Карактеризацијата на тенкиот оптички филм вклучува карактеризација на оптичките својства, оптичките параметри и неоптичките својства, оптичките својства главно се однесуваат на спектралната рефлектанца, пропустливоста и оптичките загуби (загуба на апсорпција и загуба на рефлексија) на оптичкиот тенок филм. Пропустливоста и рефлектанцата се најосновните оптички својства на оптичките тенки филмови, па затоа тестирањето на пропустливоста и рефлектанцата на тенок филм е основна техника за тестирање на оптичките тенки филмови. Оптичките параметри на тенкиот оптички филм вклучуваат индекс на прекршување, коефициент на апсорпција и дебелина на филмот на тенкиот оптички филм. Поради стехиометриското отстапување во материјалните компоненти на тенкиот оптички филм подготвен со самиот процес, структурата повеќе не е хомогена и густа, но има микроструктури и разни дефекти, диелектричниот слој на филмот повеќе не е целосно транспарентен и има слаба апсорпција, додека има просторна нерамномерност и фазна анизотропија во индексот на прекршување на филмот, а филмот повеќе не е бесконечен и мазен интерфејс. Поважно е што во самиот процес на подготовка, параметрите на процесот на подготовка на филмот имаат многу големо влијание врз оптичките параметри на филмот, па затоа потврдата во реално време на оптичките параметри на филмот е многу критична. Покрај тоа, оптичкиот тенок филм како уред што се користи во вистинска средина, покрај оптичките карактеристики на уредот, треба да ги исполни барањата, филмот има многу други важни неоптички карактеристики што влијаат на употребата на филмот, како што се адхезијата на филмот, стресот на филмот, тврдоста и површинската грубост на филмот и способноста на филмот да издржи на околината и така натаму. Затоа, важно е точно да се измерат сите различни параметри или карактеристики што влијаат на употребата на тенок филм.
Пропустливоста и рефлектанцијата на тенки филмови главно се тестираат со помош на спектрални тест анализатори. Спектралните анализатори за тестирање на оптички филмови можат да се поделат на UV-Vis спектрофотометри, инфрацрвени спектрофотометри и инфрацрвени Фуриеови спектрометри според различните тест опсези. Првите два користат принцип на спектрална спектроскопија за анализа и систем за тестирање, вториот се базира на принципот на интерферентен спектрален систем за анализа. Поради различните геометриски структури и форми на тенкофилмските уреди, иако сите мерења на пропустливост и рефлектанца, но за различни форми, различна прецизност или различни барања за поларизација, може да бараат различни методи и техники за тестирање.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 03.11.2023