Sistem salutan vakum sebaris optik Magnetron sputtering ialah teknologi canggih yang digunakan untuk mendepositkan filem nipis pada pelbagai substrat, terdapat yang biasa digunakan dalam industri seperti optik, elektronik dan sains bahan. Berikut ialah gambaran keseluruhan terperinci:
Komponen dan ciri:
1. sumber sputter magnetron:
Magnetron digunakan untuk menghasilkan plasma berketumpatan tinggi.
Bahan sasaran (sumber) dibombardir dengan ion, mengakibatkan atom terpancut (terpercik) dan dimendapkan ke substrat.
Magnetron boleh direka bentuk untuk operasi DC, DC berdenyut, atau RF (frekuensi radio), bergantung pada bahan yang terpercik.
2. Sistem dalam talian:
Substrat digerakkan secara berterusan atau progresif melalui ruang salutan.
Membenarkan pengeluaran daya pengeluaran tinggi dan salutan seragam kawasan yang luas.
Biasanya digunakan untuk menyalut kepingan kaca, plastik atau logam dalam proses roll-to-roll atau flatbed.
3. ruang vakum:
Mengekalkan persekitaran tekanan rendah terkawal untuk memudahkan sputtering.
- Mencegah pencemaran dan memastikan ketulenan tinggi bagi filem terdeposit.
- Biasanya dilengkapi dengan kunci beban untuk meminimumkan pendedahan kepada keadaan atmosfera semasa pemuatan dan pemunggahan substrat.
4. keupayaan salutan optik:
- Direka khusus untuk menghasilkan salutan optik seperti salutan anti-reflektif, cermin, penapis dan pemisah rasuk.
- Membenarkan kawalan tepat terhadap ketebalan dan keseragaman filem, yang penting untuk aplikasi optik.
5. sistem kawalan proses:
- Sistem pemantauan dan maklum balas lanjutan untuk mengawal parameter seperti kuasa, tekanan dan kelajuan substrat.
- Diagnostik di tapak untuk mengukur sifat filem semasa pemendapan untuk memastikan kualiti dan konsistensi.
Aplikasi:
1. Optik:
- Menyalut kanta, cermin dan komponen optik lain untuk meningkatkan prestasi.
- Menghasilkan salutan berbilang lapisan untuk penapis gangguan dan peranti optik kompleks lain.
2. Elektronik:
- Transistor filem nipis, penderia dan peranti elektronik lain.
- Salutan konduktif lutsinar untuk paparan dan skrin sentuh. 3.
3. panel solar:
- Salutan anti-reflektif dan konduktif untuk kecekapan yang lebih baik.
- Lapisan berkapsul untuk ketahanan.
4. salutan hiasan:
- Menyalut barang kemas, jam tangan dan barangan lain untuk tujuan estetik.
Kelebihan:
1. Kepersisan Tinggi:
- Menyediakan salutan seragam dan boleh berulang dengan kawalan ketebalan dan komposisi yang tepat. 2.
2. Kebolehskalaan:
- Sesuai untuk penyelidikan berskala kecil dan pengeluaran perindustrian berskala besar. 3.
3. serba boleh:
- Mendepositkan pelbagai jenis bahan, termasuk logam, oksida, nitrida dan sebatian komposit.
4. Kecekapan:
- Sistem dalam talian membolehkan pemprosesan berterusan, mengurangkan masa henti dan meningkatkan daya pengeluaran.
Masa siaran: Jun-29-2024