ʻO ke kaʻina hana o ka hoʻomehana ʻana i nā mea paʻa i loko o kahi ʻano vacuum kiʻekiʻe e sublimate a evaporate paha a waiho iā lākou ma luna o kahi substrate kikoʻī e loaʻa ai kahi ʻili lahilahi ua ʻike ʻia ʻo ka vacuum evaporation coating (i kapa ʻia ʻo ka evaporation coating).
Hiki ke huli ʻia ka mōʻaukala o ka hoʻomākaukau ʻana i nā ʻili lahilahi ma o ke kaʻina hana hoʻoheheʻe ʻana i ka vacuum i nā makahiki 1850. I ka makahiki 1857, ua hoʻomaka ʻo M. Farrar i ka hoʻāʻo ʻana o ka uhi ʻana i ka vacuum ma ka hoʻoheheʻe ʻana i nā uea metala i loko o ka naikokene e hana i nā ʻili lahilahi. Ma muli o ka ʻenehana vacuum haʻahaʻa i kēlā manawa, ua lōʻihi loa ka hoʻomākaukau ʻana i nā ʻili lahilahi ma kēia ʻano a ʻaʻole pono. A hiki i ka makahiki 1930, ua hoʻokumu ʻia kahi ʻōnaehana pumping hui mīkini me ka pamu hoʻolaha ʻaila, hiki ke hoʻomohala wikiwiki ʻia ka ʻenehana vacuum, a lilo wale nō ka uhi ʻana i ka evaporation a me ka sputtering i ʻenehana pono.
ʻOiai ʻo ka hoʻoheheʻe ʻana o ka vacuum he ʻenehana waiho ʻili lahilahi kahiko, akā ʻo ia ke ʻano maʻamau i hoʻohana ʻia ma nā wahi hoʻokolohua a me nā ʻoihana. ʻO kona mau pono nui ka hana maʻalahi, ka hoʻomalu maʻalahi o nā palena waiho a me ka maʻemaʻe kiʻekiʻe o nā kiʻiʻoniʻoni hopena. Hiki ke hoʻokaʻawale ʻia ke kaʻina hana uhi vacuum i ʻekolu mau ʻanuʻu.
1) ua hoʻomehana ʻia a hoʻoheheʻe ʻia ke kumu mea e hoʻoheheʻe a hoʻoluʻu paha; 2) ua wehe ʻia ka mahu mai ke kumu mea e hoʻoheheʻe a hoʻoluʻu paha.
2) Hoʻoili ʻia ka mahu mai ke kumu i ka substrate.
3) Hoʻopili ka mahu ma luna o ka ʻili o ka substrate e hana i kahi ʻili paʻa.
ʻO ka hoʻoheheʻe ʻana o nā kiʻiʻoniʻoni lahilahi ma ke ʻano he kiʻiʻoniʻoni polycrystalline a i ʻole kiʻiʻoniʻoni amorphous, ʻo ka ulu ʻana o ka kiʻiʻoniʻoni i ka mokupuni ka mea nui, ma o ke kaʻina hana nucleation a me ka kiʻiʻoniʻoni ʻelua. Hoʻokuʻi nā ʻātoma i hoʻoheheʻe ʻia (a i ʻole nā molekula) me ka substrate, kahi ʻāpana o ka hoʻopili mau ʻana i ka substrate, kahi ʻāpana o ka adsorption a laila e hoʻoheheʻe ʻia mai ka substrate, a me kahi ʻāpana o ka noʻonoʻo pololei mai ka ʻili substrate. Hiki i ka hoʻopili ʻana i ka ʻili substrate o nā ʻātoma (a i ʻole nā molekula) ma muli o ka neʻe ʻana o ka thermal ke neʻe ma ka ʻili, e like me ka hoʻopā ʻana i nā ʻātoma ʻē aʻe e hōʻiliʻili i loko o nā hui. ʻOi aku ka nui o nā hui e hana ʻia ma kahi kiʻekiʻe o ke kaumaha ma ka ʻili substrate, a i ʻole ma nā ʻanuʻu hoʻonā o ka substrate kristal, no ka mea, hoʻemi kēia i ka ikehu manuahi o nā ʻātoma i hoʻopili ʻia. ʻO kēia ke kaʻina hana nucleation. ʻO ka waiho hou ʻana o nā ʻātoma (molekula) e hopena i ka hoʻonui ʻana o nā hui ʻano mokupuni (nuclei) i ʻōlelo ʻia ma luna a hiki i ka hoʻonui ʻia ʻana i loko o kahi kiʻiʻoniʻoni hoʻomau. No laila, pili loa ke ʻano a me nā waiwai o nā kiʻiʻoniʻoni polycrystalline i hoʻoheheʻe ʻia i ka vacuum i ka helu evaporation a me ka mahana o ka substrate. Ma keʻano laulā, ʻo ka haʻahaʻa o ka mahana o ka substrate, ʻo ke kiʻekiʻe o ka nui o ka mahu ʻana, ʻo ka maikaʻi a me ka mānoanoa o ka hua ʻiliʻili.
–Ua hoʻokuʻu ʻia kēia ʻatikala emea hana mīkini uhi hakahakaGuangdong Zhenhua
Ka manawa hoʻouna: Malaki-23-2024

