Magnetron sputtering sistem palapis vakum di-garis optik mangrupa téhnologi canggih dipaké pikeun deposit film ipis onto rupa-rupa substrat, aya nu ilahar dipaké dina industri kayaning élmu optik, éléktronika jeung bahan. Di handap ieu tinjauan lengkep:
Komponén sareng fitur:
1. sumber sputter magnetron:
Magnetron dianggo pikeun ngahasilkeun plasma dénsitas luhur.
Bahan udagan (sumber) dibombardir ku ion, hasilna atom-atom diusir (sputtered) sareng disimpen dina substrat.
Magnetron bisa dirancang pikeun DC, pulsed DC, atawa RF (frekuensi radio) operasi, gumantung kana bahan keur sputtered.
2. Sistem In-line:
Substrat dipindahkeun sacara terus-terusan atanapi sacara bertahap ngaliwatan kamar palapis.
Ngamungkinkeun produksi throughput tinggi na palapis seragam wewengkon badag.
Ilaharna dipaké pikeun coated kaca, palastik atawa logam cadar dina roll-to-roll atawa prosés flatbed.
3. ruang vakum:
Ngajaga lingkungan tekanan low dikawasa pikeun mempermudah sputtering.
- Nyegah kontaminasi sareng ngajamin kamurnian luhur pilem anu disimpen.
- Biasana dilengkepan ku konci beban pikeun ngaminimalkeun paparan ka kaayaan atmosfir nalika ngamuat sareng ngabongkar momotan.
4. kamampuhan palapis optik:
- Dirancang khusus pikeun ngahasilkeun palapis optik sapertos palapis anti-reflektif, kaca spion, saringan, sareng pamisah sinar.
- Ngidinan kadali tepat ketebalan pilem sareng uniformity, anu penting pikeun aplikasi optik.
5. sistem kontrol prosés:
- Sistem monitoring sareng eupan balik canggih pikeun ngadalikeun parameter sapertos kakuatan, tekanan sareng laju substrat.
- Diagnostik dina situs pikeun ngukur sipat pilem nalika déposisi pikeun mastikeun kualitas sareng konsistensi.
Aplikasi:
1. Optik:
- Lapisan lénsa, kaca spion sareng komponén optik séjén pikeun ningkatkeun kamampuan.
- Ngahasilkeun palapis multilayer pikeun saringan gangguan sareng alat optik kompleks anu sanés.
2. Éléktronik:
- Transistor pilem ipis, sensor sareng alat éléktronik anu sanés.
- Lapisan konduktif transparan pikeun tampilan sareng layar toél. 3.
3. panel surya:
- Lapisan anti reflektif sareng konduktif pikeun ningkatkeun efisiensi.
- lapisan Encapsulated pikeun durability.
4. palapis hiasan:
- Ngalapis perhiasan, jam tangan sareng barang-barang sanés pikeun tujuan éstétika.
Kaunggulan:
1. Precision High:
- Nyadiakeun lapisan seragam sareng tiasa diulang kalayan kontrol ketebalan sareng komposisi anu tepat. 2.
2. Skalabilitas:
- Cocog pikeun panalungtikan skala leutik sareng produksi industri skala ageung. 3.
3. Versatility:
- Deposit rupa-rupa bahan, kaasup logam, oksida, nitrida jeung sanyawa komposit.
4. Efisiensi:
- Sistem In-line ngamungkinkeun pikeun ngolah kontinyu, ngirangan downtime sareng ningkatkeun throughput.
waktos pos: Jun-29-2024