செராமிக் மின்தேக்கி மின்முனைகளில் வெள்ளிக்குப் பதிலாக செம்பைப் பயன்படுத்துதல்: ஜென்ஹுவா வேக்யூமின் இருபக்கத் தொடர் ஸ்பட்டரிங் உற்பத்தி வரிசை 14 ஆண்டுகளாக நிலையான பெருமளவு உற்பத்தியை அடைந்துள்ளது.

கட்டுரை ஆதாரம்: ஜென்ஹுவா வெற்றிடம்

படிக்கவும்:10

வெளியிடப்பட்டது: 26-10-06

தொலைநோக்குச் சிந்தனை: சந்தையை விட வாடிக்கையாளர் தேவை முன்னணியில் இருந்தது.

2008-ஆம் ஆண்டில், உலகளாவிய நிதி நெருக்கடி சந்தைகளைப் பாதித்து, நிச்சயமற்ற தன்மை அதிகரித்தபோது, வெள்ளியின் விலை உயர்வு நேரடிச் செலவு அழுத்தத்தை உருவாக்குவதற்கு முன்பே, உயர்தர செராமிக் மின்தேக்கிகளைத் தயாரிக்கும் ஒரு முன்னணி உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர், மூலப்பொருட்களின் விலை ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் உற்பத்திச் செயல்முறை மாற்றத்தால் ஏற்படக்கூடிய நீண்டகாலத் தாக்கங்களை மதிப்பிடத் தொடங்கினார்.

எனவே, வாடிக்கையாளர் தனது நீண்டகால உற்பத்தி உத்தியில் மின்முனை செயல்முறை மேம்படுத்தலை இணைத்துக்கொண்டார்: அதாவது, பொருளின் செயல்திறன் மற்றும் நம்பகத்தன்மையைப் பராமரிக்கும் அதே வேளையில், வெள்ளியைச் சார்ந்திருப்பதையும் வெள்ளி விலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பாதிப்புகளையும் குறைத்தல்; மற்றும் அதே சமயம், பொருளின் சீரான தன்மை, செயல்முறை நிலைத்தன்மை மற்றும் நீண்டகால விநியோகத் திறனை மேம்படுத்துவதற்காக, மின்முனை உற்பத்தியை கைமுறை மற்றும் பகுதி-கைமுறை செயல்பாடுகளிலிருந்து தானியங்கு, தரப்படுத்தப்பட்ட பெருமளவு உற்பத்திக்கு மாற்றுதல்.

ஒரு புதிய தொழில்நுட்ப வழியை கூட்டாக ஆராய்வதற்காக வாடிக்கையாளர் ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனத்தை அணுகினார்: செராமிக் மின்தேக்கி மின்முனைகளை உற்பத்தி செய்ய ஒரு மாற்றுப் பொருளைப் பயன்படுத்த முடியுமா, அதே நேரத்தில் ஒரு புதிய படிவு செயல்முறை மற்றும் தானியங்கி உற்பத்தி உபகரணங்கள் நீண்ட கால, நிலையான, அதிக அளவிலான உற்பத்தியை சாத்தியமாக்குமா?

ஆரம்பகால ஆய்வு: தாமிரத்தைக் கொண்டு மின்முனை செயல்முறையை மறுகட்டமைத்தல்

திட்டத்தின் தொடக்கத்தில், நிறுவப்பட்ட தீர்வு எதுவும் கிடைக்கவில்லை. அந்த மாற்றுப் பொருளானது, சிறந்த மின் கடத்துத்திறன் மற்றும் செலவு நன்மைகளை வழங்குவதோடு, சிறப்பான பூச்சு ஒட்டுதலையும் நீண்டகால நம்பகத்தன்மையையும் அளிக்க வேண்டியிருந்தது. மேலும், அந்தப் புதிய செயல்முறையானது தானியங்கு உற்பத்தியுடன் இணக்கமானதாகவும் இருக்க வேண்டியிருந்தது.

