Magnetronsputtering optiske inline vakuumbeleggssystemer er en avansert teknologi som brukes til å avsette tynne filmer på en rekke underlag, og de brukes ofte i industrier som optikk, elektronikk og materialvitenskap. Følgende er en detaljert oversikt:
Komponenter og funksjoner:
1. magnetron-sputterkilde:
En magnetron brukes til å generere et plasma med høy tetthet.
Målmaterialet (kilden) bombarderes med ioner, noe som resulterer i at atomer blir kastet ut (sputtert) og avsatt på substratet.
Magnetronen kan være konstruert for DC, pulset DC eller RF (radiofrekvens) drift, avhengig av materialet som forstøves.
2. Inline-system:
Underlaget beveges kontinuerlig eller gradvis gjennom belegningskammeret.
Tillater høy produksjonskapasitet og jevn belegg av store områder.
Brukes vanligvis til å belegge glass-, plast- eller metallplater i rull-til-rull- eller flatbed-prosesser.
3. vakuumkammer:
Opprettholder et kontrollert lavtrykksmiljø for å legge til rette for sputtering.
- Forhindrer forurensning og sikrer høy renhet av avsatte filmer.
- Vanligvis utstyrt med lastelåser for å minimere eksponering for atmosfæriske forhold under lasting og lossing av substrat.
4. optiske beleggegenskaper:
- Spesielt utviklet for å produsere optiske belegg som antirefleksbelegg, speil, filtre og stråledelere.
- Tillater presis kontroll av filmtykkelse og ensartethet, noe som er kritisk for optiske applikasjoner.
5. prosesskontrollsystemer:
- Avanserte overvåkings- og tilbakemeldingssystemer for å kontrollere parametere som effekt, trykk og substrathastighet.
- Diagnostikk på stedet for måling av filmegenskaper under avsetning for å sikre kvalitet og konsistens.
Bruksområder:
1. Optikk:
- Belegg av linser, speil og andre optiske komponenter for å forbedre ytelsen.
- Produserer flerlagsbelegg for interferensfiltre og andre komplekse optiske enheter.
2. Elektronikk:
- Tynnfilmtransistorer, sensorer og andre elektroniske enheter.
- Gjennomsiktige ledende belegg for skjermer og berøringsskjermer. 3.
3. solcellepaneler:
- Antireflekterende og ledende belegg for forbedret effektivitet.
- Innkapslede lag for holdbarhet.
4. dekorative belegg:
- Belegg av smykker, klokker og andre gjenstander for estetiske formål.
Fordeler:
1. Høy presisjon:
- Gir et jevnt og repeterbart belegg med presis kontroll over tykkelse og sammensetning. 2.
2. Skalerbarhet:
- Egnet for småskala forskning og storskala industriell produksjon. 3.
3. Allsidighet:
- Avsetter et bredt utvalg av materialer, inkludert metaller, oksider, nitrider og komposittforbindelser.
4. Effektivitet:
- Inline-systemer muliggjør kontinuerlig prosessering, noe som reduserer nedetid og øker gjennomstrømningen.
Publisert: 29. juni 2024