแล้ว ฟิล์มยังมีลักษณะที่ไม่ใช่ออปติกที่สำคัญอื่นๆ อีกมากมายที่ส่งผลต่อการใช้ฟิล์ม เช่น การยึดเกาะของฟิล์ม ความเครียดของฟิล์ม ความแข็งของฟิล์มและความหยาบของพื้นผิว และความสามารถของฟิล์มในการทนต่อสภาพแวดล้อม เป็นต้น ดังนั้น จึงมีความสำคัญที่จะต้องวัดพารามิเตอร์หรือลักษณะต่างๆ ที่ส่งผลต่อการใช้ฟิล์มบางอุปกรณ์อย่างแม่นยำ

การส่งผ่านและการสะท้อนแสงของฟิล์มบางส่วนใหญ่นั้นทดสอบโดยใช้เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัม เครื่องวิเคราะห์สเปกตรัมสำหรับการทดสอบฟิล์มออปติกสามารถแบ่งออกได้เป็นเครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ UV-Vis เครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์อินฟราเรด และเครื่องสเปกโตรโฟโตมิเตอร์ฟูเรียร์อินฟราเรด ตามแถบทดสอบที่แตกต่างกัน เครื่องสองเครื่องแรกใช้หลักการสเปกโตรสโคปีสเปกตรัมของระบบการวิเคราะห์และการทดสอบ ส่วนเครื่องหลังใช้หลักการของระบบการวิเคราะห์สเปกตรัมแบบอินเตอร์เฟอเรนซ์ เนื่องจากโครงสร้างและรูปร่างทางเรขาคณิตของอุปกรณ์ฟิล์มบางที่แตกต่างกัน แม้ว่าการวัดการส่งผ่านและการสะท้อนแสงทั้งหมด แต่สำหรับรูปร่างที่แตกต่างกัน ความแม่นยำที่แตกต่างกัน หรือข้อกำหนดโพลาไรเซชันที่แตกต่างกัน อาจต้องใช้วิธีการและเทคนิคการทดสอบที่แตกต่างกัน

–บทความนี้เผยแพร่โดยผู้ผลิตเครื่องเคลือบสูญญากาศกว่างตงเจิ้นหัว