Процесс вакуумного осаждения из паровой фазы обычно включает очистку поверхности подложки, подготовку перед нанесением покрытия, осаждение из паровой фазы, загрузку, обработку после нанесения покрытия, испытания и получение готовой продукции.
(1) Очистка поверхности подложки. Стенки вакуумной камеры, каркас подложки и другие поверхностные масла, ржавчина, остаточный материал гальванопокрытия легко испаряются в вакууме, что напрямую влияет на чистоту слоя пленки и силу сцепления, поэтому их необходимо очистить перед нанесением покрытия.
(2) Подготовка перед нанесением покрытия. Покрытие пустого вакуума до соответствующей степени вакуума, подложка и материалы покрытия для предварительной обработки. Нагрев подложки, цель состоит в том, чтобы удалить влагу и повысить силу сцепления мембранной основы. Нагрев подложки в высоком вакууме может десорбировать адсорбированный газ на поверхности подложки, а затем выпустить газ из вакуумной камеры с помощью вакуумного насоса, что способствует улучшению степени вакуума камеры покрытия, чистоты слоя пленки и силы сцепления основы пленки. После достижения определенной степени вакуума, первый источник испарения с более низкой мощностью электричества, предварительный нагрев пленки или предварительное плавление. Чтобы предотвратить испарение на подложке, накройте источник испарения и исходный материал перегородкой, а затем введите более высокую мощность электричества, материал покрытия быстро нагревается до температуры испарения, испарения и затем удалите перегородку.
(3) Испарение. Помимо стадии испарения для выбора соответствующей температуры подложки, температура испарения материала покрытия за пределами осаждения давления воздуха также является очень важным параметром. Осадительное давление газа, то есть вакуум в помещении для нанесения покрытия, определяет средний свободный пробег молекул газа, движущихся в пространстве испарения, и определенное расстояние испарения под атомами пара и остаточного газа, а также количество столкновений между атомами пара.
(4) Выгрузка. После того, как толщина слоя пленки будет соответствовать требованиям, закройте источник испарения перегородкой и прекратите нагрев, но не направляйте воздух немедленно, необходимо продолжать охлаждение в условиях вакуума в течение определенного периода времени для охлаждения, чтобы предотвратить окисление покрытия, остаточного материала покрытия и сопротивления, источника испарения и т. д., а затем прекратите откачку, а затем надуйте, откройте вакуумную камеру, чтобы вынуть подложку.
–Эта статья опубликованапроизводитель вакуумных напылительных машинГуандун Чжэньхуа
Время публикации: 27-сен-2024