Høyenergiplasma kan bombardere og bestråle polymermaterialer, bryte molekylkjedene deres, danne aktive grupper, øke overflateenergien og generere etsing. Plasmaoverflatebehandling påvirker ikke den indre strukturen og ytelsen til bulkmaterialet, men endrer bare overflateegenskapene betydelig.
For ikke å skade selve materialets egenskaper, bruker plasmaoverflatemodifiseringsbehandling vanligvis ikke plasma med høyere effekttetthet. Forskjellen mellom denne behandlingen og andre plasmabehandlinger er:
1) Ikke injiser ioner eller atomer i den behandlede overflaten (for eksempel ionimplantasjon).
2) Ikke fjern større materialer (som forstøvning eller etsing).
3) Ikke legg til mer enn noen få enkeltlag (atomære) med materiale på overflaten (som avsetning).
Kort sagt, plasmaoverflatebehandling involverer bare de ytterste atomlagene.
Prosessparametrene for plasmaoverflatemodifisering inkluderer hovedsakelig gasstrykk, elektrisk feltfrekvens, utladningseffekt, virkningstid, osv. Prosessparametrene er enkle å justere. Under plasmamodifiseringsprosessen er mange aktive partikler tilbøyelige til å reagere med den behandlede overflaten de kommer i kontakt med, og kan brukes til å behandle materialoverflaten. Sammenlignet med tradisjonelle metoder har plasmaoverflatemodifisering fordelene med enkel prosess, enkel betjening, lave kostnader, forurensningsfri, avfallsfri, sikker produksjon og høy effektivitet.
Publisert: 07.06.2023