Magnetrona izsmidzināšanas optiskās vakuuma pārklāšanas sistēmas ir uzlabota tehnoloģija, ko izmanto plānu kārtiņu uzklāšanai uz dažādiem substrātiem, un tās parasti izmanto tādās nozarēs kā optika, elektronika un materiālzinātne. Tālāk sniegts detalizēts pārskats:
Sastāvdaļas un funkcijas:
1. magnetrona izsmidzināšanas avots:
Augsta blīvuma plazmas ģenerēšanai tiek izmantots magnetrons.
Mērķa materiāls (avots) tiek bombardēts ar joniem, kā rezultātā atomi tiek izsmidzināti (izsmidzināti) un nogulsnēti uz substrāta.
Magnetronu var konstruēt līdzstrāvas, impulsa līdzstrāvas vai RF (radiofrekvences) darbībai atkarībā no izsmidzināmā materiāla.
2. Iekšējā sistēma:
Substrāts tiek nepārtraukti vai pakāpeniski pārvietots caur pārklāšanas kameru.
Nodrošina augstas caurlaidspējas ražošanu un vienmērīgu lielu laukumu pārklāšanu.
Parasti izmanto stikla, plastmasas vai metāla loksņu pārklāšanai ruļļu ražošanas vai plakanvirsmas procesos.
3. vakuuma kamera:
Uztur kontrolētu zema spiediena vidi, lai veicinātu izsmidzināšanu.
- Novērš piesārņojumu un nodrošina nogulsnēto plēvju augstu tīrību.
- Parasti aprīkots ar iekraušanas slūžām, lai samazinātu atmosfēras apstākļu iedarbību substrāta iekraušanas un izkraušanas laikā.
4. optiskā pārklājuma iespējas:
- Īpaši izstrādāts optisko pārklājumu, piemēram, pretatstarojošu pārklājumu, spoguļu, filtru un staru sadalītāju, ražošanai.
- Ļauj precīzi kontrolēt plēves biezumu un vienmērīgumu, kas ir ļoti svarīgi optiskām lietojumprogrammām.
5. procesu vadības sistēmas:
- Uzlabotas uzraudzības un atgriezeniskās saites sistēmas tādu parametru kā jauda, spiediens un substrāta ātrums kontrolei.
- Diagnostika uz vietas plēves īpašību mērīšanai uzklāšanas laikā, lai nodrošinātu kvalitāti un konsistenci.
Lietojumi:
1. Optika:
- Lēcu, spoguļu un citu optisko komponentu pārklāšana, lai uzlabotu veiktspēju.
- Ražo daudzslāņu pārklājumus traucējumu filtriem un citām sarežģītām optiskām ierīcēm.
2. Elektronika:
- Plānās plēves tranzistori, sensori un citas elektroniskas ierīces.
- Caurspīdīgi vadoši pārklājumi displejiem un skārienekrāniem. 3.
3. saules paneļi:
- Pretatstarojoši un vadoši pārklājumi uzlabotai efektivitātei.
- Iekapsulēti slāņi izturībai.
4. dekoratīvie pārklājumi:
- Rotaslietu, pulksteņu un citu priekšmetu pārklāšana estētiskiem nolūkiem.
Priekšrocības:
1. Augsta precizitāte:
- Nodrošina vienmērīgu un atkārtojamu pārklājumu ar precīzu biezuma un sastāva kontroli. 2.
2. Mērogojamība:
- Piemērots maza mēroga pētījumiem un liela mēroga rūpnieciskai ražošanai. 3.
3. Daudzpusība:
- Nogulsnē plašu materiālu klāstu, tostarp metālus, oksīdus, nitrīdus un kompozītmateriālu savienojumus.
4. Efektivitāte:
- Līnijas sistēmas nodrošina nepārtrauktu apstrādi, samazinot dīkstāves laiku un palielinot caurlaidspēju.
Publicēšanas laiks: 2024. gada 29. jūnijs