Magnetron sputtering optical in-line vacuum systems waa tignoolajiyad horumarsan oo loo isticmaalo in lagu shubo aflaanta khafiifka ah ee substrates kala duwan, waxaa inta badan lagu isticmaalaa warshadaha sida indhaha, elektiroonigga iyo sayniska alaabta. Kuwa soo socda waa dulmar tifaftiran:
Qaybaha iyo sifooyinka:
1. isha sputter magnetron:
Magnetron waxaa loo isticmaalaa in lagu dhaliyo balaasmaha cufnaanta sare.
Walxaha la beegsanayo (Isha) waxaa lagu duqeeyaa ions, taasoo keentay in atamka la soo saaro (la daadiyo) oo lagu shubo substrate-ka.
Magnetron-ka waxaa loo qaabayn karaa DC, garaaca DC, ama RF (inta jeer ee raadiyaha), iyadoo ku xiran walxaha la tuurayo.
2. Nidaamka khadka dhexda:
Substrate-ka ayaa si joogto ah ama si tartiib tartiib ah loogu dhaqaajiyaa qolka dahaarka.
Oggolow wax soo saarka sare iyo daahan labbiska ah ee meelaha waaweyn.
Caadi ahaan waxaa loo isticmaalaa in lagu dahaadho dhalada, balaastiig ama go'yaal bir ah oo duuban ama geedo fidsan.
3. vacuum chamber:
Waxay ilaalisaa jawi cadaadis hooseeya oo la kantaroolo si loo fududeeyo tufaaxa.
- Waxay ka hortagtaa wasakheynta waxayna hubisaa nadiifnimada sare ee filimada la xareeyo.
- Caadi ahaan waxaa lagu qalabeeyaa qufullo rar si loo yareeyo soo-gaadhista xaaladaha jawiga inta lagu jiro soo dejinta iyo dejinta substrate-ka.
4. Awoodaha dahaarka indhaha:
- Si gaar ah loogu talagalay in lagu soo saaro dahaarka indhaha sida dahaarka ka-hortagga milicsiga, muraayadaha, filtarrada, iyo kala qaybinta iftiinka.
- Waxay ogolaataa in si sax ah loo xakameeyo dhumucda filimka iyo labbiska, taas oo muhiim u ah codsiyada indhaha.
5. Nidaamyada xakamaynta habka:
- Nidaamyada kormeerka sare iyo jawaab celinta ee xakamaynta xuduudaha sida awoodda, cadaadiska iyo xawaaraha substrate-ka.
- Baadhitaanka goobta ee lagu cabbirayo guryaha filimka inta lagu jiro kaydinta si loo hubiyo tayada iyo joogtaynta.
Codsiyada:
1. Optics:
- muraayadaha dahaarka, muraayadaha iyo qaybaha kale ee indhaha si kor loogu qaado waxqabadka.
- Waxay soo saartaa dahaarka multilayer ee filtarrada faragelinta iyo aaladaha kale ee indhaha ee adag.
2. Elektrooniga:
- Transistor-ka filimka khafiifka ah, dareemayaasha iyo aaladaha kale ee elektiroonigga ah.
- Dahaarka korantada hufan ee bandhigyada iyo shaashadaha taabashada. 3.
3. baalal cadceedda:
- Dahaarka ka-hortagga milicsiga iyo korantada si loo hagaajiyo waxtarka.
- Lakabyada la duubay si loogu waarayo.
4. dahaarka qurxinta:
- Dahaarka dahabka, saacadaha iyo alaabta kale ee ujeedooyinka qurxinta.
Faa'iidooyinka
1. Saxnaanta Sare:
-Waxay siisaa dahaar labis ah oo lagu celcelin karo oo leh kontorool sax ah dhumucda iyo halabuurka. 2.
2. Miisaanka:
- Ku habboon cilmi-baaris yar-yar iyo wax-soo-saarka warshadaha ballaaran. 3.
3. Kala duwanaansho:
- Wuxuu dhigaa agab kala duwan oo kala duwan, oo ay ku jiraan biraha, oxides, nitrides iyo xeryahooda isku dhafan.
4. Waxtarka:
- Nidaamyada khadka-dhex-dhexaadka ah waxay u oggolaanayaan socodsiinta joogtada ah, yaraynta wakhtiga dhimista iyo kordhinta wax soo saarka.
Waqtiga boostada: Juun-29-2024