Magnetronski razpršilni optični linijski vakuumski sistemi za nanašanje premazov so napredna tehnologija, ki se uporablja za nanašanje tankih filmov na različne podlage in se pogosto uporablja v panogah, kot so optika, elektronika in znanost o materialih. Sledi podroben pregled:
Komponente in lastnosti:
1. vir magnetronskega razprševanja:
Magnetron se uporablja za ustvarjanje plazme visoke gostote.
Ciljni material (vir) je bombardiran z ioni, kar povzroči izmet (razprševanje) atomov in njihovo odlaganje na substrat.
Magnetron je lahko zasnovan za delovanje z enosmernim, impulznim enosmernim ali radijsko frekvenco (RF), odvisno od materiala, ki ga napršujemo.
2. Vrstni sistem:
Substrat se premika neprekinjeno ali postopoma skozi komoro za premazovanje.
Omogoča visoko produktivnost in enakomerno nanašanje premazov na velikih površinah.
Običajno se uporablja za premazovanje stekla, plastike ali kovinskih plošč v postopkih iz role v rolo ali na ploščatih ploščah.
3. vakuumska komora:
Vzdržuje nadzorovano nizkotlačno okolje za lažje brizganje.
- Preprečuje kontaminacijo in zagotavlja visoko čistost nanesenih filmov.
- Običajno opremljeni z zaklepnimi elementi za zmanjšanje izpostavljenosti atmosferskim razmeram med natovarjanjem in raztovarjanjem substrata.
4. zmogljivosti optičnega premaza:
- Posebej zasnovani za izdelavo optičnih premazov, kot so antirefleksni premazi, ogledala, filtri in delilniki žarkov.
- Omogoča natančen nadzor debeline in enakomernosti filma, kar je ključnega pomena za optične aplikacije.
5. sistemi za nadzor procesov:
- Napredni sistemi za spremljanje in povratne informacije za nadzor parametrov, kot so moč, tlak in hitrost substrata.
- Diagnostika na kraju samem za merjenje lastnosti filma med nanašanjem za zagotavljanje kakovosti in doslednosti.
Uporaba:
1. Optika:
- Premazovanje leč, ogledal in drugih optičnih komponent za izboljšanje delovanja.
- Izdeluje večplastne premaze za interferenčne filtre in druge kompleksne optične naprave.
2. Elektronika:
- Tankoplastni tranzistorji, senzorji in druge elektronske naprave.
- Prozorni prevodni premazi za zaslone in zaslone na dotik. 3.
3. sončne celice:
- Antirefleksni in prevodni premazi za izboljšano učinkovitost.
- Kapsulirane plasti za vzdržljivost.
4. dekorativni premazi:
- Premazovanje nakita, ur in drugih predmetov za estetske namene.
Prednosti:
1. Visoka natančnost:
- Zagotavlja enakomeren in ponovljiv nanos z natančnim nadzorom debeline in sestave. 2.
2. Prilagodljivost:
- Primerno za raziskave majhnega obsega in obsežno industrijsko proizvodnjo. 3.
3. Vsestranskost:
- Nanaša široko paleto materialov, vključno s kovinami, oksidi, nitridi in kompozitnimi spojinami.
4. Učinkovitost:
- Sistemi v liniji omogočajo neprekinjeno obdelavo, kar zmanjšuje izpade in povečuje prepustnost.
Čas objave: 29. junij 2024