CVD filament mafana no fomba voalohany sy malaza indrindra amin'ny fampitomboana diamondra amin'ny tsindry ambany. 1982 Matsumoto et al. Nafanaina tamin'ny 2000°C mahery ny filamenta metaly mamirifiry, ka amin'izany ny mari-pana ny entona H2 mandalo amin'ilay filamenta dia mora mamoaka atôma hidrôzenina. Ny famokarana hidrôzenina atomika nandritra ny pyrolysis hydrocarbon dia nampitombo ny taham-pamokarana ny sarimihetsika diamondra. Ny diamondra dia voafantina voafantina ary voasakana ny fananganana grafit, ka miteraka taham-pamokarana sarimihetsika diamondra amin'ny filaharan'ny mm / h, izay taham-pamokarana avo be ho an'ny fomba fampiasa matetika amin'ny indostria. Ny HFCVD dia azo atao amin'ny fampiasana loharano karbaona isan-karazany, toy ny metana, propane, acetylene, ary hydrocarbon hafa, ary na dia ny hydrocarbons misy oksizenina aza, toy ny acetone, ethanol, ary methanol. Ny fanampiana vondrona misy oksizenina dia manitatra ny mari-pana amin'ny fametrahana diamondra.
Ankoatra ny rafitra HFCVD mahazatra dia misy fanovana maromaro amin'ny rafitra HFCVD. Ny mahazatra indrindra dia ny rafitra DC plasma sy HFCVD. Amin'ity rafitra ity dia azo ampiharina amin'ny substrate sy ny filamenta ny voltase mitongilana. Ny fitongilanana miabo tsy tapaka eo amin'ny substrate sy ny fitongilanana ratsy sasany eo amin'ny filamenta dia mahatonga ny elektrôna handroboka ny substrate, ka mamela ny hydrogène ambonin'ny tany ho desorb. Ny vokatry ny desorption dia ny fisondrotry ny tahan'ny deposition ny sarimihetsika diamondra (eo amin'ny 10 mm/h), teknika fantatra amin'ny hoe HFCVD manampy elektronika. rehefa avo be ny voltase mitongilana mba hamoronana ranon-dra marin-toerana, dia mitombo be ny fahapotehan'ny H2 sy ny hydrocarbons, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny tahan'ny fitomboana amin'ny farany. Rehefa mivadika ny polarity ny fitongilanana (mitongilana miiba ny substrate), dia mitranga ny baomba ion eo amin'ny substrate, izay mitarika amin'ny fitomboan'ny nucleation diamondra amin'ny substrate tsy diamondra. Ny fanovana iray hafa dia ny fanoloana ny filamenta mafana tokana miaraka amin'ny filamenta samihafa mba hahazoana fanamiana fanamiana ary amin'ny farany dia faritra lehibe amin'ny sarimihetsika diamondra. Ny tsy fahampian'ny HFCVD dia ny fandotoana ny filamenta mafana amin'ny sarimihetsika diamondra.
(2) Microwave Plasma CVD (MWCVD)
Tamin'ny taona 1970, hitan'ny mpahay siansa fa azo ampitomboina amin'ny alalan'ny plasma DC ny fitanan'ny hydrogène atomika. Vokatr'izany, ny plasma dia lasa fomba iray hafa hampiroboroboana ny fiforonan'ny sarimihetsika diamondra amin'ny alàlan'ny famongorana ny H2 ho hydrogène atomika sy ny fampandehanana ny vondrona atomika mifototra amin'ny karbaona. Ho fanampin'ny plasma DC, misy karazana plasma roa hafa koa nahazo ny saina. Ny CVD plasma microwave dia manana fatran'ny fientanam-po amin'ny 2.45 GHZ, ary ny CVD plasma RF dia manana matetika fientanentanana amin'ny 13.56 MHz. Ny plasma microwave dia miavaka amin'ny hoe ny fatran'ny microwave dia miteraka fihovitrovitra elektronika. Rehefa mifandona amin'ny atôma na molekiola entona ny elektrôna dia misy taham-pisaraham-bazana avo be. Ny plasma microwave dia matetika antsoina hoe zavatra misy elektronika "mafana", ion "mangatsiaka" ary singa tsy miandany. Mandritra ny fametrahana sarimihetsika manify dia miditra ao amin'ny efitrano fitehirizana CVD amin'ny alàlan'ny varavarankely ny microwave. Ny plasma luminescent amin'ny ankapobeny dia miendrika boribory, ary mitombo ny haben'ny sphere amin'ny herin'ny microwave. Ny sarimihetsika manify diamondra dia ambolena amin'ny substrate iray eo amin'ny zoron'ny faritra mamirapiratra, ary ny substrate dia tsy voatery mifandray mivantana amin'ny faritra mamirapiratra.
– Ity lahatsoratra ity dia navoakan'nyVacuum coating mpanamboatra milinaGuangdong Zhenhua
Fotoana fandefasana: Jun-19-2024