Оптик шугаман вакуум бүрэх системийг sputtering гэж юу вэ

Magnetron sputtering оптик шугаман вакуум бүрэх систем нь олон төрлийн субстрат дээр нимгэн хальсыг буулгахад ашигладаг дэвшилтэт технологи бөгөөд оптик, электроник, материалын шинжлэх ухаан зэрэг салбарт өргөн хэрэглэгддэг. Дараах нь нарийвчилсан тойм юм.

Бүрэлдэхүүн хэсгүүд ба онцлогууд:
1. магнетрон цацруулагчийн эх үүсвэр:
Магнетроныг өндөр нягтралтай плазм үүсгэхэд ашигладаг.
Зорилтот материал (эх сурвалж) нь ионоор бөмбөгдөж, атомуудыг гадагшлуулж (шүрхэж) субстрат дээр байрлуулна.
Магнетроныг цацаж буй материалаас хамааран тогтмол гүйдлийн, импульсийн тогтмол гүйдлийн эсвэл RF (радио давтамж) ажиллуулахад зориулж бүтээж болно.
2. In-line систем:
Субстратыг бүрэх тасалгаагаар тасралтгүй эсвэл аажмаар хөдөлгөдөг.
Өндөр хүчин чадалтай үйлдвэрлэл, том талбайг жигд бүрэх боломжийг олгодог.
Ихэвчлэн шил, хуванцар эсвэл металл хавтанг өнхрүүлэн өнхрөх эсвэл хавтгай хавтангаар бүрэх зориулалттай.

3. вакуум камер:
Цус цацалтыг хөнгөвчлөхийн тулд хяналттай нам даралтын орчинг хадгална.
- Бохирдлоос сэргийлж, хуримтлагдсан хальсыг өндөр цэвэршилттэй болгоно.
- Субстратыг ачих, буулгах үед агаар мандлын нөлөөллийг багасгахын тулд ихэвчлэн ачааны түгжээгээр тоноглогдсон байдаг.

4. Оптик бүрэх чадвар:
- Тусгай хамгаалалттай бүрээс, толь, шүүлтүүр, цацраг задлагч зэрэг оптик бүрээсийг үйлдвэрлэхэд зориулагдсан.
- Оптик хэрэглээнд чухал ач холбогдолтой хальсны зузаан, жигд байдлыг нарийн хянах боломжийг олгодог.

5. үйл явцын хяналтын систем:
- Эрчим хүч, даралт, субстратын хурд зэрэг параметрүүдийг хянах дэвшилтэт хяналт, санал хүсэлтийн системүүд.
- Чанар, тууштай байдлыг хангах үүднээс тунадасжилтын үед хальсны шинж чанарыг хэмжих газар дээр нь оношилгоо.
Хэрэглээ:
1. Оптик:
- Гүйцэтгэлийг сайжруулахын тулд линз, толь болон бусад оптик эд ангиудыг бүрэх.
- Интерференцийн шүүлтүүр болон бусад нарийн төвөгтэй оптик төхөөрөмжүүдийн олон давхаргат бүрээсийг үйлдвэрлэдэг.
2. Электрон төхөөрөмж:
- Нимгэн хальсан транзистор, мэдрэгч болон бусад электрон төхөөрөмж.
- Дэлгэц болон мэдрэгчтэй дэлгэцийн ил тод дамжуулагч бүрээс. 3.
3. нарны хавтан:
- Үр ашгийг дээшлүүлэхийн тулд цацруулагчийн эсрэг болон дамжуулагч бүрээс.
- Удаан эдэлгээтэй байхын тулд бүрхүүлтэй давхаргууд.
4. гоёл чимэглэлийн бүрээс:
- Үнэт эдлэл, цаг болон бусад зүйлсийг гоо зүйн зорилгоор бүрэх.
Давуу тал:
1. Өндөр нарийвчлал:
- Зузаан болон найрлагыг нарийн хянадаг жигд, давтагдах боломжтой бүрээсийг хангана. 2.
2. Өргөтгөх чадвар:
- Бага оврын судалгаа, томоохон үйлдвэрийн үйлдвэрлэл явуулахад тохиромжтой. 3.
3. Олон талт байдал:
- Металл, исэл, нитрид, нийлмэл нэгдлүүд зэрэг олон төрлийн материалыг хадгалдаг.
4. Үр ашиг:
- In-line систем нь тасралтгүй боловсруулалт хийх, зогсолтыг багасгах, дамжуулах чадварыг нэмэгдүүлэх боломжийг олгодог.