Хатуу материалыг өндөр вакуум орчинд халаах замаар сублимация хийх эсвэл ууршуулж, тодорхой суурь дээр байрлуулж нимгэн хальс үүсгэх үйл явцыг вакуум ууршуулах бүрхүүл (ууршуулах бүрхүүл гэж нэрлэдэг) гэж нэрлэдэг.
Вакуум ууршуулах аргаар нимгэн хальс бэлтгэх түүхийг 1850-иад оноос эхлэлтэй. 1857 онд М. Фаррар металл утсыг азотод ууршуулж нимгэн хальс үүсгэх замаар вакуум бүрэх оролдлогыг эхлүүлсэн. Тухайн үед вакуум технологи бага байсан тул нимгэн хальсыг ийм аргаар бэлтгэх нь маш их цаг хугацаа шаардсан бөгөөд практик биш байв. 1930 он хүртэл газрын тосны диффузийн насосны механик шахуургын хамтарсан шахуургын системийг бий болгосон бөгөөд вакуум технологи хурдацтай хөгжиж байсан ч ууршилт болон цацалтын бүрхүүл нь практик технологи болсон.
Вакуум ууршилт нь эртний нимгэн хальсан тунадасжуулалтын технологи боловч лаборатори болон үйлдвэрлэлийн салбарт хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг арга юм. Үүний гол давуу талууд нь энгийн ажиллагаа, тунадасжуулалтын параметрүүдийг хялбархан хянах, үүссэн хальсны өндөр цэвэршилт юм. Вакуум бүрэх процессыг дараах гурван үе шатанд хувааж болно.
1) эх материалыг халааж, хайлуулж ууршуулах эсвэл сублиматжуулна; 2) уурыг эх материалаас гаргаж аваад ууршуулах эсвэл сублиматжуулна.
2) Уур нь эх материалаас суурь руу шилждэг.
3) Уур нь суурийн гадаргуу дээр конденсацлагдаж, хатуу хальс үүсгэдэг.
Нимгэн хальсны вакуум ууршилт нь ерөнхийдөө поликристал хальс эсвэл аморф хальс бөгөөд хальс нь арал руу ургах нь давамгайлдаг бөгөөд цөм үүсэх ба хальсны хоёр процессоор дамждаг. Ууршсан атомууд (эсвэл молекулууд) нь субстраттай мөргөлдөж, субстратад байнгын наалдах, адсорбцийн нэг хэсэг болж, дараа нь субстратаас уурших, мөн субстратын гадаргуугаас шууд тусах нэг хэсэг болдог. Дулааны хөдөлгөөнөөс болж атомууд (эсвэл молекулууд) субстратын гадаргуу дээр наалдах нь гадаргуугийн дагуу хөдөлж, жишээлбэл, бусад атомуудад хүрэх нь бөөгнөрөл болж хуримтлагдана. Бөглөрөл нь субстратын гадаргуу дээрх стресс өндөр байгаа эсвэл талст субстратын уусмалын үе шатууд дээр үүсэх магадлал өндөр байдаг, учир нь энэ нь адсорбцлогдсон атомуудын чөлөөт энергийг багасгадаг. Энэ бол цөм үүсэх үйл явц юм. Атомууд (молекулууд) цаашид тунадасжих нь дээр дурдсан арал хэлбэртэй бөөгнөрөл (цөм)-ийг тасралтгүй хальс болгон өргөтгөхөд хүргэдэг. Тиймээс вакуум ууршуулсан поликристал хальсны бүтэц, шинж чанар нь ууршилтын хурд болон субстратын температуртай нягт холбоотой байдаг. Ерөнхийдөө субстратын температур бага байх тусам ууршилтын хурд өндөр, хальсан ширхэг нь илүү нарийн, нягт байдаг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Нийтэлсэн цаг: 2024 оны 3-р сарын 23