Magnetron sputtering optical in-line vacuum coating systems គឺជាបច្ចេកវិទ្យាទំនើបដែលប្រើដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើងៗទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមជាច្រើនប្រភេទ ដែលត្រូវបានគេប្រើជាទូទៅនៅក្នុងឧស្សាហកម្មដូចជា អុបទិក អេឡិចត្រូនិច និងវិទ្យាសាស្ត្រសម្ភារៈ។ ខាងក្រោមនេះជាទិដ្ឋភាពលម្អិត៖
សមាសភាពនិងលក្ខណៈពិសេស:
1. ប្រភព magnetron sputter:
ម៉ាញ៉េទិចត្រូវបានប្រើដើម្បីបង្កើតប្លាស្មាដែលមានដង់ស៊ីតេខ្ពស់។
វត្ថុធាតុគោលដៅ (ប្រភព) ត្រូវបានបំផ្ទុះដោយអ៊ីយ៉ុង ដែលបណ្តាលឱ្យអាតូមត្រូវបានច្រានចេញ (ប្រឡាក់) និងដាក់លើស្រទាប់ខាងក្រោម។
មេដែកអាចត្រូវបានរចនាឡើងសម្រាប់ប្រតិបត្តិការ DC ជីពចរ DC ឬ RF (ប្រេកង់វិទ្យុ) អាស្រ័យលើសម្ភារៈដែលកំពុងត្រូវបាន sputtered ។
2. ប្រព័ន្ធក្នុងបន្ទាត់៖
ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរជាបន្តបន្ទាប់ ឬបណ្តើរៗតាមរយៈអង្គជំនុំជម្រះថ្នាំកូត។
អនុញ្ញាតឱ្យមានដំណើរការផលិតខ្ពស់ និងថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាននៃតំបន់ធំ។
ជាទូទៅគេប្រើដើម្បីស្រោបកញ្ចក់ ផ្លាស្ទិច ឬបន្ទះដែកក្នុងដំណើរការរមៀលទៅរមៀល ឬរាបស្មើ។
3. បន្ទប់បូមធូលី៖
រក្សាបរិយាកាសសម្ពាធទាបដែលអាចគ្រប់គ្រងបាន ដើម្បីជួយសម្រួលដល់ការបញ្ចេញទឹករំអិល។
- ការពារការចម្លងរោគ និងធានានូវភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលបានដាក់។
- ជាធម្មតាត្រូវបានបំពាក់ដោយសោរផ្ទុក ដើម្បីកាត់បន្ថយការប៉ះពាល់ទៅនឹងលក្ខខណ្ឌបរិយាកាសកំឡុងពេលផ្ទុក និងការផ្ទុកស្រទាប់ខាងក្រោម។
4. សមត្ថភាពថ្នាំកូតអុបទិក៖
- ត្រូវបានរចនាឡើងជាពិសេសដើម្បីផលិតថ្នាំកូតអុបទិក ដូចជា ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង កញ្ចក់ តម្រង និងឧបករណ៍បំបែកធ្នឹម។
- អនុញ្ញាតឱ្យមានការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃកម្រាស់ និងឯកសណ្ឋាននៃខ្សែភាពយន្ត ដែលមានសារៈសំខាន់សម្រាប់កម្មវិធីអុបទិក។
5. ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងដំណើរការ៖
- ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ និងមតិកែលម្អកម្រិតខ្ពស់សម្រាប់ការគ្រប់គ្រងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដូចជាថាមពល សម្ពាធ និងល្បឿនស្រទាប់ខាងក្រោម។
- ការធ្វើរោគវិនិច្ឆ័យនៅនឹងកន្លែងសម្រាប់វាស់លក្ខណៈសម្បត្តិនៃខ្សែភាពយន្តកំឡុងពេលដាក់បញ្ចូល ដើម្បីធានាបាននូវគុណភាព និងស្ថិរភាព។
កម្មវិធី៖
1. អុបទិក៖
- ស្រោបកញ្ចក់ កញ្ចក់ និងសមាសធាតុអុបទិកផ្សេងទៀត ដើម្បីកែលម្អដំណើរការ។
- ផលិតថ្នាំកូតពហុស្រទាប់សម្រាប់តម្រងជ្រៀតជ្រែក និងឧបករណ៍អុបទិកស្មុគស្មាញផ្សេងទៀត។
2. អេឡិចត្រូនិក៖
- ត្រង់ស៊ីស្ទ័រខ្សែភាពយន្តស្តើង ឧបករណ៍ចាប់សញ្ញា និងឧបករណ៍អេឡិចត្រូនិកផ្សេងទៀត។
- ថ្នាំកូតដែលមានតម្លាភាពសម្រាប់អេក្រង់ និងអេក្រង់ប៉ះ។ ៣.
3. បន្ទះស្រូបពន្លឺព្រះអាទិត្យ៖
- ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង និងចរន្ត ដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាព។
- ស្រទាប់រុំព័ទ្ធសម្រាប់ភាពធន់។
4. ថ្នាំកូតតុបតែង:
- ស្រោបគ្រឿងអលង្ការ នាឡិកា និងវត្ថុផ្សេងៗ សម្រាប់គោលបំណងសាភ័ណភ្ព។
គុណសម្បត្តិ៖
1. ភាពជាក់លាក់ខ្ពស់៖
- ផ្តល់នូវថ្នាំកូតឯកសណ្ឋាន និងអាចប្រើឡើងវិញបានជាមួយនឹងការត្រួតពិនិត្យច្បាស់លាស់នៃកម្រាស់ និងសមាសភាព។ ២.
2. លទ្ធភាពធ្វើមាត្រដ្ឋាន៖
- ស័ក្តិសមសម្រាប់ការស្រាវជ្រាវខ្នាតតូច និងផលិតកម្មឧស្សាហកម្មខ្នាតធំ។ ៣.
3. ភាពបត់បែន៖
- ទុកដាក់សម្ភារៈជាច្រើនប្រភេទ រួមមាន លោហធាតុ អុកស៊ីដ នីត្រាត និងសមាសធាតុផ្សំ។
4. ប្រសិទ្ធភាព៖
- ប្រព័ន្ធក្នុងបណ្តាញអនុញ្ញាតឱ្យដំណើរការបន្ត កាត់បន្ថយពេលវេលារងចាំ និងបង្កើនលំហូរ។
ពេលវេលាប្រកាស៖ ថ្ងៃទី ២៩ មិថុនា ២០២៤