Magnetron sputtering optical in-line vacuum coating systems are a advanced technology used to deposit films thin on a variety of substrates , ມີການນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປໃນອຸດສາຫະກໍາເຊັ່ນ optics, ເອເລັກໂຕຣນິກແລະວັດສະດຸວິທະຍາສາດ. ຕໍ່ໄປນີ້ແມ່ນພາບລວມລະອຽດ:
ອົງປະກອບແລະຄຸນສົມບັດ:
1. ແຫຼ່ງ sputter magnetron:
ແມ່ເຫຼັກຖືກນໍາໃຊ້ເພື່ອສ້າງ plasma ຄວາມຫນາແຫນ້ນສູງ.
ວັດຖຸເປົ້າໝາຍ (ແຫຼ່ງ) ໄດ້ຖືກລະເບີດດ້ວຍ ion, ສົ່ງຜົນໃຫ້ອະຕອມຖືກຂັບໄລ່ອອກ (sputtered) ແລະຝາກໄວ້ໃນຊັ້ນໃຕ້ດິນ.
ການສະກົດຈິດສາມາດຖືກອອກແບບສໍາລັບ DC, DC pulsed, ຫຼື RF (ຄວາມຖີ່ວິທະຍຸ), ຂຶ້ນກັບອຸປະກອນການ sputtered.
2. ລະບົບໃນສາຍ:
substrate ຖືກຍ້າຍຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງຫຼືກ້າວຫນ້າໂດຍຜ່ານສະພາການເຄືອບ.
ອະນຸຍາດໃຫ້ການຜະລິດຜ່ານສູງແລະການເຄືອບເອກະພາບຂອງພື້ນທີ່ຂະຫນາດໃຫຍ່.
ໂດຍປົກກະຕິແລ້ວໃຊ້ເພື່ອເຄືອບແກ້ວ, ພາດສະຕິກ ຫຼືແຜ່ນໂລຫະໃນຂະບວນການມ້ວນເຖິງມ້ວນ ຫຼືແຜ່ນແປ.
3. ຫ້ອງສູນຍາກາດ:
ຮັກສາສະພາບແວດລ້ອມຄວາມກົດດັນຕ່ໍາທີ່ຄວບຄຸມເພື່ອຄວາມສະດວກໃນການ sputtering.
- ປ້ອງກັນການປົນເປື້ອນແລະຮັບປະກັນຄວາມບໍລິສຸດສູງຂອງຮູບເງົາທີ່ຝາກໄວ້.
- ປົກກະຕິແລ້ວມີອຸປະກອນລັອກການໂຫຼດເພື່ອຫຼຸດຜ່ອນການສໍາຜັດກັບສະພາບບັນຍາກາດໃນລະຫວ່າງການໂຫຼດແລະ unloading substrate.
4. ຄວາມສາມາດໃນການເຄືອບ optical:
- ອອກແບບສະເພາະເພື່ອຜະລິດສານເຄືອບ optical ເຊັ່ນ: ເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແສງ, ກະຈົກ, ການກັ່ນຕອງ, ແລະ beam splitters.
- ອະນຸຍາດໃຫ້ຄວບຄຸມຄວາມຫນາຂອງຟິມໄດ້ຊັດເຈນແລະເປັນເອກະພາບ, ເຊິ່ງເປັນສິ່ງສໍາຄັນສໍາລັບຄໍາຮ້ອງສະຫມັກ optical.
5. ລະບົບການຄວບຄຸມຂະບວນການ:
- ລະບົບການຕິດຕາມແລະຄໍາຄຶດຄໍາເຫັນແບບພິເສດສໍາລັບການຄວບຄຸມຕົວກໍານົດການເຊັ່ນ: ພະລັງງານ, ຄວາມກົດດັນແລະຄວາມໄວຂອງ substrate.
- ການວິນິດໄສຢູ່ໃນສະຖານທີ່ສໍາລັບການວັດແທກຄຸນສົມບັດຂອງຮູບເງົາໃນລະຫວ່າງການຝາກເພື່ອຮັບປະກັນຄຸນນະພາບແລະຄວາມສອດຄ່ອງ.
ແອັບພລິເຄຊັນ:
1. Optics:
- ການເຄືອບເລນ, ກະຈົກແລະອົງປະກອບ optical ອື່ນໆເພື່ອປັບປຸງປະສິດທິພາບ.
- ຜະລິດການເຄືອບ multilayer ສໍາລັບການກັ່ນຕອງແຊກແຊງແລະອຸປະກອນ optical ສະລັບສັບຊ້ອນອື່ນໆ.
2. ເອເລັກໂຕຣນິກ:
- transistors ຮູບເງົາບາງ, ເຊັນເຊີແລະອຸປະກອນເອເລັກໂຕຣນິກອື່ນໆ.
- ການເຄືອບ conductive ໂປ່ງໃສສໍາລັບຈໍສະແດງຜົນແລະຫນ້າຈໍສໍາພັດ. 3.
3. ແຜງແສງອາທິດ:
- ການເຄືອບຕ້ານການສະທ້ອນແລະ conductive ສໍາລັບການປັບປຸງປະສິດທິພາບ.
- ຊັ້ນຫຸ້ມຫໍ່ເພື່ອຄວາມທົນທານ.
4. ການເຄືອບຕົກແຕ່ງ:
- ເຄືອບເພັດ, ໂມງ ແລະເຄື່ອງອື່ນໆເພື່ອຄວາມງາມ.
ຂໍ້ດີ:
1. ຄວາມແມ່ນຍໍາສູງ:
- ສະຫນອງການເຄືອບເອກະພາບແລະຊ້ໍາຊ້ອນທີ່ມີການຄວບຄຸມທີ່ຊັດເຈນຂອງຄວາມຫນາແລະອົງປະກອບ. 2.
2. ຄວາມສາມາດໃນການຂະຫຍາຍ:
- ເຫມາະສໍາລັບການຄົ້ນຄວ້າຂະຫນາດນ້ອຍແລະການຜະລິດອຸດສາຫະກໍາຂະຫນາດໃຫຍ່. 3.
3. ຄວາມຄ່ອງແຄ້ວ:
- ຝາກວັດຖຸຫຼາກຫຼາຍ, ລວມທັງໂລຫະ, ອົກຊີ, nitrides ແລະທາດປະສົມ.
4. ປະສິດທິພາບ:
- ລະບົບ in-line ອະນຸຍາດໃຫ້ດໍາເນີນການຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ, ຫຼຸດຜ່ອນການ downtime ແລະເພີ່ມ throughput.
ເວລາປະກາດ: 29-06-2024