សរសៃអំបោះក្តៅ CVD គឺជាវិធីសាស្រ្តដំបូងបំផុត និងពេញនិយមបំផុតក្នុងការដាំពេជ្រនៅសម្ពាធទាប។ ឆ្នាំ 1982 Matsumoto et al ។ បានកំដៅសរសៃដែកទប់ទល់ដល់ជាង 2000°C ដែលសីតុណ្ហភាពឧស្ម័ន H2 ដែលឆ្លងកាត់សរសៃនោះងាយនឹងបង្កើតអាតូមអ៊ីដ្រូសែន។ ការផលិតអ៊ីដ្រូសែនអាតូមិចកំឡុងពេលអ៊ីដ្រូកាបូន pyrolysis បង្កើនអត្រានៃការបោះចោលខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ ពេជ្រត្រូវបានគេដាក់ជ្រើសរើស ហើយការបង្កើតក្រាហ្វិចត្រូវបានរារាំង ដែលបណ្តាលឱ្យមានអត្រានៃការដាក់ខ្សែភាពយន្តពេជ្រតាមលំដាប់លំដោយ mm/h ដែលជាអត្រានៃការដាក់ប្រាក់ខ្ពស់សម្រាប់វិធីសាស្រ្តដែលប្រើជាទូទៅក្នុងឧស្សាហកម្ម។ HFCVD អាចត្រូវបានអនុវត្តដោយប្រើប្រភពកាបូនជាច្រើនដូចជា មេតាន ប្រូផេន អាសេទីលីន និងអ៊ីដ្រូកាបូនផ្សេងទៀត និងសូម្បីតែអ៊ីដ្រូកាបូនដែលមានអុកស៊ីហ្សែនមួយចំនួនដូចជា អាសេតូន អេតាណុល និងមេតាណុល។ ការបន្ថែមក្រុមដែលមានអុកស៊ីហ៊្សែន ពង្រីកជួរសីតុណ្ហភាពសម្រាប់ការទម្លាក់គ្រាប់ពេជ្រ។
បន្ថែមពីលើប្រព័ន្ធ HFCVD ធម្មតា មានការកែប្រែមួយចំនួនចំពោះប្រព័ន្ធ HFCVD ។ ទូទៅបំផុតគឺប្រព័ន្ធ DC Plasma និង HFCVD រួមបញ្ចូលគ្នា។ នៅក្នុងប្រព័ន្ធនេះ តង់ស្យុងលំអៀងអាចត្រូវបានអនុវត្តទៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម និង filament ។ ភាពលំអៀងវិជ្ជមានថេរនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម និងភាពលំអៀងអវិជ្ជមានជាក់លាក់មួយនៅលើសរសៃ បណ្តាលឱ្យអេឡិចត្រុងទម្លាក់ស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលអនុញ្ញាតឱ្យអ៊ីដ្រូសែនលើផ្ទៃ desorb ។ លទ្ធផលនៃការរំលាយគឺជាការកើនឡើងនៃអត្រានៃការដាក់ប្រាក់នៃខ្សែភាពយន្តពេជ្រ (ប្រហែល 10 មីលីម៉ែត្រក្នុងមួយម៉ោង) ដែលជាបច្ចេកទេសដែលគេស្គាល់ថាជា HFCVD ដែលជំនួយដោយអេឡិចត្រុង។ នៅពេលដែលតង់ស្យុងលំអៀងខ្ពស់គ្រប់គ្រាន់ដើម្បីបង្កើតការហូរចេញប្លាស្មាដែលមានស្ថេរភាព ការរលាយនៃ H2 និងអ៊ីដ្រូកាបូនកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង ដែលនៅទីបំផុតនាំទៅរកការកើនឡើងនៃអត្រាកំណើន។ នៅពេលដែលប៉ូលនៃភាពលំអៀងត្រូវបានបញ្ច្រាស់ (ស្រទាប់ខាងក្រោមមានភាពលំអៀងអវិជ្ជមាន) ការទម្លាក់គ្រាប់បែកអ៊ីយ៉ុងកើតឡើងនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ដែលនាំឱ្យមានការកើនឡើងនៃគ្រាប់ពេជ្រនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដែលមិនមែនជាពេជ្រ។ ការកែប្រែមួយទៀតគឺការជំនួសសរសៃក្តៅតែមួយជាមួយនឹងសរសៃផ្សេងៗគ្នាជាច្រើន ដើម្បីសម្រេចបាននូវការបំបែកជាឯកសណ្ឋាន ហើយចុងក្រោយមានផ្ទៃធំនៃខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។ គុណវិបត្តិនៃ HFCVD គឺថាការហួតកម្ដៅនៃសរសៃអាចបង្កើតភាពកខ្វក់នៅក្នុងខ្សែភាពយន្តពេជ្រ។
(2) មីក្រូវ៉េវប្លាស្មា CVD (MWCVD)
នៅទសវត្សរ៍ឆ្នាំ 1970 អ្នកវិទ្យាសាស្ត្របានរកឃើញថាកំហាប់នៃអ៊ីដ្រូសែនអាតូមិកអាចត្រូវបានកើនឡើងដោយប្រើប្លាស្មា DC ។ ជាលទ្ធផល ប្លាស្មាបានក្លាយជាវិធីសាស្រ្តមួយផ្សេងទៀតដើម្បីជំរុញការបង្កើតខ្សែភាពយន្តពេជ្រដោយ decomposing H2 ទៅជាអាតូមអ៊ីដ្រូសែន និងធ្វើឱ្យក្រុមអាតូមិកកាបូនសកម្ម។ បន្ថែមពីលើប្លាស្មា DC ប្លាស្មាពីរប្រភេទផ្សេងទៀតក៏ទទួលបានការចាប់អារម្មណ៍ផងដែរ។ មីក្រូវ៉េវប្លាស្មា CVD មានប្រេកង់រំភើប 2.45 GHZ ហើយ RF ប្លាស្មា CVD មានប្រេកង់រំភើប 13.56 MHz ។ microwave plasmas មានលក្ខណៈប្លែកពីគេ ដែលប្រេកង់មីក្រូវ៉េវ បង្កើតរំញ័រអេឡិចត្រុង។ នៅពេលដែលអេឡិចត្រុងប៉ះទង្គិចជាមួយអាតូមឧស្ម័ន ឬម៉ូលេគុល អត្រាបំបែកខ្ពស់ត្រូវបានផលិត។ មីក្រូវ៉េវប្លាស្មាត្រូវបានសំដៅជាញឹកញាប់ថាជាបញ្ហាជាមួយអេឡិចត្រុង "ក្តៅ" អ៊ីយ៉ុង "ត្រជាក់" និងភាគល្អិតអព្យាក្រឹត។ កំឡុងពេលបញ្ចេញខ្សែភាពយន្តស្តើង មីក្រូវ៉េវចូលទៅក្នុងបន្ទប់សំយោគ CVD ដែលពង្រឹងប្លាស្មាតាមរយៈបង្អួច។ ប្លាស្មា luminescent ជាទូទៅមានរាងស្វ៊ែរ ហើយទំហំនៃស្វ៊ែរកើនឡើងជាមួយនឹងថាមពលមីក្រូវ៉េវ។ ខ្សែភាពយន្តស្តើងពេជ្រត្រូវបានដាំដុះនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមនៅជ្រុងមួយនៃតំបន់ luminescent ហើយស្រទាប់ខាងក្រោមមិនត្រូវមានទំនាក់ទំនងផ្ទាល់ជាមួយតំបន់ luminescent នោះទេ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាផ្សាយ៖ មិថុនា-១៩-២០២៤