Ko te CVD filament wera te tikanga tuatahi me te rongonui mo te whakatipu taimana i te pehanga iti. 1982 Matsumoto et al. ka whakawerahia he kakawaenga whakarewa whakaahuru ki runga ake i te 2000°C, i te pāmahana ka puta te hau H2 i roto i te kakawaenga he ngota hauwai. Ko te hanga o te hauwai ngota i te wa o te pyrolysis hydrocarbon i piki ake te reiti waipara o nga kiriata taimana. Ka tohua te taimana me te aukati i te hanga kauwhata, ka puta mai nga reiti waipara kiriata taimana i runga i te raupapa o te mm/h, he tino nui te reeti whakaheke mo nga tikanga e whakamahia nuitia ana i roto i te ahumahi. Ka taea te mahi HFCVD ma te whakamahi i nga momo puna waro, penei i te methane, propane, acetylene, me etahi atu waiwaro, tae atu ki etahi waiwaro whai hāora, penei i te acetone, ethanol, me te methanol. Ko te taapiri o nga roopu whai hāora ka whakawhānui ake i te awhe pāmahana mo te tuku taimana.
I tua atu i te punaha HFCVD angamaheni, he maha nga whakarereketanga ki te punaha HFCVD. Ko te mea tino noa ko te whakakotahitanga DC plasma me te punaha HFCVD. I roto i tenei punaha, ka taea te whakamahi i te ngaohiko piro ki te tïpako me te kakawaea. Ko te rītaha pai tonu i runga i te tïpako me te tïpako kino i runga i te kakawaua ka pupuhi nga irahiko i te tïpako, ka taea te hauwai o te mata ki te whakakore. Ko te hua o te whakakorenga ko te pikinga o te reiti waipara o te kiriata taimana (mo te 10 mm/h), he tikanga e mohiotia ana ko te HFCVD awhina irahiko. ka nui te ngaohiko rītaha ki te hanga i te tukunga plasma pūmau, ka tino piki te pirau o te H2 me te waiwaro, i te mutunga ka piki te tere o te tipu. Ka huri te polarity o te rītaha (he tōraro te tïpako o te tïpako), ka puta te pupuhi katote ki runga i te tïpako, ka piki ake te ngongo taimana i runga i ngä tïpako taimana kore. Ko tetahi atu whakarerekētanga ko te whakakapinga o te kakawaea wera kotahi me te maha o nga kakawaea rereke kia tutuki ai te ahua o te waipara me te mutunga he waahi nui o te kiriata taimana.
(2) Microwave Plasma CVD (MWCVD)
I nga tau 1970, ka kitea e nga kaiputaiao ka taea te whakanui ake i te kukū o te hauwai ngota ma te whakamahi i te plasma DC. Ko te mutunga mai, ko te plasma tetahi atu tikanga ki te whakatairanga i te hanganga o nga kiriata taimana ma te whakapohehe i te H2 ki roto i te hauwai ngota me te whakahoe i nga roopu ngota-wao. I tua atu i te DC plasma, e rua etahi atu momo plasma kua arohia ano. Ko te CVD plasma ngaruiti he 2.45 GHZ te tere tere, me te RF plasma CVD he 13.56 MHz. He ahurei nga plasmas ngaruiti i te mea ko te auau ngaruiti ka whakaawe i nga wiri irahiko. Ka tukituki nga irahiko ki nga ngota hau, ngota ngota ranei, ka puta he reiti wehewehenga teitei. Ko te plasma ngaruiti e kiia ana he mea me nga irahiko "wera", nga katote "makariri" me nga matūriki kore. I te wa e tuku ana te kiriata angiangi, ka uru nga ngaruiti ki roto i te ruuma whakahiato CVD-whakarei plasma ma te matapihi. Ko te plasma luminescent he porowhita te ahua, a ka piki te rahi o te porowhita ma te mana ngaruiti. Ko nga kiriata angiangi taimana e tipuhia ana i runga i te tïpako i te kokonga o te rohe o te maramara, a, kaore e tika kia uru te tïpako ki te rohe whiti.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Wā tuku: Hune-19-2024