제품 설명

코팅 라인은 모듈형 구조를 채택하여 공정 및 효율 요구 사항에 따라 챔버 크기를 확장할 수 있으며, 양면 코팅이 가능하여 유연하고 편리합니다. 이온 세척 시스템, 고속 가열 시스템, DC 마그네트론 스퍼터링 시스템을 갖추고 있어 간단한 금속 코팅을 효율적으로 증착할 수 있습니다. 이 장비는 빠른 비트, 편리한 클램핑, 높은 효율을 자랑합니다.

코팅 라인은 이온 세척 및 고온 베이킹 시스템을 갖추고 있어 증착된 박막의 접착력이 우수합니다. 회전 타겟을 이용한 소각 스퍼터링은 작은 개구부 내부 표면에 박막을 증착하는 데 유리합니다.

1. 장비의 구조가 컴팩트하고 바닥 면적이 작습니다.
2. 진공 시스템은 공기 추출을 위한 분자 펌프를 장착하여 에너지 소모가 적습니다.
3. 자재랙 자동반납으로 인력 절감
4. 공정 매개변수를 추적할 수 있으며, 전체 공정에서 생산 공정을 모니터링하여 생산 결함을 추적하는 것이 용이합니다.
5. 코팅 라인은 높은 수준의 자동화를 갖추고 있으며, 매니퓰레이터와 함께 사용하여 전후 공정을 연결하고 인건비를 절감할 수 있습니다.