Вакуумдук бууну жайгаштыруу процесси негизинен субстраттын бетин тазалоону, каптоодон мурун даярдоону, буу коюуну, жүктөөнү, каптоодон кийин тазалоону, сыноону жана даяр продукцияны камтыйт.
(1) Субстраттын бетин тазалоо. Вакуумдук камеранын дубалдары, субстрат рамкасы жана башка беттик май, дат, калдык каптоочу материал вакуумда буулануу оңой, бул пленка катмарынын тазалыгына жана бириктирүүчү күчкө түздөн-түз таасир этет, каптоодон мурун тазаланышы керек.
(2) каптоо алдында даярдоо. Бош вакуумду тиешелүү вакуумдук даражага чейин каптоо, алдын ала тазалоо үчүн субстрат жана каптоочу материалдар. субстрат жылытуу, максаты нымдуулукту алып салуу жана мембрана базанын бириктирүү күчүн жогорулатуу болуп саналат. Субстратты жогорку вакуумда ысытуу субстраттын бетиндеги адсорбцияланган газды десорбциялап, андан кийин вакуумдук насостун жардамы менен газды вакуумдук камерадан чыгарып кетиши мүмкүн, бул каптоо камерасынын вакуумдук даражасын, пленка катмарынын тазалыгын жана пленка базасынын бириктирүү күчүн жакшыртууга шарт түзөт. Белгилүү бир вакуум даражасына жеткенден кийин, биринчи буулануу булагы электр энергиясынын азыраак күчү менен, пленканы ысытуу же алдын ала эрүү. субстрат үчүн буулануунун алдын алуу үчүн, буулануу булагы жана баштапкы материалды капкак менен жаап, андан кийин электр энергиясынын жогорку кубаттуулугун киргизип, каптоо материалы буулануу температурасына чейин тез ысытылат, буулануу жана андан кийин капкагын алып салуу.
(3) буулануу. Тийиштүү субстрат температурасын тандоо үчүн буулануу баскычынан тышкары, абанын басымынын чегинен тышкары материалдын буулануу температурасы да абдан маанилүү параметр болуп саналат. Каптоо бөлмөсүнүн вакууму болгон газдын басымынын чөгүүсү буулануу мейкиндигинде кыймылдаган газ молекулаларынын орточо эркин диапазонун жана буу менен калдык газ атомдорунун астында белгилүү бир буулануу аралыкты жана буу атомдорунун ортосундагы кагылышуулардын санын аныктайт.
(4) Жүк түшүрүү. Талаптарга жооп берүү үчүн пленка катмарынын калыңдыгынан кийин буулануу булагын капкак менен жаап, ысытууну токтотуңуз, бирок абаны дароо жетектебеңиз, муздатуу үчүн вакуумдук шарттарда бир нече убакытка муздатуу керек, каптоо, калдык каптоочу материал жана каршылык, буулануу булагы ж.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 27-сентябрь 2024