Филаменти гарм CVD усули аввалин ва маъмултарини парвариши алмос дар фишори паст мебошад. 1982 Мацумото ва дигарон. Филаменти металлии ба оташ тобоварро то зиёда аз 2000°С гарм кард, ки дар он ҳарорат гази H2, ки аз ришта мегузарад, ба осонӣ атомҳои гидрогенро ба вуҷуд меорад. Истеҳсоли гидрогени атомӣ ҳангоми пиролизи карбогидридӣ суръати таҳшиншавии плёнкаҳои алмосро зиёд кард. Алмос ба таври интихобӣ ҷойгир карда мешавад ва ташаккули графит монеъ мешавад, ки дар натиҷа суръати таҳшиншавии плёнкаи алмос бо тартиби мм/соат ба вуҷуд меояд, ки ин барои усулҳои маъмулан дар саноат истифодашаванда суръати хеле баланд аст. HFCVD метавонад бо истифода аз манбаъҳои гуногуни карбон, аз қабили метан, пропан, ацетилен ва дигар карбогидридҳо ва ҳатто баъзе карбогидридҳои дорои оксиген, аз қабили ацетон, этанол ва метанол анҷом дода шаванд. Илова кардани гурӯҳҳои дорои оксиген доираи ҳароратро барои пошидани алмос васеъ мекунад.
Илова ба системаи маъмулии HFCVD, дар системаи HFCVD як қатор тағйиротҳо мавҷуданд. Аз ҳама маъмул системаи плазмаи DC ва HFCVD мебошад. Дар ин система, ба субстрат ва филамент як шиддати ғаразнок татбиқ карда мешавад. Як ғарази доимии мусбӣ дар субстрат ва як ғарази манфии муайян дар филамент боиси бомбаборони электронҳо ба субстрат мегардад ва имкон медиҳад, ки гидрогени рӯизаминиро десорб кунад. Натиҷаи десорбсия афзоиши суръати таҳшиншавии плёнкаи алмос (тақрибан 10 мм/соат) мебошад, ки техникаи бо ёрии электронии HFCVD маълум аст. вақте ки шиддати ғаразнок барои ба вуҷуд овардани разряди устувори плазма ба қадри кофӣ баланд аст, таҷзияи H2 ва карбогидридҳо ба таври назаррас меафзояд, ки дар ниҳоят боиси афзоиши суръати афзоиш мегардад. Вақте ки қутббандии ғаразнок баръакс мешавад (субстрат ба таври манфӣ ғаразнок аст), бомбаборони ион дар субстрат ба амал меояд, ки боиси афзоиши ядрои алмос дар субстратҳои ғайриалмос мегардад. Тағйироти дигар ин иваз кардани як филаменти гарми ягона бо якчанд филаментҳои гуногун бо мақсади ба даст овардани таҳшини яксон ва дар ниҳоят як майдони калони филми алмос мебошад. Камбудии HFCVD дар он аст, ки бухоршавии гармии нах метавонад дар филми алмос ифлоскунандаҳоро ташкил диҳад.
(2) Микромавҷи плазма CVD (MWCVD)
Дар солҳои 1970-ум олимон кашф карданд, ки консентратсияи гидрогени атомиро бо истифода аз плазмаи DC зиёд кардан мумкин аст. Дар натиҷа, плазма усули дигари мусоидат ба ташаккули филмҳои алмос тавассути таҷзияи H2 ба гидрогени атомӣ ва фаъол кардани гурӯҳҳои атомии карбон табдил ёфт. Илова ба плазмаи DC, ду намуди дигари плазма низ таваҷҷӯҳ зоҳир карданд. CVD-и плазмаи печи басомади ҳаяҷонбахши 2,45 ГГц ва плазмаи РФ басомади ҳаяҷонбахши 13,56 МГц дорад. Плазмаҳои микромавҷӣ беназиранд, ки басомади печи ларзишҳои электрониро ба вуҷуд меорад. Вақте ки электронҳо бо атомҳо ё молекулаҳои газ бархӯрданд, суръати баланди диссоциатсия ба вуҷуд меояд. Плазмаи печи печи аксар вақт ҳамчун материя бо электронҳои "гарм", ионҳои "сард" ва зарраҳои нейтралӣ номида мешавад. Ҳангоми гузоштани филми тунук, микромавҷҳо тавассути тиреза ба камераи синтези CVD-и плазма ворид мешаванд. Плазмаи люминесцентӣ шакли курашакл дорад ва андозаи сфера бо қувваи микроволновка зиёд мешавад. Плёнкаҳои тунуки алмос дар як субстрат дар як гӯшаи минтақаи люминесцентӣ парвариш карда мешаванд ва субстрат набояд бо минтақаи люминесцентӣ дар тамос бошад.
-Ин мақоларо нашр кардаастистеҳсолкунандаи мошини молидани чангкашакГуандун Чжэнхуа
Вақти фиристодан: июн-19-2024