Hot filament CVD ke mokhoa oa pele le o tsebahalang haholo oa ho holisa taemane ka khatello e tlase. 1982 Matsumoto et al. futhumatsang khoele ea tšepe e refractory ho feta 2000 ° C, moo mocheso oa khase ea H2 e fetang khoele e hlahisang liathomo tsa haedrojene habonolo. Tlhahiso ea hydrogen ea athomo nakong ea hydrocarbon pyrolysis e ile ea eketsa sekhahla sa ho beoa ha lifilimi tsa daemane. Taemane e behoa ka mokhoa o ikhethileng 'me ho etsoa ha graphite ho thibetsoe, e leng se etsang hore ho be le litekanyetso tsa ho behoa ha filimi ea daemane ka tatellano ea mm / h, e leng tekanyo e phahameng haholo ea ho behoa bakeng sa mekhoa e sebelisoang hangata indastering. HFCVD e ka etsoa ho sebelisoa mehloli e fapaneng ea khabone, joalo ka methane, propane, acetylene, le li-hydrocarbon tse ling, esita le li-hydrocarbon tse nang le oksijene, joalo ka acetone, ethanol le methanol. Ho eketsoa ha lihlopha tse nang le oksijene ho eketsa mocheso oa mocheso bakeng sa ho beoa ha taemane.
Ntle le mokhoa o tloaelehileng oa HFCVD, ho na le liphetoho tse 'maloa ho sistimi ea HFCVD. E atileng haholo ke sistimi e kopaneng ea DC plasma le HFCVD. Tsamaisong ena, motlakase oa leeme o ka sebelisoa ho substrate le filament. Ho ba le leeme le sa feleng holim'a substrate le leeme le itseng le lebe holim'a khoele li etsa hore lielektrone li bomoe karoloana, e lumellang hore hydrogen e holim'a metsi e fokotsehe. Sephetho sa desorption ke keketseho ea sekhahla sa ho beoa ha filimi ea daemane (e ka bang 10 mm / h), mokhoa o tsejoang ka hore ke HFCVD e thusoang ke elektronike. ha motlakase oa leeme o phahame ka ho lekaneng ho etsa hore ho be le ts'ebetso e tsitsitseng ea plasma, ho senyeha ha H2 le hydrocarbons ho eketseha haholo, e leng se qetellang se lebisa ho eketseha ha sekhahla sa kgolo. Ha polarity ea leeme e khutlisetsoa morao (substrate e leeme hampe), ion bombardment e etsahala karolong e ka tlaase, e lebisang ho eketseha ha nucleation ea daemane holim'a likaroloana tseo e seng tsa daemane. Phetoho e 'ngoe ke ho nkela sebaka sa filament e le' ngoe e chesang e nang le li-filament tse 'maloa tse fapaneng e le hore ho finyelloe ho behoa ha junifomo' me qetellong ho be le sebaka se seholo sa filimi ea daemane.The khaello ea HFCVD ke hore mouoane oa mocheso oa filament o ka etsa litšila ka filimi ea daemane.
(2) Microwave Plasma CVD (MWCVD)
Lilemong tsa bo-1970, bo-ramahlale ba ile ba sibolla hore bongata ba hydrogen ea athomo bo ka eketsoa ho sebelisoa plasma ea DC. Ka lebaka leo, plasma e ile ea fetoha mokhoa o mong oa ho khothalletsa ho etsoa ha lifilimi tsa daemane ka ho qhaqha H2 hore e be hydrogen ea athomo le ho kenya lihlopha tsa athomo tsa carbon. Ntle le plasma ea DC, mefuta e meng e 'meli ea plasma le eona e fumane tlhokomelo. CVD ea plasma ea microwave e na le maqhubu a hlasimollang a 2.45 GHZ, 'me RF plasma CVD e na le maqhubu a ho hlasimolla a 13.56 MHz. Li-plasma tsa microwave li ikhethile ka hore maqhubu a microwave a susumetsa ho thothomela ha elektronike. Ha lielektrone li thulana le liathomo tsa khase kapa limolek'hule, sekhahla se phahameng sa ho arohana se hlahisoa. Microwave plasma hangata e bitsoa taba e nang le lielektrone tse "chesang", li-ion tse "batang" le likaroloana tse sa nke lehlakore. Nakong ea ho beha filimi e tšesaane, li-microwave li kena ka phaposing ea CVD e ntlafalitsoeng ea plasma ka fensetere. Plasma ea luminescent hangata e na le sebopeho se chitja, 'me boholo ba pherekano bo eketseha ka matla a microwave. Lifilimi tse tšesaane tsa daemane li lengoa holim'a substrate k'honeng ea sebaka sa luminescent, 'me substrate ha ea tlameha ho kopana ka kotloloho le sebaka sa luminescent.
-Sengoliloeng sena se lokolloa kemoetsi oa mochine oa vacuum coatingGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Jun-19-2024