마그네트론 스퍼터링 광학 인라인 진공 코팅 시스템은 다양한 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 첨단 기술로, 광학, 전자, 재료 과학 등 다양한 산업에서 널리 사용됩니다. 자세한 개요는 다음과 같습니다.
구성 요소 및 기능:
1. 마그네트론 스퍼터 소스:
마그네트론은 고밀도 플라즈마를 생성하는 데 활용됩니다.
표적 물질(소스)에 이온이 충격을 가해 원자가 방출(스퍼터링)되어 기판에 증착됩니다.
마그네트론은 스퍼터링되는 재료에 따라 DC, 펄스 DC 또는 RF(무선 주파수) 작동을 위해 설계될 수 있습니다.
2. 인라인 시스템:
기판은 코팅 챔버를 통해 연속적으로 또는 점진적으로 이동합니다.
높은 처리량 생산과 넓은 면적의 균일한 코팅이 가능합니다.
일반적으로 롤투롤이나 플랫베드 공정에서 유리, 플라스틱 또는 금속 시트를 코팅하는 데 사용됩니다.
3. 진공 챔버:
스퍼터링을 용이하게 하기 위해 제어된 저압 환경을 유지합니다.
- 오염을 방지하고 증착된 필름의 높은 순도를 보장합니다.
- 일반적으로 기판 적재 및 하역 시 대기 조건에 노출되는 것을 최소화하기 위해 로드 잠금 장치가 장착되어 있습니다.
4. 광학 코팅 기능:
- 반사 방지 코팅, 거울, 필터, 빔 분할기 등의 광학 코팅을 생산하기 위해 특별히 설계되었습니다.
- 광학 응용 분야에 중요한 필름 두께와 균일성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
5. 공정 제어 시스템:
- 전력, 압력, 기판 속도 등의 매개변수를 제어하기 위한 고급 모니터링 및 피드백 시스템.
- 증착 중 필름 특성을 측정하여 품질과 일관성을 보장하기 위한 현장 진단.
응용 프로그램:
1. 광학:
- 성능을 향상시키기 위해 렌즈, 거울 및 기타 광학 부품을 코팅합니다.
- 간섭 필터 및 기타 복잡한 광학 장치를 위한 다층 코팅을 생산합니다.
2. 전자제품:
- 박막 트랜지스터, 센서 및 기타 전자 장치.
- 디스플레이 및 터치스크린용 투명 전도성 코팅. 3.
3. 태양광 패널:
- 효율성 향상을 위한 반사 방지 및 전도성 코팅.
- 내구성을 위해 캡슐화된 층.
4. 장식용 코팅:
- 보석, 시계 및 기타 품목을 미적 목적으로 코팅합니다.
장점:
1. 높은 정밀도:
- 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 균일하고 반복 가능한 코팅을 제공합니다. 2.
2. 확장성:
- 소규모 연구 및 대규모 산업 생산에 적합합니다. 3.
3. 다재다능함:
- 금속, 산화물, 질화물 및 복합 화합물을 포함한 다양한 재료를 증착합니다.
4. 효율성:
- 인라인 시스템은 지속적인 처리를 가능하게 하여 가동 중지 시간을 줄이고 처리량을 늘립니다.
게시 시간: 2024년 6월 29일