பல சுற்று தொழில்நுட்ப மதிப்பீடுகளுக்குப் பிறகு, தாமிரம் ஒரு சாத்தியமான தேர்வாக உருவெடுத்தது. அதன் மின் கடத்துத்திறன் வெள்ளியின் கடத்துத்திறனுக்கு நெருக்கமாகவும், அதன் மூலப்பொருட்களின் விலை கணிசமாகக் குறைவாகவும் உள்ளது. இருப்பினும், தாமிரம் அதிக வெப்பநிலையில் ஆக்ஸிஜனேற்றத்திற்கு உள்ளாகும் தன்மை கொண்டது, அதாவது வழக்கமான வெள்ளிப் பசை செயல்முறையை அப்படியே பின்பற்ற முடியவில்லை. படியவைக்கும் முறை, செயல்முறை அளவுருக்கள் மற்றும் உற்பத்தி உபகரணங்கள் ஆகிய அனைத்தும் புதிதாக உருவாக்கப்பட வேண்டியிருந்தது.

அக்காலத்தில், செராமிக் மின்தேக்கிகளுக்கான செப்பு மின்முனைகளின் பெருமளவு உற்பத்திக்கு நிறுவப்பட்ட உள்நாட்டு எடுத்துக்காட்டுகள் எதுவும் இருக்கவில்லை. மூலப்பொருட்கள், செயல்முறைத் தொழில்நுட்பம் மற்றும் உபகரண மேம்பாடு ஆகிய அனைத்தும் அடிமட்டத்திலிருந்து தொடங்கப்பட வேண்டியிருந்தது. மூலப்பொருள் தீர்வு இறுதி செய்யப்படும் வரை காத்திருக்காமல், ஜென்ஹுவா வேக்யூம் திட்டத்தின் ஆரம்பக் கட்டத்திலிருந்தே ஈடுபட்டு, தொழில்நுட்ப வழியை நிறுவுவதற்காக வாடிக்கையாளருடன் நெருக்கமாகப் பணியாற்றியது. மாதிரிச் சோதனைகள், பூச்சு சரிபார்ப்பு மற்றும் பெருமளவு உற்பத்தி செயல்முறை மேம்பாடு ஆகியவை உபகரணப் பொறியியலுடன் இணையாக மேற்கொள்ளப்பட்டன. இது, பூச்சுப் படிதல் செயல்முறையும் உற்பத்தி வரிசையும் ஒன்றாக இணைந்து பரிணமிக்க வழிவகுத்தது.

இறுதியாக, இரு தரப்பினரும் மேக்னட்ரான் ஸ்பட்டரிங் (PVD) முறையை மையத் தொழில்நுட்பமாகத் தேர்ந்தெடுத்தனர். படியவைக்கப்பட்ட படலம், அடி மூலக்கூறுடன் வலுவான ஒட்டுதலை வழங்குவதோடு, வெள்ளிப் பசையில் பயன்படுத்தப்படும் கரிமப் பிணைப்பான் இல்லாமல், பீங்கான் மேற்பரப்பில் நேரடியாக ஒரு தாமிர மின்முனை அடுக்கைப் படியவைக்கவும் உதவுகிறது. இது கரைப்பான்கள் மற்றும் அவற்றின் ஆவியாதல் தேவையை நீக்குவதோடு, உயர்-வெப்பநிலை சின்டரிங் படிநிலையையும் நீக்குகிறது. இதன் விளைவாக, வழக்கமான ஈரச் செயலாக்கத்துடன் ஒப்பிடும்போது, இது ஒரு தூய்மையான மற்றும் சுற்றுச்சூழலுக்கு உகந்த உலர் செயல்முறையாக அமைகிறது.

