③ Бүрээсний өндөр чанар Ионы бөмбөгдөлт нь мембраны нягтралыг сайжруулж, мембраны зохион байгуулалтын бүтцийг сайжруулж, мембраны давхаргын жигд байдлыг сайн, нягт бүрэх зохион байгуулалттай, цоорхой, бөмбөлөг багатай болгож, мембраны давхаргын чанарыг сайжруулдаг.
④Өндөр тунадасжилттай, хальс үүсгэх хурд нь 30 мм зузаантай хальс бэлтгэх боломжтой.
⑤ Бүрхүүлд хэрэглэх субстратын материал ба хальсны материал харьцангуй өргөн. Металл болон металл бус гадаргууг металлын нэгдлүүд, металл бус материалууд, тухайлбал ган, өнгөт металл, кварц, керамик, хуванцар болон бүрэх гадаргуу дээрх бусад материалд хэрэглэнэ. Плазмын идэвхжил нь нэгдлүүдийн нийлэгжилтийн температурыг бууруулахад тусалдаг тул ионоор бүрэх нь төрөл бүрийн хэт хатуу нийлмэл хальсыг бүрхэхэд хялбар болгодог.
Ион бүрэх нь дээр дурьдсан шинж чанаруудтай тул маш өргөн хүрээний хэрэглээтэй байдаг. Ион бүрэх технологи нь метал, хайлш, дамжуулагч материал, тэр ч байтугай дамжуулагч бус материалыг (өндөр давтамжийн хэвийлтийг ашиглан) субстрат дээр бүрэх боломжтой. Киноны ион бүрэх хуримтлал нь металл хальс, олон хайлштай хальс, нийлмэл хальс, нэг давхаргаар бүрсэн байж болно, мөн бүрсэн нийлмэл бүрээстэй байж болно; Мөн градиент бүрэх, нано олон давхаргат бүрэх боломжтой. Төрөл бүрийн мембран материал, янз бүрийн урвалын хий, янз бүрийн процессын арга, параметрүүдийг ашиглах нь та хатуу элэгдэлд тэсвэртэй бүрээс, нягт, химийн хувьд тогтвортой зэврэлтэнд тэсвэртэй бүрээс, хатуу тосолгооны давхарга, гоёл чимэглэлийн цоожны олон өнгийн давхарга, түүнчлэн электроник, оптик, эрчим хүчний шинжлэх ухаан болон бусад тусгай функциональ бүрээсийн гадаргууг бэхжүүлэх боломжтой. Ион бүрэх технологи, ион бүрэх бүтээгдэхүүнийг өргөнөөр ашиглаж ирсэн.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 1-р сарын 12-ны хооронд