Вакуум уурын хуримтлуулах үйл явц нь ерөнхийдөө субстратын гадаргууг цэвэрлэх, бүрэхээс өмнө бэлтгэх, уурын хуримтлуулах, ачих, бүрэх боловсруулалт, туршилт, эцсийн бүтээгдэхүүн зэрэг орно.
(1) Субстратын гадаргууг цэвэрлэх. Вакуум камерын хана, субстратын хүрээ болон бусад гадаргуугийн тос, зэв, өнгөлгөөний үлдэгдэл материалыг вакуум орчинд ууршуулахад хялбар, хальсны давхаргын цэвэршилт, холбох хүчд шууд нөлөөлдөг тул бүрэхээс өмнө цэвэрлэж байх ёстой.
(2) Бүрэхээс өмнө бэлтгэх. Хоосон вакуумыг зохих вакуум градусаар бүрэх, субстрат болон бүрэх материалыг урьдчилан боловсруулах. Субстратыг халаах нь чийгийг арилгах, мембраны суурийг холбох хүчийг нэмэгдүүлэх зорилготой. Субстратыг өндөр вакуум дор халаах нь субстратын гадаргуу дээрх шингэсэн хийг шингээж, дараа нь вакуум насосоор вакуум камераас хийг гадагшлуулах боломжтой бөгөөд энэ нь бүрэх камерын вакуум зэрэг, хальсны давхаргын цэвэр байдал, хальсан суурийн бэхэлгээний хүчийг сайжруулахад тустай. Тодорхой вакуум зэрэгт хүрсний дараа цахилгаан бага хүчин чадалтай ууршилтын анхны эх үүсвэр, хальсыг урьдчилан халаах эсвэл урьдчилан хайлуулах. Субстрат руу ууршихаас урьдчилан сэргийлэхийн тулд ууршилтын эх үүсвэр, эх материалыг хаалтаар бүрхэж, дараа нь цахилгаан эрчим хүчний өндөр хүчийг оруулахын тулд бүрэх материалыг ууршилтын температурт хурдан халааж, ууршуулж, дараа нь хаалтыг зайлуулна.
(3) Ууршилт. Тохиромжтой субстратын температурыг сонгохын тулд ууршилтын үе шатаас гадна агаарын даралтын хуримтлалаас гадуур бүрэх материалын ууршилтын температур нь маш чухал үзүүлэлт юм. Бүрхүүлгийн өрөөний вакуум болох хийн даралтын тунадас нь ууршилтын орон зайд хөдөлж буй хийн молекулуудын дундаж чөлөөт хүрээ, уурын болон үлдэгдэл хийн атомуудын доорх ууршилтын тодорхой зай, уурын атомуудын хоорондох мөргөлдөөний тоог тодорхойлдог.
(4) Буулгах. Давхаргын зузаан нь шаардлагад нийцсэний дараа ууршилтын эх үүсвэрийг хаалтаар хучиж, халаалтыг зогсоож, агаарыг нэн даруй чиглүүлэхгүй байх, вакуум нөхцөлд хөргөх шаардлагатайг тодорхой хугацаанд хөргөх, бүрэх, өнгөлгөөний материалын үлдэгдэл болон эсэргүүцэл, ууршилтын эх үүсвэр гэх мэт исэлдүүлэхээс сэргийлж, дараа нь шахах ажиллагааг зогсоож, дараа нь субстратыг шахаж, вакуум танхимыг онгойлгоно.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 9-р сарын 27-ны хооронд