Magnetroninio purškimo optinės vakuuminės dengimo sistemos yra pažangi technologija, naudojama plonoms plėvelėms nusodinti ant įvairių pagrindų, jos dažniausiai naudojamos tokiose pramonės šakose kaip optika, elektronika ir medžiagų mokslas. Toliau pateikiama išsami apžvalga:
Komponentai ir savybės:
1. magnetroninio purškimo šaltinis:
Magnetronas naudojamas didelio tankio plazmai generuoti.
Tikslinė medžiaga (šaltinis) bombarduojama jonais, dėl kurių atomai išmetami (išpurškiami) ir nusėda ant pagrindo.
Magnetronas gali būti suprojektuotas nuolatinės srovės, impulsinės nuolatinės srovės arba radijo dažnio (RF) veikimui, priklausomai nuo purškiamos medžiagos.
2. Integruota sistema:
Substratas nuolat arba palaipsniui judinamas per dengimo kamerą.
Leidžia didelio našumo gamybą ir vienodą didelių plotų padengimą.
Paprastai naudojama stiklo, plastiko ar metalo lakštams dengti ruloninio arba plokščiojo gamybos procese.
3. vakuuminė kamera:
Palaiko kontroliuojamą žemo slėgio aplinką, kad būtų lengviau dulkėti.
- Apsaugo nuo užteršimo ir užtikrina aukštą nusodintų plėvelių grynumą.
- Paprastai įrengtos pakrovimo šliuzų sistemos, kad substrato pakraunant ir iškraunant būtų kuo mažiau veikiamas atmosferos sąlygų.
4. optinės dangos galimybės:
- Specialiai sukurta optinėms dangoms, tokioms kaip antirefleksinės dangos, veidrodžiai, filtrai ir spindulių dalikliai, gaminti.
- Leidžia tiksliai kontroliuoti plėvelės storį ir vienodumą, o tai yra labai svarbu optinėms reikmėms.
5. procesų valdymo sistemos:
- Pažangios stebėjimo ir grįžtamojo ryšio sistemos, skirtos valdyti tokius parametrus kaip galia, slėgis ir substrato greitis.
- Plėvelės savybių matavimas nusodinimo metu vietoje, siekiant užtikrinti kokybę ir nuoseklumą.
Paraiškos:
1. Optika:
- Lęšių, veidrodžių ir kitų optinių komponentų padengimas siekiant pagerinti jų veikimą.
- Gamina daugiasluoksnes dangas interferenciniams filtrams ir kitiems sudėtingiems optiniams įrenginiams.
2. Elektronika:
- Plonasluoksniai tranzistoriai, jutikliai ir kiti elektroniniai įtaisai.
- Skaidrios laidžios dangos ekranams ir jutikliniams ekranams. 3.
3. saulės baterijos:
- Atspindinčios ir laidžios dangos pagerina efektyvumą.
- Kapsuluoti sluoksniai ilgaamžiškumui.
4. dekoratyvinės dangos:
- Papuošalų, laikrodžių ir kitų daiktų dengimas estetiniais tikslais.
Privalumai:
1. Didelis tikslumas:
- Suteikia vienodą ir kartojamą dangą, tiksliai kontroliuojant storį ir sudėtį. 2.
2. Mastelio keitimas:
- Tinka mažos apimties tyrimams ir didelio masto pramoninei gamybai. 3.
3. Universalumas:
- Nusodina įvairias medžiagas, įskaitant metalus, oksidus, nitridus ir kompozicinius junginius.
4. Efektyvumas:
- Linijinės sistemos leidžia nepertraukiamai apdoroti, sumažinti prastovas ir padidinti našumą.
Įrašo laikas: 2024 m. birželio 29 d.