Раванди ҷойгиркунии буғи вакуумӣ умуман тоза кардани сатҳи субстрат, омодагӣ пеш аз пӯшиш, таҳшин кардани буғ, боркунӣ, пас аз коркарди пӯшиш, озмоиш ва маҳсулоти тайёрро дар бар мегирад.
(1) Тоза кардани сатҳи замин. Деворҳои камераи вакуумӣ, чаҳорчӯбаи субстрат ва дигар равғани рӯизаминӣ, занг, маводи боқимондаро дар вакуум бухор кардан осон аст, ки бевосита ба тозагии қабати филм ва қувваи пайвасткунанда таъсир мерасонад, пеш аз пӯшидан бояд тоза карда шавад.
(2) Тайёрӣ пеш аз пӯшиш. Пӯшидани вакууми холӣ ба дараҷаи мувофиқи вакууми, субстрат ва маводи пӯшиш барои коркарди пешакӣ. Гарм кардани субстрат, ҳадаф аз он хориҷ кардани намӣ ва баланд бардоштани қувваи пайванди заминаи мембрана мебошад. Гарм кардани субстрат дар зери вакууми баланд метавонад гази адсорбшударо дар сатҳи субстрат десорб кунад ва сипас газро тавассути насоси вакуумӣ аз камераи вакуумӣ хориҷ кунад, ки ин барои беҳтар кардани дараҷаи вакууми камераи пӯшиш, тозагии қабати плёнка ва қувваи пайвасткунии пойгоҳи плёнка мусоидат мекунад. Пас аз расидан ба дараҷаи муайяни вакуум, аввалин манбаи бухоршавӣ бо қувваи камтари нерӯи барқ, пеш аз гармкунии филм ё пеш аз гудохта. Бо мақсади пешгирии бухоршавӣ ба субстрат, пӯшонидани манбаи бухоршавӣ ва маводи сарчашма бо як бафл, ва он гоҳ ворид кардани қувваи баландтари барқ, маводи молидани аст, зуд ба ҳарорати бухоршавӣ тафсон, бухоршавӣ ва сипас хориҷ баффл.
(3) Бухоршавӣ. Илова ба марҳилаи бухоршавӣ барои интихоби ҳарорати мувофиқи субстрат, пӯшонидани ҳарорати бухоршавии мавод берун аз ҷойгиршавии фишори ҳаво низ як параметри хеле муҳим аст. Ҷойгиршавии фишори газ, ки вакууми ҳуҷраи пӯшиш аст, диапазони миёнаи озоди молекулаҳои газро, ки дар фазои бухоршавӣ ҳаракат мекунанд ва масофаи муайяни бухоршавӣ дар зери атомҳои буғ ва боқимонда ва шумораи бархӯрдҳои байни атомҳои буғро муайян мекунад.
(4) Борфарорӣ. Пас аз ғафсии қабати плёнка барои қонеъ кардани талабот, манбаи бухоршавиро бо парда пӯшонед ва гармиро қатъ кунед, аммо фавран ҳаворо роҳ надиҳед, зарурати идома додани хунуккунӣ дар шароити вакуум барои як давраи хунуккунӣ, пешгирӣ кардани пӯшиш, маводи боқимонда ва муқовимат, манбаи бухоршавӣ ва ғайра оксид карда мешавад, ва сипас насосро қатъ кунед ва пас аз он обкашӣ кунед, қубурро кушода, қуттии зеризаминиро кушоед.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: сентябр-27-2024