படிவுத் திறனையும் உற்பத்தித் திறனையும் மேம்படுத்துவதற்காக, ஜென்ஹுவா ஒரு இருபக்கத் தொடர் ஸ்பட்டரிங் உற்பத்தி வரிசையை உருவாக்கியுள்ளது. பீங்கான் கூறுகள் வெற்றிட அமைப்புக்குள் நுழைந்தவுடன், அவற்றை கைமுறையாகப் புரட்டாமலேயே இருபுறமும் பூச முடியும். அதே நேரத்தில், தொடர்ச்சியான பொருள் பரிமாற்றம் தனிப்பட்ட செயல்முறை நிலைகளை இணைக்கிறது. இந்த உலர்-செயல்முறைத் தீர்வு, "வெள்ளிப் பசை அச்சிடுதல் → உலர்த்துதல் → உருக்குதல்" என்ற பல ஈர-செயல்முறைப் படிகளுக்குப் பதிலாக, ஒட்டுமொத்த செயல்முறைச் சங்கிலியை எளிதாக்குவதோடு, தொகுதிக்குத் தொகுதி நிலைத்தன்மையையும் உற்பத்தித் திறனையும் மேம்படுத்துகிறது.

b4dc40da68c77252d509da93294decb4_content_id=file_000000006d8081f78565c3087f81abf1&ts=497115&p=fs&cid=1&sig=49fcbe839135aec802601fcf5478d6eb95f80fca2cba8f5c8b2079bbe47e25ce&v=0

2012-ல், அந்த உபகரணங்கள் வெற்றிகரமாக வழங்கப்பட்டன. ஆரம்பகட்ட தொழில்நுட்பக் கலந்துரையாடல்கள் மற்றும் செயல்முறை மேம்பாட்டிலிருந்து, உற்பத்தி வரிசையை இயக்கிச் செயல்படுத்துவது வரை, இந்தத் திட்டத்திற்குச் சுமார் இரண்டு ஆண்டுகள் ஆனது.

நீண்ட கால சரிபார்ப்பு: 14 ஆண்டுகள் தொடர்ச்சியான பெருமளவு உற்பத்தி

செப்டம்பர் 2026 நிலவரப்படி, 2012-ல் வழங்கப்பட்ட இருபக்க தொடர் ஸ்பட்டரிங் உற்பத்தி வரிசையானது, வாடிக்கையாளரின் ஆலையில் இன்னும் இயங்கி, நிலையான பெருமளவு உற்பத்தியை ஆதரித்து வருகிறது. பூச்சுச் சீர்மை, செயல்முறைத் தன்னியக்கம் மற்றும் அதிக அளவு உற்பத்தி ஆகியவற்றுக்கான தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்வதோடு, "வெள்ளிக்குப் பதிலாக செம்பு" என்ற இந்தத் தீர்வு, விலைமதிப்புள்ள உலோகமான வெள்ளியைச் சார்ந்திருப்பதைக் கணிசமாகக் குறைத்து, மின்முனைப் பொருட்களின் செலவுகளையும் குறைக்கிறது. மேலும், இது தூய்மையான மற்றும் சுற்றுச்சூழலுக்கு அதிகப் பொறுப்பான உற்பத்தியின் தேவைகளுடனும் ஒத்துப்போகிறது. 14 ஆண்டுகள் தொடர்ச்சியான செயல்பாட்டிற்குப் பிறகு, இந்த உபகரணமானது செலவுத் திறன், பூச்சுத் தரம், உற்பத்தி நம்பகத்தன்மை மற்றும் பெருமளவு உற்பத்தி நிலைத்தன்மை ஆகியவற்றின் அடிப்படையில், இந்தச் செயல்முறை மற்றும் உபகரணத் தீர்வுக்கான நீண்டகாலச் சரிபார்ப்பை வழங்கியுள்ளது.

