Postopek vakuumskega nanašanja s paro običajno vključuje čiščenje površine substrata, pripravo pred nanašanjem premaza, nanašanje s paro, nalaganje, obdelavo po nanašanju premaza, testiranje in končne izdelke.
(1) Čiščenje površine podlage. Stene vakuumske komore, okvir podlage in druge površine olja, rje in ostankov prevleke zlahka izhlapijo v vakuumu, kar neposredno vpliva na čistost filmske plasti in oprijemno moč, zato jih je treba pred nanašanjem prevleke očistiti.
(2) Priprava pred nanosom premaza. Premaz se izprazni v vakuumu do ustrezne stopnje vakuuma, substrat in premazni material pa se predobdelajo. Namen segrevanja substrata je odstraniti vlago in povečati oprijemno moč membrane na podlago. Segrevanje substrata pod visokim vakuumom lahko desorbira adsorbirani plin na površini substrata, nato pa se plin iz vakuumske komore odstrani z vakuumsko črpalko, kar prispeva k izboljšanju stopnje vakuuma v premazni komori, čistosti filmske plasti in oprijemne moči podlage. Ko je dosežena določena stopnja vakuuma, se film predhodno segreje ali tali z virom izhlapevanja z nižjo močjo električne energije. Da se prepreči izhlapevanje na podlago, se vir izhlapevanja in izvorni material prekrijeta z pregrado, nato pa se dovede večja moč električne energije, premazni material se hitro segreje na temperaturo izhlapevanja, izhlapi in nato se pregrada odstrani.
(3) Izhlapevanje. Poleg stopnje izhlapevanja, ki je potrebna za izbiro ustrezne temperature substrata, je zelo pomemben parameter tudi temperatura izhlapevanja materiala za prevleko zunaj tlaka zraka za nanašanje. Tlak plina za nanašanje, oziroma vakuum v prostoru za nanašanje, določa povprečni prosti doseg molekul plina, ki se gibljejo v prostoru za izhlapevanje, in določeno razdaljo izhlapevanja pod paro in preostalimi atomi plina ter število trkov med atomi pare.
(4) Razkladanje. Ko debelina plasti filma ustreza zahtevam, pokrijte vir izhlapevanja z zaščitno pregrado in prenehajte segrevati, vendar ne usmerjajte zraka takoj. Nadaljujte z ohlajanjem v vakuumu nekaj časa, da se prepreči oksidacija prevleke, preostalega materiala prevleke in upornosti, vira izhlapevanja itd., nato prenehajte s črpanjem in napihnite, odprite vakuumsko komoro in odstranite substrat.
–Ta članek je objavilproizvajalec strojev za vakuumsko lakiranjeGuangdong Zhenhua
Čas objave: 27. september 2024