ပါးလွှာသောဖလင်တစ်ခုရရှိရန် မြင့်မားသောလေဟာနယ်ပတ်ဝန်းကျင်တွင် အစိုင်အခဲပစ္စည်းများကို အပူပေးခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ကို sublimate သို့မဟုတ် အငွေ့ပျံစေရန်နှင့် ၎င်းတို့အား ပါးလွှာသောအလွှာတစ်ခုပေါ်တွင် အပ်နှံခြင်းအား Vacuum evaporation coating (ရေငွေ့ပျံအလွှာအဖြစ် ရည်ညွှန်းသည်)။
လေဟာနယ်အငွေ့ပျံခြင်းလုပ်ငန်းစဉ်ဖြင့် ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များ၏ပြင်ဆင်မှုသမိုင်းကို 1850′s တွင်ခြေရာခံနိုင်သည်။ 1857 ခုနှစ်တွင် M. Farrar သည် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များအဖြစ် နိုက်ထရိုဂျင်အတွင်း သတ္တုဝါယာကြိုးများကို အငွေ့ပျံခြင်းဖြင့် ဖုန်စုပ်စက်ကို ဖုံးအုပ်ရန် ကြိုးပမ်းခဲ့သည်။ ထိုအချိန်က ဖုန်စုပ်နည်းပညာ နည်းပါးမှုကြောင့် ပါးလွှာသော ရုပ်ရှင်များကို ဤနည်းဖြင့် ပြင်ဆင်ခြင်းသည် အချိန်ကုန်ပြီး လက်တွေ့မကျပါ။ 1930 ခုနှစ်အထိ oil diffusion pump သည် mechanical pump joint pumping system ကို တည်ထောင်ခဲ့ပြီး၊ ဖုန်စုပ်နည်းပညာသည် လျင်မြန်စွာ ဖွံ့ဖြိုးတိုးတက်လာကာ ရေငွေ့ပျံခြင်းနှင့် sputtering coating တို့ကို လက်တွေ့ကျသော နည်းပညာတစ်ခု ဖြစ်လာစေမည်ဖြစ်သည်။
ဖုန်စုပ်စက် ငွေ့ပျံခြင်းသည် ရှေးခေတ် ပါးလွှာသော ဖလင် အစစ်ခံနည်းပညာ ဖြစ်သော်လည်း၊ ဓာတ်ခွဲခန်းနှင့် စက်မှုဇုန်များတွင် အသုံးအများဆုံး နည်းလမ်းဖြစ်သည်။ ၎င်း၏ အဓိက အားသာချက်များမှာ ရိုးရှင်းသော လည်ပတ်မှု၊ စုဆောင်းမှု ဘောင်များကို လွယ်ကူစွာ ထိန်းချုပ်နိုင်ကာ ရရှိလာသော ရုပ်ရှင်များ၏ သန့်ရှင်းမှု မြင့်မားခြင်း ဖြစ်သည်။ ဖုန်စုပ်စက်ကို အောက်ဖော်ပြပါ အဆင့်သုံးဆင့် ခွဲခြားနိုင်သည်။
1) အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းကို အပူပေးပြီး အရည်ပျော်သွားစေရန် သို့မဟုတ် အငွေ့ပျံစေရန်၊ 2) အငွေ့ကို အငွေ့ပျံရန် သို့မဟုတ် အငွေ့ပျံစေရန် အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းမှ ဖယ်ရှားသည်။
2) အငွေ့ကို အရင်းအမြစ်ပစ္စည်းမှ အလွှာသို့ လွှဲပြောင်းသည်။
3) အခိုးအငွေ့သည် အခဲအဖြစ် ဖလင်အဖြစ် ဖြစ်ပေါ်လာစေရန် အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်ပေါ်တွင် စုပုံသည်။
ပါးလွှာသောရုပ်ရှင်များ၏ လေဟာနယ်၏အငွေ့ပျံခြင်း၊ ယေဘူယျအားဖြင့် polycrystalline film သို့မဟုတ် amorphous film များသည် nucleation နှင့် film process နှစ်ခုအားဖြင့် လွှမ်းမိုးသည်။ အငွေ့ပျံသွားသော အက်တမ်များ (သို့မဟုတ် မော်လီကျူးများ) သည် အောက်စထရိနှင့် တိုက်မိသည်၊ အလွှာ၌ အမြဲတမ်း တွယ်တာနေသော အစိတ်အပိုင်း၊ စုပ်ယူမှု၏ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်း၊ ထို့နောက် အငွေ့ပျံသွားကာ အငွေ့ပျံသွားကာ အလွှာ၏ မျက်နှာပြင်မှ တိုက်ရိုက် ရောင်ပြန်ဟပ်မှု၏ တစ်စိတ်တစ်ပိုင်း။ အပူရွေ့လျားမှုကြောင့် အက်တမ်များ၏ အလွှာမျက်နှာပြင်ကို တွယ်တာခြင်း (သို့မဟုတ်) မော်လီကျူးများသည် အခြားအက်တမ်များကို ထိတွေ့ခြင်းကဲ့သို့သော မျက်နှာပြင်တစ်လျှောက် ရွေ့လျားနိုင်ပြီး အစုလိုက်အပြုံလိုက် စုပုံလာမည်ဖြစ်သည်။ စုပ်ယူထားသော အက်တမ်များ၏ အခမဲ့စွမ်းအင်ကို လျော့နည်းစေသောကြောင့် အစုအဝေးများသည် အလွှာမျက်နှာပြင်ရှိ ဖိအားများ မြင့်မားသောနေရာတွင် သို့မဟုတ် သလင်းကျောက်လွှာ၏ ဖြေရှင်းမှုအဆင့်များတွင် ဖြစ်ပေါ်လာနိုင်ခြေများပါသည်။ ဤသည်မှာ nucleation လုပ်ငန်းစဉ်ဖြစ်သည်။ အက်တမ်များ (မော်လီကျူးများ) ၏ နောက်ထပ် အစစ်ခံမှုသည် အထက်တွင်ဖော်ပြခဲ့သော ကျွန်းပုံသဏ္ဌာန်ပြွတ်များ (နူကလိယ) ကို စဉ်ဆက်မပြတ် ရုပ်ရှင်အဖြစ်သို့ ချဲ့ထွင်သည်အထိ ဖြစ်ပေါ်စေသည်။ ထို့ကြောင့်၊ လေဟာနယ်အငွေ့ပျံသွားသော polycrystalline ရုပ်ရှင်များ၏ တည်ဆောက်ပုံနှင့် ဂုဏ်သတ္တိများသည် အငွေ့ပျံနှုန်းနှင့် အလွှာအပူချိန်တို့နှင့် နီးကပ်စွာ ဆက်စပ်နေပါသည်။ ယေဘူယျအားဖြင့်ပြောရလျှင်၊ အလွှာ၏အပူချိန်နိမ့်လေ၊ ရေငွေ့ပျံနှုန်း မြင့်မားလေ၊ ဖလင်ဆန်သည် ပိုမိုအားကောင်းလေဖြစ်သည်။
- ဤဆောင်းပါးကိုထုတ်ဝေသည်။ဖုန်စုပ်စက်အလွှာထုတ်လုပ်သူGuangdong Zhenhua
စာတိုက်အချိန်- မတ်-၂၃-၂၀၂၄