വാക്വം നീരാവി നിക്ഷേപ പ്രക്രിയയിൽ സാധാരണയായി അടിവസ്ത്ര ഉപരിതല വൃത്തിയാക്കൽ, പൂശുന്നതിന് മുമ്പുള്ള തയ്യാറെടുപ്പ്, നീരാവി നിക്ഷേപം, ലോഡിംഗ്, കോട്ടിംഗ് ചികിത്സയ്ക്ക് ശേഷം, പരിശോധന, പൂർത്തിയായ ഉൽപ്പന്നങ്ങൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.
(1) സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഉപരിതല വൃത്തിയാക്കൽ. വാക്വം ചേമ്പർ ഭിത്തികൾ, സബ്സ്ട്രേറ്റ് ഫ്രെയിം, മറ്റ് ഉപരിതല എണ്ണ, തുരുമ്പ്, അവശിഷ്ട പ്ലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയൽ എന്നിവ വാക്വത്തിൽ എളുപ്പത്തിൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടാൻ സാധ്യതയുണ്ട്, ഇത് ഫിലിം പാളിയുടെ പരിശുദ്ധിയെയും ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സിനെയും നേരിട്ട് ബാധിക്കുന്നു, പ്ലേറ്റ് ചെയ്യുന്നതിന് മുമ്പ് വൃത്തിയാക്കണം.
(2) പൂശുന്നതിനു മുമ്പുള്ള തയ്യാറെടുപ്പ്. പ്രീട്രീറ്റ്മെന്റിനായി ശൂന്യമായ വാക്വം, സബ്സ്ട്രേറ്റ്, കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയലുകൾ എന്നിവ ഉചിതമായ വാക്വം ഡിഗ്രിയിൽ പൂശുന്നു. സബ്സ്ട്രേറ്റ് ചൂടാക്കുന്നത്, ഈർപ്പം നീക്കം ചെയ്യുകയും മെംബ്രൻ ബേസ് ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സ് വർദ്ധിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുക എന്നതാണ്. ഉയർന്ന വാക്വം ഉപയോഗിച്ച് സബ്സ്ട്രേറ്റ് ചൂടാക്കുന്നത് സബ്സ്ട്രേറ്റിന്റെ ഉപരിതലത്തിലുള്ള അഡ്സോർബ്ഡ് വാതകത്തെ ആഗിരണം ചെയ്യുകയും തുടർന്ന് വാക്വം പമ്പ് വഴി വാക്വം ചേമ്പറിൽ നിന്ന് വാതകം പുറത്തേക്ക് എറിയുകയും ചെയ്യും, ഇത് കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിന്റെ വാക്വം ഡിഗ്രി, ഫിലിം ലെയറിന്റെ പരിശുദ്ധി, ഫിലിം ബേസിന്റെ ബോണ്ടിംഗ് ഫോഴ്സ് എന്നിവ മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിന് സഹായകമാണ്. ഒരു നിശ്ചിത വാക്വം ഡിഗ്രിയിലെത്തിയ ശേഷം, കുറഞ്ഞ വൈദ്യുതി പവർ ഉള്ള ആദ്യത്തെ ബാഷ്പീകരണ ഉറവിടം, ഫിലിം പ്രീഹീറ്റിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ പ്രീ-മെൽറ്റിംഗ്. അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് ബാഷ്പീകരണം തടയുന്നതിന്, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സും ഉറവിട വസ്തുക്കളും ഒരു ബാഷ്പീകരണം കൊണ്ട് മൂടുക, തുടർന്ന് ഉയർന്ന വൈദ്യുതി പവർ നൽകുക, കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ ബാഷ്പീകരണ താപനിലയിലേക്ക് വേഗത്തിൽ ചൂടാക്കുകയും ബാഷ്പീകരണം നീക്കം ചെയ്യുകയും ചെയ്യുന്നു.
(3) ബാഷ്പീകരണം. ഉചിതമായ അടിവസ്ത്ര താപനില തിരഞ്ഞെടുക്കുന്നതിനുള്ള ബാഷ്പീകരണ ഘട്ടത്തിന് പുറമേ, വായു മർദ്ദത്തിന്റെ നിക്ഷേപത്തിന് പുറത്തുള്ള പ്ലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ബാഷ്പീകരണ താപനിലയും വളരെ പ്രധാനപ്പെട്ട ഒരു പാരാമീറ്ററാണ്. കോട്ടിംഗ് റൂം വാക്വം ആയ വാതക മർദ്ദത്തിന്റെ നിക്ഷേപം, ബാഷ്പീകരണ സ്ഥലത്ത് ചലിക്കുന്ന വാതക തന്മാത്രകളുടെ ശരാശരി സ്വതന്ത്ര ശ്രേണിയെയും നീരാവി, അവശിഷ്ട വാതക ആറ്റങ്ങൾക്ക് കീഴിലുള്ള ഒരു നിശ്ചിത ബാഷ്പീകരണ ദൂരത്തെയും നീരാവി ആറ്റങ്ങൾ തമ്മിലുള്ള കൂട്ടിയിടികളുടെ എണ്ണത്തെയും നിർണ്ണയിക്കുന്നു.
(4) അൺലോഡിംഗ്. ആവശ്യകതകൾ നിറവേറ്റുന്നതിനായി ഫിലിം പാളിയുടെ കനം കഴിഞ്ഞാൽ, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് ഒരു ബാഫിൾ കൊണ്ട് മൂടി ചൂടാക്കൽ നിർത്തുക, പക്ഷേ ഉടനടി വായുവിനെ നയിക്കരുത്, തണുക്കാൻ ഒരു നിശ്ചിത സമയത്തേക്ക് വാക്വം സാഹചര്യങ്ങളിൽ തണുപ്പിക്കുന്നത് തുടരേണ്ടതിന്റെ ആവശ്യകത, പ്ലേറ്റിംഗ് തടയുന്നതിന്, ശേഷിക്കുന്ന പ്ലേറ്റിംഗ് മെറ്റീരിയലും പ്രതിരോധവും, ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സ് തുടങ്ങിയവ ഓക്സിഡൈസ് ചെയ്ത്, തുടർന്ന് പമ്പിംഗ് നിർത്തി, തുടർന്ന് വീർപ്പിച്ച്, അടിവസ്ത്രം പുറത്തെടുക്കാൻ വാക്വം ചേമ്പർ തുറക്കുക.
–ഈ ലേഖനം പ്രസിദ്ധീകരിച്ചത്വാക്വം കോട്ടിംഗ് മെഷീൻ നിർമ്മാതാവ്ഗുവാങ്ഡോംഗ് ഷെൻഹുവ
പോസ്റ്റ് സമയം: സെപ്റ്റംബർ-27-2024