3 Augsta pārklājuma kvalitāte. Jonu bombardēšana var uzlabot membrānas blīvumu, uzlabot membrānas organizatorisko struktūru, padarot membrānas slāņa vienmērīgumu labu, blīvu pārklājuma organizāciju, mazāk caurumu un burbuļu, tādējādi uzlabojot membrānas slāņa kvalitāti.
4. Augsts nogulsnēšanās ātrums, ātrs plēves veidošanās ātrums, var sagatavot 30 μm biezu plēvi.
5. Pārklājumam piemērojamais substrāta materiāls un plēves materiāls ir samērā plašs. To var izmantot metāla vai nemetāla virsmu pārklāšanai, piemēram, tērauda, krāsaino metālu, kvarca, keramikas, plastmasas un citu materiālu pārklāšanai uz pārklājuma virsmas, piemēram, metāla vai nemetāla virsmām. Tā kā plazmas aktivitāte veicina savienojumu sintēzes temperatūras pazemināšanos, jonu pārklāšana atvieglo dažādu īpaši cietu savienojumu plēvju pārklāšanu.
Tā kā jonu pārklāšanai piemīt iepriekš minētās īpašības, tai ir ārkārtīgi plašs pielietojumu klāsts. Jonu pārklāšanas tehnoloģiju var izmantot, lai uzklātu metālus, sakausējumus, vadošus materiālus un pat nevadošus materiālus (izmantojot augstfrekvences nobīdi) uz substrāta. Jonu pārklāšanas plēves uzklāšana var būt metāla plēve, daudzsakausējumu plēve, salikta plēve, to var pārklāt vienā slānī, var pārklāt arī kompozītmateriālu pārklāšanu; var pārklāt arī gradientu pārklāšanu un nanodaudzslāņu pārklāšanu. Izmantojot dažādus membrānas materiālus, dažādas reakcijas gāzes un dažādas procesa metodes un parametrus, var iegūt virsmas nostiprināšanu ar cietu nodilumizturīgu pārklāšanu, blīvu un ķīmiski stabilu korozijizturīgu pārklāšanu, cietu eļļošanas slāni, dažādu krāsu dekoratīvu fiksācijas slāni, kā arī elektronikā, optikā, enerģētikas zinātnēs un citās īpašās funkcionālās pārklāšanas jomās. Jonu pārklāšanas tehnoloģija un jonu pārklāšanas produkti ir plaši izmantoti.
– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua
Publicēšanas laiks: 2024. gada 12. janvāris