Vakuuminio garinimo nusodinimo procesas paprastai apima pagrindo paviršiaus valymą, paruošimą prieš dengimą, garinimą, pakrovimą, apdorojimą po dengimo, bandymą ir gatavų gaminių gamybą.
(1) Pagrindo paviršiaus valymas. Vakuuminėje kameroje esančios sienelės, pagrindo rėmas ir kiti paviršiaus riebalai, rūdys, dengimo medžiagos likučiai lengvai išgaruoja vakuume, o tai tiesiogiai veikia plėvelės sluoksnio grynumą ir sukibimo jėgą, todėl prieš dengimą juos reikia nuvalyti.
(2) Paruošimas prieš dengimą. Dengimas vakuume iki reikiamo vakuumo laipsnio, pagrindas ir dengimo medžiagos paruošiamos išankstiniam apdorojimui. Pagrindo kaitinimo tikslas – pašalinti drėgmę ir sustiprinti membranos pagrindo sukibimo jėgą. Pagrindo kaitinimas aukštame vakuume gali desorbuoti ant pagrindo paviršiaus adsorbuotas dujas, o tada vakuuminiu siurbliu išsiurbti dujas iš vakuuminės kameros, o tai padeda pagerinti dengimo kameros vakuumo laipsnį, plėvelės sluoksnio grynumą ir plėvelės pagrindo sukibimo jėgą. Pasiekus tam tikrą vakuumo laipsnį, pirmiausia garinimo šaltinis naudojamas su mažesne elektros galia, kad plėvelė būtų iš anksto pašildyta arba išlydyta. Siekiant išvengti garavimo ant pagrindo, garinimo šaltinis ir medžiaga uždengiami pertvara, o tada įjungiama didesnė elektros galia, kad dengimo medžiaga greitai įkaitinta iki garavimo temperatūros, išgaruojama ir pertvara nuimama.
(3) Garavimas. Be garinimo etapo, kuriame reikia pasirinkti tinkamą pagrindo temperatūrą, labai svarbus parametras yra ir dengimo medžiagos garavimo temperatūra už nusodinimo oro slėgio ribų. Nusodinimo dujų slėgis, t. y. dengimo patalpos vakuumas, lemia vidutinį laisvąjį dujų molekulių judėjimo garavimo erdvėje atstumą ir tam tikrą garavimo atstumą po garais ir likusiais dujų atomais bei susidūrimų tarp garų atomų skaičių.
(4) Iškrovimas. Kai plėvelės sluoksnio storis atitinka reikalavimus, uždenkite garavimo šaltinį pertvara ir sustabdykite šildymą, bet nedelsdami neleiskite oro. Reikia toliau vėsinti vakuume tam tikrą laiką, kad atvėstų, kad būtų išvengta dengimo, likusios dengimo medžiagos ir pasipriešinimo, garavimo šaltinio ir pan. oksidacijos, tada sustabdykite pumpavimą ir pripūskite, atidarykite vakuuminę kamerą, kad išimtumėte pagrindą.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. rugsėjo 27 d.