அக்காலத்தில், உள்நாட்டுத் தொழிற்துறையானது தாமிர மின்முனை வழிமுறையைப் புரிந்துகொண்டு ஏற்றுக்கொள்வதில் ஆரம்பக் கட்டங்களிலேயே இருந்தது; பெரும்பாலான உற்பத்தியாளர்கள் வெள்ளிப் பசை செயலாக்கத்தையே தொடர்ந்து நம்பியிருந்தனர். இருப்பினும், சமீபத்திய ஆண்டுகளில், வெள்ளிப் பசையினால் ஏற்பட்ட அதிகரித்து வரும் செலவு அழுத்தம், "வெள்ளிக்குப் பதிலாக தாமிரத்தைப் பயன்படுத்துதல்" என்ற தொழிற்துறையின் மாற்றத்தை வேகப்படுத்தியுள்ளது. இது, செராமிக் மின்தேக்கி மின்முனை உற்பத்திக்கு ஸ்பட்டரிங் கருவிகளை மிகவும் விரும்பப்படும் ஒரு தீர்வாக மாற்றியுள்ளது. இதே தொழில்நுட்பத் திசையானது, ஆரம்பத்தில் ஒரு தொலைநோக்கு ஆய்வாக இருந்து, இன்று 14 ஆண்டுகால உற்பத்திச் சரிபார்ப்புக்குப் பிறகு, ஒரு முக்கியத் தொழிற்துறை மையமாக உருவெடுத்துள்ளது.

வாடிக்கையாளரைப் பொறுத்தவரை, இதன் நன்மைகள் நீண்டகாலம் நீடித்திருக்கின்றன. மூலப்பொருட்களின் செலவை நேரடியாகக் குறைத்ததுடன், இந்த உற்பத்தி அமைப்பானது, தொழில்துறையின் பெரும்பாலான நிறுவனங்களை விட 14 ஆண்டுகளுக்கு முன்பே வெள்ளி விலை ஏற்ற இறக்கங்களால் ஏற்படும் பாதிப்புகளைத் தவிர்த்தது. மேலும், சுற்றுச்சூழல் இணக்கம் மற்றும் உற்பத்தித் தன்னியக்கமாக்கல் ஆகியவற்றிலும் வாடிக்கையாளர் ஒரு முன்கூட்டிய அனுகூலத்தைப் பெற்றார். பல உற்பத்தியாளர்கள் சமீப ஆண்டுகளில் மட்டுமே வெள்ளி விலைகள் மற்றும் செயல்முறை மாற்றத்தால் அதிகரித்து வரும் அழுத்தத்தை எதிர்கொள்ளத் தொடங்கியுள்ள நிலையில், இந்த வாடிக்கையாளர் ஏற்கனவே இந்தத் தொழில்நுட்பத்தின் மூலம் 14 ஆண்டுகளாக நிலையான உற்பத்தியைப் பராமரித்து வருகிறார்.

சிப் செராமிக் மின்தேக்கி உற்பத்திக்காக ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனம் பயன்படுத்திய இருபக்க தொடர் ஸ்பட்டரிங் தொழில்நுட்பத்தின் ஆரம்பகாலப் பயன்பாடுகளில் இந்தத் திட்டமும் ஒன்றாகும். 2012-ஆம் ஆண்டின் உள்நாட்டுத் தொழில்துறைச் சூழலைக் கருத்தில் கொண்டால், இதன் வெற்றிகரமான பொறியியல் செயலாக்கம், தாமிர-மின்முனைத் தொழில்நுட்பத்தின் வணிகமயமாக்கலில் ஒரு ஆரம்பகால திருப்புமுனையாக அமைந்தது. இது, செயல்முறை மேம்பாடு மற்றும் தொழில்நுட்பப் பயன்பாடு ஆகியவற்றில் ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனத்தின் தொலைநோக்குப் பார்வையை வெளிப்படுத்தியது. உபகரண மேம்பாடு, வெற்றிகரமான விநியோகம் மற்றும் 14 ஆண்டுகால நிலையான பெருமளவு உற்பத்திச் சரிபார்ப்பு ஆகியவற்றின் மூலம், இந்தத் திட்டம் செராமிக் மின்தேக்கிப் பூச்சுப் பயன்பாடுகளில் ஜென்ஹுவா வேக்யூம் நிறுவனத்திற்கு ஒரு வலுவான முன்னோடி நிலையை ஏற்படுத்தியதுடன், அடுத்தடுத்த உபகரண மேம்பாடு, செயல்முறை உகப்பாக்கம் மற்றும் தொடர்ச்சியான முன்னேற்றம் ஆகியவற்றுக்கு மதிப்புமிக்க நீண்டகால அனுபவத்தையும் வழங்கியது.