CFM1916

(1) Ruošinių stovas yra cilindrinės konstrukcijos, pasižymi dideliu dengimo plotu. Produkto pakrovimo talpa yra dvigubai didesnė nei tos pačios specifikacijos elektronų pluošto garinimo įrangos. Ruošinių stovas yra suprojektuotas su sukimosi ir rotacijos konstrukcija, kuri gali prisitaikyti prie įvairių formų ruošinių ir yra plačiau naudojama.
(2) Naudojant vidutinio dažnio magnetroninę cilindrinę taikinio purškimo sistemą ir jonų šaltinio pagalbinę sistemą, dangos plėvelė yra kompaktiška, pasižymi dideliu ir stabiliu lūžio rodikliu, stipriu sukibimu ir sunkiai adsorbuoja vandens garų molekules. Įvairiose aplinkose plėvelė išlaiko stabilesnes optines savybes nei tradicine elektronų pluošto garinimo įranga nusodinta plėvelė.
(3) Įrenginyje įrengta kristalinė valdymo stebėjimo sistema, skirta tiksliai kontroliuoti plėvelės storį, todėl procesas pasižymi dideliu stabilumu ir geru pakartojamumu. Uždarojo ciklo automatinė valdymo sistema SPEEDFLO gali efektyviai pagerinti SiO2 nusodinimo greitį.
(4) Termostatinis įtaisas gali efektyviai kontroliuoti gaminio temperatūrą ir prisitaikyti prie itin plonų PET ir PC gaminių.