Магнетрон чачыраткыч оптикалык вакуумдук каптоо системалары ар кандай субстраттарга жука пленкаларды салуу үчүн колдонулган алдыңкы технология болуп саналат, көбүнчө оптика, электроника жана материал таануу сыяктуу тармактарда колдонулат. Төмөндө деталдуу сереп болуп саналат:
Компоненттери жана өзгөчөлүктөрү:
1. магнетрон чачыраткыч булагы:
Магнетрон жогорку тыгыздыктагы плазманы түзүү үчүн колдонулат.
Максаттуу материал (булак) иондор менен бомбаланат, натыйжада атомдор чыгарылып (чачылып) жана субстраттын үстүнө жайгаштырылат.
Магнетрон чачырап жаткан материалга жараша DC, импульстук туруктуу ток же RF (радио жыштык) иштөөсү үчүн иштелип чыгышы мүмкүн.
2. In-line системасы:
Субстрат каптоо камерасы аркылуу тынымсыз же прогрессивдүү жылдырылат.
Өндүрүштүн жогорку өндүрүмдүүлүгүн жана чоң аянттарды бирдей каптоого мүмкүндүк берет.
Көбүнчө айнек, пластмасса же металл барактарды түрмөктөн рулетке же жалпак процесстерде каптоо үчүн колдонулат.
3. вакуумдук камера:
Чачыратууну жеңилдетүү үчүн башкарылуучу төмөнкү басым чөйрөсүн сактайт.
- Булгануунун алдын алат жана чөктүрүлгөн пленкалардын жогорку тазалыгын камсыздайт.
- Көбүнчө субстратты жүктөө жана түшүрүү учурунда атмосфералык шарттардын таасирин азайтуу үчүн жүк кулпулары менен жабдылган.
4. оптикалык каптоо мүмкүнчүлүктөрү:
- Чагылууга каршы жабуулар, күзгүлөр, чыпкалар жана нур бөлгүчтөр сыяктуу оптикалык каптоолорду өндүрүү үчүн атайын иштелип чыккан.
- Оптикалык колдонмолор үчүн маанилүү болгон пленканын калыңдыгын жана бирдейлигин так көзөмөлдөөгө мүмкүндүк берет.
5. процессти башкаруу системалары:
- Кубат, басым жана субстраттын ылдамдыгы сыяктуу параметрлерди көзөмөлдөө үчүн өркүндөтүлгөн мониторинг жана кайтарым байланыш системалары.
- сапатын жана ырааттуулугун камсыз кылуу үчүн коюу учурунда пленканын касиеттерин өлчөө үчүн жеринде диагностика.
Тиркемелер:
1. Оптика:
- Ишти жакшыртуу үчүн линзаларды, күзгүлөрдү жана башка оптикалык компоненттерди каптоо.
- интерференция фильтрлери жана башка татаал оптикалык түзүлүштөр үчүн көп катмарлуу каптамаларды чыгарат.
2. Электроника:
- жука пленкалуу транзисторлор, сенсорлор жана башка электрондук түзүлүштөр.
- дисплейлер жана сенсордук экрандар үчүн тунук өткөргүч каптамалар. 3.
3. күн панелдери:
- эффективдүүлүгүн жогорулатуу үчүн чагылтууга каршы жана өткөргүч каптамалар.
- Узактыгы үчүн капсулаланган катмарлар.
4. декоративдик жабуулар:
- эстетикалык максаттарда зергер буюмдарын, сааттарды жана башка буюмдарды каптоо.
Артыкчылыктары:
1. Жогорку тактык:
- Калыңдыгын жана курамын так көзөмөлдөө менен бирдей жана кайталануучу жабууну камсыз кылат. 2.
2. Масштабдуулук:
- Чакан изилдөө жана ири өнөр жай өндүрүшү үчүн ылайыктуу. 3.
3. Ар тараптуулугу:
- Металлдарды, оксиддерди, нитриддерди жана композиттик кошулмаларды камтыган ар кандай материалдарды кенге салат.
4. Натыйжалуулугу:
- In-line системалары үзгүлтүксүз кайра иштетүүгө, токтоп калууларды кыскартууга жана өткөрүү жөндөмдүүлүгүн жогорулатууга мүмкүндүк берет.
Посттун убактысы: 29-июнь-2024