Magnetronsputtringssystem med optisk inline-vakuumbeläggning är en avancerad teknik som används för att deponera tunna filmer på en mängd olika substrat och används ofta inom industrier som optik, elektronik och materialvetenskap. Följande är en detaljerad översikt:
Komponenter och funktioner:
1. magnetronsputtkälla:
En magnetron används för att generera ett plasma med hög densitet.
Målmaterialet (källan) bombarderas med joner, vilket resulterar i att atomer stöts ut (förstoftas) och avsätts på substratet.
Magnetronen kan utformas för likströms-, pulserande likströms- eller RF-drift (radiofrekvens), beroende på vilket material som sputtras.
2. Inline-system:
Substratet förflyttas kontinuerligt eller progressivt genom beläggningskammaren.
Möjliggör högkapacitetsproduktion och jämn beläggning av stora ytor.
Används vanligtvis för att belägga glas-, plast- eller metallplåt i rulle-till-rulle- eller flatbäddsprocesser.
3. vakuumkammare:
Bibehåller en kontrollerad lågtrycksmiljö för att underlätta sputtering.
- Förhindrar kontaminering och säkerställer hög renhet hos deponerade filmer.
- Vanligtvis utrustade med lastlås för att minimera exponering för atmosfäriska förhållanden under lastning och lossning av substrat.
4. optiska beläggningsfunktioner:
- Specifikt utformade för att producera optiska beläggningar såsom antireflexbeläggningar, speglar, filter och stråldelare.
- Möjliggör exakt kontroll av filmtjocklek och enhetlighet, vilket är avgörande för optiska tillämpningar.
5. processkontrollsystem:
- Avancerade övervaknings- och feedbacksystem för att styra parametrar som effekt, tryck och substrathastighet.
- Diagnostik på plats för att mäta filmegenskaper under deponering för att säkerställa kvalitet och konsekvens.
Användningsområden:
1. Optik:
- Beläggning av linser, speglar och andra optiska komponenter för att förbättra prestandan.
- Tillverkar flerskiktsbeläggningar för interferensfilter och andra komplexa optiska enheter.
2. Elektronik:
- Tunnfilmstransistorer, sensorer och andra elektroniska enheter.
- Transparenta ledande beläggningar för bildskärmar och pekskärmar. 3.
3. solpaneler:
- Antireflexbeständiga och ledande beläggningar för förbättrad effektivitet.
- Inkapslade lager för hållbarhet.
4. dekorativa beläggningar:
- Ytbehandling av smycken, klockor och andra föremål för estetiska ändamål.
Fördelar:
1. Hög precision:
- Ger en jämn och repeterbar beläggning med exakt kontroll av tjocklek och sammansättning. 2.
2. Skalbarhet:
- Lämplig för småskalig forskning och storskalig industriell produktion. 3.
3. Mångsidighet:
- Avsätter en mängd olika material, inklusive metaller, oxider, nitrider och kompositföreningar.
4. Effektivitet:
- Inline-system möjliggör kontinuerlig bearbetning, vilket minskar stilleståndstiden och ökar genomströmningen.
Publiceringstid: 29 juni 2024