Cov txheej txheem ntawm kev ua kom cov khoom khov kho hauv qhov chaw nqus tsev siab kom sublimate lossis evaporate thiab tso lawv rau ntawm ib qho substrate tshwj xeeb kom tau txais ib zaj duab xis nyias yog hu ua vacuum evaporation coating (hu ua evaporation coating).
Keeb kwm ntawm kev npaj cov zaj duab xis nyias nyias los ntawm cov txheej txheem nqus tsev tuaj yeem taug qab rov qab mus rau xyoo 1850. Xyoo 1857, M. Farrar tau pib sim ua kom cov txheej txheem nqus tsev los ntawm kev ua kom cov hlau xaim hauv nitrogen ua cov zaj duab xis nyias nyias. Vim tias cov thev naus laus zis nqus tsev tsawg thaum lub sijhawm ntawd, kev npaj cov zaj duab xis nyias nyias hauv txoj kev no siv sijhawm ntau thiab tsis ua tau zoo. Txog xyoo 1930, lub twj tso kua roj diffusion twj tso kua mis tau tsim lub tshuab twj tso kua mis sib koom ua ke, cov thev naus laus zis nqus tsev tuaj yeem tsim kho sai, tsuas yog ua rau cov txheej txheem evaporation thiab sputtering dhau los ua cov thev naus laus zis siv tau.
Txawm hais tias kev siv lub tshuab nqus tsev vacuum yog ib txoj kev siv tshuab tso cov zaj duab xis nyias thaum ub, tab sis nws yog txoj kev siv ntau tshaj plaws hauv chaw kuaj mob thiab chaw ua haujlwm. Nws cov txiaj ntsig tseem ceeb yog kev ua haujlwm yooj yim, kev tswj hwm yooj yim ntawm cov kev tso cov zaj duab xis thiab kev ua kom huv siab ntawm cov zaj duab xis. Cov txheej txheem nqus tsev tuaj yeem faib ua peb kauj ruam hauv qab no.
1) cov khoom siv tau raug cua sov thiab yaj kom ua pa lossis sublimate; 2) cov pa dej raug tshem tawm ntawm cov khoom siv los ua pa lossis sublimate.
2) Cov pa dej raug xa mus los ntawm cov khoom siv mus rau lub substrate.
3) Cov pa dej sib sau ua ke rau ntawm qhov chaw substrate los ua ib zaj duab xis khov kho.
Cov zaj duab xis nyias nyias uas nqus cua los ntawm lub tshuab nqus cua, feem ntau yog cov zaj duab xis polycrystalline lossis cov zaj duab xis amorphous, zaj duab xis mus rau cov kob loj hlob yog qhov tseem ceeb, los ntawm kev nucleation thiab zaj duab xis ob txoj kev. Cov atoms evaporated (lossis molecules) sib tsoo nrog lub substrate, ib feem ntawm qhov txuas mus tas li rau lub substrate, ib feem ntawm qhov adsorption thiab tom qab ntawd evaporate tawm ntawm lub substrate, thiab ib feem ntawm qhov kev cuam tshuam ncaj qha rov qab los ntawm qhov chaw substrate. Kev nplaum rau qhov chaw substrate ntawm cov atoms (lossis molecules) vim yog kev txav mus los ntawm thermal tuaj yeem txav mus raws qhov chaw, xws li kov lwm cov atoms yuav sib sau ua pawg. Cov pawg feem ntau yuav tshwm sim qhov twg qhov kev ntxhov siab ntawm qhov chaw substrate siab, lossis ntawm cov kauj ruam solvation ntawm cov substrate siv lead ua, vim qhov no txo qhov zog dawb ntawm cov atoms adsorbed. Qhov no yog cov txheej txheem nucleation. Kev tso ntxiv ntawm cov atoms (molecules) ua rau muaj kev nthuav dav ntawm cov pawg zoo li kob (nuclei) uas tau hais los saum toj no kom txog thaum lawv txuas ntxiv mus rau hauv zaj duab xis txuas ntxiv. Yog li ntawd, cov qauv thiab cov khoom ntawm cov zaj duab xis polycrystalline nqus cua muaj feem cuam tshuam nrog qhov nrawm evaporation thiab qhov kub ntawm lub substrate. Feem ntau hais lus, qhov kub ntawm lub substrate qis dua, qhov evaporation rate siab dua, qhov finer thiab denser ntawm cov zaj duab xis.
– Tsab xov xwm no yog tso tawm los ntawmlub tshuab nqus tsev txheej tshuab chaw tsim khoomGuangdong Zhenhua
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Peb Hlis-23-2024