Mokhoa oa ho futhumatsa thepa e tiileng tikolohong e phahameng ea vacuum ho e tlosa kapa ho e fetola mouoane le ho e beha holim'a substrate e itseng ho fumana filimi e tšesaane o tsejoa e le vacuum evaporation coating (e bitsoang vacuum coating).
Histori ea ho lokisoa ha lifilimi tse tšesaane ka mokhoa oa ho mouoane ka vacuum e ka lateloa morao ho fihlela lilemong tsa bo-1850. Ka 1857, M. Farrar o ile a qala boiteko ba ho koahela ka vacuum ka ho fetola lithapo tsa tšepe ka naetrojene hore li etse lifilimi tse tšesaane. Ka lebaka la theknoloji e tlase ea vacuum ka nako eo, ho lokisoa ha lifilimi tse tšesaane ka tsela ena ho ne ho nka nako e ngata ebile ho sa sebetse. Ho fihlela ka 1930 pompo ea ho hasana ha oli e ile ea thehoa sistimi ea ho pompa ea pompo ea mechini, theknoloji ea vacuum e ka ba nts'etsopele e potlakileng, e leng se ileng sa etsa hore ho mouoane le ho qhalana ha metsi ho fetohe theknoloji e sebetsang.
Leha ho ba le mouoane oa vacuum e le theknoloji ea khale ea ho boloka filimi e tšesaane, empa ke libaka tsa laboratori le tsa indasteri tse sebelisoang ka mokhoa o tloaelehileng haholo. Melemo ea eona e meholo ke ts'ebetso e bonolo, taolo e bonolo ea liparamente tsa ho boloka le bohloeki bo phahameng ba lifilimi tse hlahisoang. Ts'ebetso ea ho roala vacuum e ka aroloa ka mehato e meraro e latelang.
1) thepa ea mohloli e futhumatsoa le ho qhibilihisoa hore e fetohe mouoane kapa e fetohe sublimate; 2) mouoane o tlosoa thepa ea mohloling hore o fetohe mouoane kapa sublimate.
2) Mouoane o fetisetsoa ho tloha mohloling ho ea ho substrate.
3) Mouoane o ikamahanya holim'a substrate ho etsa filimi e tiileng.
Ho fetoha ha mouoane ha lifilimi tse tšesaane, ka kakaretso ke filimi ea polycrystalline kapa filimi e sa fetoheng, filimi ho ea ho kholo ea sehlekehleke e busa, ka mekhoa e 'meli ea nucleation le filimi. Liathomo tse mouoane (kapa limolek'hule) li thulana le substrate, karolo ea ho khomarela ka ho sa feleng substrate, karolo ea adsorption ebe li fetoha mouoane ho tloha substrate, le karolo ea ponts'o e tobileng ho tloha holim'a substrate. Ho khomarela holim'a substrate ea liathomo (kapa limolek'hule) ka lebaka la motsamao oa mocheso ho ka tsamaea holim'a metsi, joalo ka ho ama liathomo tse ling ho tla bokellana ka lihlopha. Lihlopha li ka etsahala haholo moo khatello holim'a substrate e leng holimo, kapa mehatong ea ho rarolla substrate ea kristale, hobane sena se fokotsa matla a mahala a liathomo tse monngoang. Ena ke ts'ebetso ea nucleation. Ho kenngoa ha liathomo tse ling (limolek'hule) ho fella ka katoloso ea lihlopha tse bōpehileng joaloka sehlekehleke (linuclei) tse boletsoeng ka holimo ho fihlela li atolosoa ho ba filimi e tsoelang pele. Ka hona, sebopeho le thepa ea lifilimi tsa polycrystalline tse mouoane tsa vacuum li amana haufi-ufi le sekhahla sa mouoane le mocheso oa substrate. Ka kakaretso, ha mocheso oa substrate o le tlase, sekhahla sa mouoane sea phahama, lithollo tsa filimi lia tšesaane 'me lia teteana.
–Sengoloa sena se lokollotsoe kemoetsi oa mochini oa ho roala ka vacuum cleanerGuangdong Zhenhua
Nako ea poso: Hlakubele-23-2024